ال جهاز تركيب رقائق أشباه الموصلات SINTAIKE STK-7080 هو نظام متطور لتغليف رقائق السيليكون باستخدام الشريط اللاصق، مصمم لتطبيقات معالجة الرقائق الرقيقة وأشباه الموصلات المركبة. وعلى عكس معدات تركيب الرقائق التقليدية القائمة على البكرات، يعتمد نظام STK-7080 على تقنية التغليف الفراغي بدون تلامس لتقليل الإجهاد الميكانيكي وحماية الرقائق الهشة أثناء تصنيع أشباه الموصلات.
مع ازدياد رقة أجهزة أشباه الموصلات وحساسيتها، قد تُسبب طرق التثبيت التقليدية باستخدام الشريط اللاصق مخاطر مثل تشقق الرقاقة وتلف سطحها وعدم انتظام الالتصاق. يُعالج جهاز SINTAIKE STK-7080 هذه التحديات من خلال تقنية تطبيق الأغشية القائمة على الفراغ، مما يوفر حلاً مستقراً لمتطلبات معالجة الرقاقات من الجيل التالي.
يُعدّ هذا النظام مناسبًا بشكل خاص للمواد المتقدمة، بما في ذلك كربيد السيليكون (SiC) ونيتريد الغاليوم (GaN) وأرسينيد الغاليوم (GaAs) ورقائق السيليكون الرقيقة.
ما هو جهاز تركيب الرقائق SINTAIKE STK-7080؟
إن جهاز SINTAIKE STK-7080 عبارة عن آلة تركيب رقائق شبه أوتوماتيكية تعمل بتقنية الفراغ بدون تلامس، وتستخدم لتطبيق شريط حماية رقائق أشباه الموصلات قبل التقطيع أو عمليات المعالجة الخلفية الأخرى.
تتمثل الوظيفة الأساسية للمعدات في تثبيت طبقة زرقاء أو طبقة فوق بنفسجية على أسطح الرقاقات مع تقليل الضغط المادي أثناء عملية الترقق.
تستخدم أنظمة تركيب الرقاقات التقليدية عادةً بكرات لضغط طبقة لاصقة على الرقاقات. إلا أن الرقاقات الرقيقة والهشة قد تتعرض للإجهاد الميكانيكي أثناء هذه العملية. يستبدل نظام STK-7080 التلامس المباشر للبكرات بتقنية التغليف الفراغي، مما يُحسّن سلامة الرقاقات واستقرار العملية.
لماذا يُعدّ التغليف الفراغي بدون تلامس أمراً مهماً؟
يتطلب تصنيع أشباه الموصلات الحديثة بشكل متزايد رقائق أرق ومواد أكثر هشاشة. وتتطلب الأجهزة المتقدمة، مثل أشباه موصلات الطاقة المصنوعة من كربيد السيليكون ورقائق أشباه الموصلات المركبة، معالجة دقيقة خلال جميع مراحل التصنيع النهائية.
توفر طريقة التركيب الفراغي بدون تلامس العديد من المزايا:
تقليل الضغط الميكانيكي على الرقائق الهشة
تقليل مخاطر تشقق الرقاقات
تحسين تجانس التصاق الشريط
تقليل تكوّن الفقاعات أثناء عملية الترقق
دعم مواد أشباه الموصلات المتقدمة
الميزات الرئيسية لجهاز تركيب الرقاقات SINTAIKE STK-7080
تقنية التغليف الفراغي بدون تلامس
أكبر فرق بين جهاز STK-7080 وأجهزة تركيب الرقائق التقليدية هو تقنية التغليف الفراغي الخالية من البكرات.
بدلاً من تطبيق الضغط الميكانيكي مباشرةً عبر البكرات، يستخدم النظام ضغط فراغ مُتحكم به لتثبيت طبقة لاصقة على سطح الرقاقة. تساعد هذه الطريقة في حماية الرقاقات الرقيقة من الإجهاد والخدوش.
مصمم للرقائق الرقيقة والهشة
تم تصميم جهاز STK-7080 خصيصًا للتطبيقات التي تكون فيها قوة الرقاقة محدودة. وهو يدعم معالجة الرقاقات الرقيقة بسماكات تتراوح من 100 ميكرومتر إلى 750 ميكرومتر تقريبًا، وذلك حسب متطلبات العملية.
تشمل التطبيقات النموذجية ما يلي:
رقائق السيليكون الرقيقة
رقائق أشباه الموصلات SiC للطاقة
رقائق أشباه الموصلات المركبة من زرنيخيد الغاليوم
رقائق أشباه الموصلات من نيتريد الغاليوم
تطبيقات رقائق MEMS
التغذية والقطع التلقائي للفيلم
يدمج النظام وظائف التغذية التلقائية للفيلم، والتصفيح، والقطع الدائري، وجمع نفايات الفيلم، وجمع بطانة التحرير.
يقلل هذا من متطلبات التشغيل اليدوي ويحسن اتساق العمليات في بيئات إنتاج أشباه الموصلات.
التوافق مع الأفلام الزرقاء وأفلام الأشعة فوق البنفسجية
يدعم جهاز STK-7080 أغشية رقائق أشباه الموصلات بما في ذلك الأغشية الزرقاء وأغشية الأشعة فوق البنفسجية، مما يوفر المرونة لعمليات التقطيع ومعالجة الرقائق المختلفة.
الحماية من الكهرباء الساكنة
يُعدّ التحكم في الشحنات الساكنة أمرًا بالغ الأهمية عند معالجة مواد أشباه الموصلات. يدمج جهاز STK-7080 أنظمة هواء مؤين لتقليل مخاطر الشحنات الساكنة أثناء تركيب الرقاقات.
المواصفات الفنية لـ SINTAIKE STK-7080
| المعلمة | وصف |
|---|---|
| نوع المعدات | جهاز تركيب رقائق السيليكون بالتفريغ بدون تلامس |
| الشركة المصنعة | سينتايك |
| تكنولوجيا | التغليف الفراغي بدون بكرات |
| حجم الرقاقة | رقاقة من 4 بوصة إلى 8 بوصة |
| مادة الرقاقة | السيليكون، كربيد السيليكون، زرنيخيد الغاليوم، نتريد الغاليوم |
| سمك الرقاقة | 100 ميكرومتر - 750 ميكرومتر |
| نوع الفيلم | فيلم أزرق / فيلم للأشعة فوق البنفسجية |
| دقة تحديد الموقع | حوالي ±0.5 مم |
| نظام التحكم | وحدة تحكم منطقية قابلة للبرمجة (PLC) مع واجهة شاشة تعمل باللمس |
| وضع التشغيل | شبه أوتوماتيكي |
قد تختلف المواصفات تبعًا لتكوين المعدات ومتطلبات عملية العميل.
مخطط عملية تركيب الرقاقات SINTAIKE STK-7080
تحضير الرقاقة
تحميل الفيلم
تحديد موضع الرقاقة
التغليف بالتفريغ
تقطيع الفيلم
الفحص والنقل
عملية تقطيع الرقائق أو عملية معالجة الرقائق اللاحقة
مخطط سير العمل:
تحضير الرقاقة ← تحميل الفيلم ← التثبيت بالتفريغ ← الفحص ← تقطيع الرقاقة
تطبيقات سينتايكي STK-7080
تصنيع أشباه الموصلات المركبة
يُعد جهاز STK-7080 مناسبًا لمواد أشباه الموصلات المركبة بما في ذلك SiC و GaN و GaAs حيث تكون حماية الرقاقة أمرًا بالغ الأهمية.
معالجة أشباه الموصلات للطاقة
يلجأ مصنعو أشباه الموصلات الكهربائية بشكل متزايد إلى استخدام مواد هشة تتطلب تقنيات متقدمة لمعالجة الرقائق.
معالجة الرقائق الرقيقة
تتطلب الرقائق الرقيقة للغاية حلول تركيب منخفضة الإجهاد لتقليل الكسر أثناء التصنيع النهائي.
تصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة وأجهزة الاستشعار
غالباً ما تحتوي رقائق MEMS على هياكل حساسة تتطلب معالجة ميكانيكية دقيقة أثناء التصنيع.
