آلات تنظيف الرقائق لمعالجة أشباه الموصلات

تُعدّ أجهزة تنظيف الرقائق فئة واسعة. ويُشير مصطلح "جهاز تنظيف الرقائق" عادةً إلى المعدات التي تستخدم الفرش أو النفاثات أو البخاخات مع الشطف والتجفيف. وقد تستخدم أجهزة تنظيف الرقائق الأخرى معالجة الرقائق المفردة الرطبة، أو خزانات الدفعات، أو الطاقة فوق الصوتية، أو ثلج ثاني أكسيد الكربون، أو طريقة تنظيف متخصصة أخرى.

تستخدم عملية التنظيف بعد التقطيع عادةً وظائف الرش، والتنظيف بسائلين، والفرشاة، والنفث، والشطف، والتجفيف بالتدوير لإزالة بقايا القطع مع بقاء الرقاقة أو الركيزة مدعومة. يعتمد اختيار الجهاز المناسب على حجم الرقاقة، وحالة الشريط أو الإطار، وعمق الأخاديد، ومتطلبات المعالجة.

لا. يجب مراجعة مادة الفرشاة، والضغط، والدوران، ومساحة التلامس، وتضاريس الرقاقة. قد تتطلب هياكل MEMS الهشة، والرقاقات الرقيقة، والنتوءات، أو المواد المركبة تنظيفًا منخفض التلامس أو بدون تلامس.

يمكن اللجوء إلى استخدام الموجات فوق الصوتية عندما يصعب إزالة الجسيمات الدقيقة بالشطف أو التنظيف بالفرشاة فقط. يجب تقييم التردد والطاقة والتركيب الكيميائي وبنية الرقاقة وحدود التلف لكل عملية على حدة.

تأكد من الطراز الكامل، والسنة، والرقم التسلسلي، وإعداد حجم الرقاقة، وحالة الحجرة، والفرش أو الفوهات، وحامل الدوران، والمضخات، والمرشحات، والخزانات، والمجفف، والتوافق الكيميائي، وأجهزة المناولة، والبرامج، وسجل الصيانة، وحالة التآكل، والملحقات المرفقة.

أرسل مصدر التلوث، ومادة الرقاقة وقطرها، وسمكها وحالة سطحها، والجانب المراد تنظيفه، ومتطلبات الكيمياء أو الماء منزوع الأيونات، وهدف التجفيف، وشكل التحميل، ومستوى الأتمتة، وحالة المعدات المفضلة، والكمية والوجهة.