أنظمة محطات الفحص لاختبار أشباه الموصلات على مستوى الرقاقة

تتداخل المصطلحات. يُستخدم مصطلح "محطة الفحص" غالبًا للمنصات التحليلية أو الهندسية، بينما يُستخدم مصطلح "مسبار الرقاقة" لوصف الأنظمة شبه الآلية أو الآلية التي تفحص الرقاقات الكاملة، وقد تشمل وحدات تحميل، ورسم خرائط الرقاقات، وواجهات الإنتاج. يُعدّ تصميم النموذج الدقيق أهم من الاسم.

ليس دائمًا. توفر محطة الفحص عادةً تحديد الموقع والاتصال وبيئة الاختبار. قد تكون وحدات قياس المصدر (SMUs) ومحللات المعلمات وأجهزة تحليل الشبكة الاتجاهية (VNAs) وأجهزة راسم الإشارة أو موارد معدات الاختبار الآلية (ATE) منفصلة، ​​ويجب دمجها من خلال مجسات وكابلات ومفاتيح وبرامج متوافقة.

تتميز الأنظمة اليدوية بمرونتها في البحث والتطوير والتجارب المتغيرة. أما الأنظمة شبه الآلية فتضيف حركة آلية قابلة للتكرار ورسم الخرائط. وتُعدّ أجهزة فحص الرقاقات الآلية أكثر ملاءمةً لتدفقات الإنتاج المحددة، ومعالجة الكاسيتات، وحجم الاختبار الكبير.

يؤثر حجم الرقاقة، والتشغيل الآلي، وجهاز التحميل، والمثبت، ونطاق درجة الحرارة، ودقة المنصة، وواجهة المجس، والمجهر، والهيكل، والبرمجيات، وأجهزة التحكم، والملحقات المرفقة، وحالة المعدات، جميعها على السعر. لا ينبغي مقارنة منصة مختبرية يدوية صغيرة مباشرةً بمجس إنتاج آلي.

يمكن إعادة تهيئة بعض المنصات المعيارية، ولكن تختلف مكوناتها من حيث الظرف، والمجسات، والكابلات، والمحددات، والتدريع، والمعايرة، وتصميم السلامة. لذا، ينبغي التأكد من دعم التكوين الفعلي بدلاً من استنتاجه من اسم الطراز الأساسي.

تأكد من الطراز الكامل والرقم التسلسلي، وحجم الرقاقة، وجهاز التحميل، وأداء المنصة والمحاذاة، ونوع الظرف، وخيارات درجة الحرارة، وواجهة بطاقة المسبار، وأجهزة التحكم، والبرامج والتراخيص، والملحقات المرفقة، وحالة التشغيل وسجل الخدمة.