نوفر أجهزة زرع أيونات أشباه الموصلات المستعملة لأغراض الاستبدال، وتوسيع القدرات، وتطوير عمليات تصنيع الرقائق الأمامية. لدينا مخزون من منصات زرع الأيونات عالية التيار، ومتوسطة التيار، وعالية الطاقة، والمتخصصة، ونساعد المشترين على مراجعتها.
سواء كنت تستبدل أداة قديمة، أو توسع قدرة الإنتاج، أو تبحث عن منصة OEM محددة، يمكننا مساعدتك في مراجعة اتجاه المعدات، وتكوين مصدر الأيونات وخط الحزمة، ومعالجة الرقاقات ونطاق التسليم.
أرسل معلومات عن الشركة المصنعة، والطراز، وحجم الرقاقة، أو متطلبات الزرع المستهدفة لبدء مراجعة المعدات المناسبة، وتوافق العملية، ومتطلبات استخدام المصنع.
تصفح مجموعتنا الحالية من أنظمة زرع الأيونات المستعملة لتصنيع رقائق أشباه الموصلات. تتغير المنصات والتكوينات المتاحة باستمرار، لذا يجب التأكد من مصدر الأيونات وخط الحزمة ومحطة المعالجة ونظام معالجة الرقائق ونظام التحكم والمعدات الداعمة مع الجهاز المحدد قبل الشراء.
إذا لم تكن المنصة المطلوبة مدرجة في القائمة الحالية، يُرجى إرسال اسم الشركة المصنعة، والطراز، وحجم الرقاقة، ومنصة الإنتاج الحالية، أو متطلبات الزرع المستهدفة. يمكننا مراجعة المعدات الواردة وخيارات التوريد بناءً على الطلب.
يبدأ اختيار جهاز زرع الأيونات بتحديد نطاق العملية المطلوب، وليس اسم الجهاز فقط. ينبغي أن يوجه البحث الأيون المستهدف، والطاقة، والجرعة، وظروف الرقاقة، وأهداف العملية.
يقوم النظام بتوليد الأيونات، وتسريعها، وفصلها حسب الكتلة، والتحكم في الحزمة، وتوجيهها أو مسحها عبر الرقاقة. وتتعامل المنصات المختلفة مع هذه العملية بطرق مختلفة.
| الحاجة الفعلية للعملية | توجيهات المعدات ذات الصلة | ما الذي لا يزال بحاجة إلى مراجعة |
|---|---|---|
| إنتاج جرعات عالية أو تيار شعاعي عالي | تيار عالي | أنواع الأيونات، ونطاق الطاقة، ونطاق الجرعة، وتيار الحزمة، ودرجة حرارة الرقاقة، وهدف الإنتاجية |
| نطاق أوسع للعمليات ومرونة تشغيلية أكبر | غرسة مرنة / تيار متوسط | نافذة الطاقة، والتحكم في الجرعة، وزاوية الزرع، وإعداد الشعاع، ومنصة الرقاقة |
| غرسات أعمق | طاقة عالية | نطاق الطاقة القابل للاستخدام، وتكوين خط الحزمة، وأنواع الأيونات، وعملية الهدف |
| عمليات زرع السيليكون كاربيد، أو درجات الحرارة العالية، أو العمليات المخصصة | زراعة متخصصة / عالية الحرارة | مادة الرقاقة، والتحكم في درجة الحرارة، ومصدر الأيونات، ومحطة النهاية، وتكوين الجهاز الفعلي |
يجمع جهاز زرع الأيونات بين أنظمة الجهد العالي والفراغ العالي وخط الحزمة والغاز ومعالجة الرقاقات. تساعد هذه الفحوصات الخمسة في تحديد ما إذا كانت المنصة المستخدمة تستحق مزيدًا من التقييم.
أنواع الأيونات المطلوبة، ونطاق الطاقة، ونطاق الجرعة، ومتطلبات تيار الحزمة، ونوع مصدر الأيونات، وتكوين خط الحزمة المتوافق.
تجنب استلام جهاز لا يستطيع تغطية نطاق الأيونات أو الطاقة أو الجرعة المطلوبة.
توحيد الجرعة، والتحكم في زاوية الزرع، واستقرار الشعاع، وإدارة درجة حرارة الرقاقة، وسجلات الجسيمات والتلوث والصيانة المتاحة.
تجنب النظام الذي يعمل ولكنه لا يستطيع تلبية متطلبات التوحيد أو التحكم في الزاوية أو حدود التلوث.
إمكانية 150 مم أو 200 مم أو 300 مم، مادة الرقاقة وسمكها، تنسيق الكاسيت أو FOUP، EFEM، محطة النهاية، ومعالجة الرقاقة المفردة أو الدفعات.
تجنب شراء منصة زرع مناسبة لا يتوافق حجم رقاقة السيليكون أو نظام معالجتها مع الخط الحالي.
معلومات عن الحمل الكهربائي للمنشأة، والتبريد، والفراغ، وتوصيل غاز التشويب، والعادم والتخفيف، وأجهزة التعشيق، والبصمة، والوزن، ونظام الجهد العالي.
تجنب إحضار الآلة إلى الموقع لتكتشف لاحقًا أن الطاقة المتاحة أو التبريد أو العادم أو ظروف التعامل مع الغاز لا تدعمها.
الإنتاجية المتوقعة، وإعداد الحزمة، وحالة مصدر الأيونات وتاريخ الصيانة، ومكونات الفراغ، وتجميعات الجهد العالي، وأجهزة التحكم، ومتطلبات الأجزاء المعروفة.
تجنب استخدام أداة تناسب العملية ولكنها تتسبب في توقف مفرط للعملية، أو عبء صيانة، أو تكلفة إنتاج.
أرسل معلومات عن الطراز، والمنصة الحالية، ونوع الأيونات، وحجم الرقاقة، وطاقة الهدف أو نطاق الجرعة، ومعلومات المعدات المتاحة.
قد يؤدي الحفاظ على اتجاه عملية راسخ على منصة مألوفة إلى تقليل نطاق نقل الوصفات وإعادة التأهيل.
عندما يتقادم النظام المثبت أو عندما لا تعود المنصة الأصلية متاحة بسهولة كمعدات جديدة، قد يساعد نظام مستعمل متوافق في الحفاظ على تشغيل خط إنتاج ناضج مع تقليل الالتزام الرأسمالي الأولي.
لا تُعيد منصة مماثلة إنتاج العملية الحالية تلقائيًا. ولا يزال التوافق النهائي يعتمد على مصدر الأيونات الفعلي، وخط الحزمة، ومحطة النهاية، وأنظمة التحكم، ومعالجة الرقاقات، والمعدات الداعمة المرفقة بالجهاز.
استخدم نفس عائلة المنصة أو نظامًا مناسبًا آخر عندما لا يكون من العملي استخدام معدات جديدة لعملية قائمة.
أضف نظامًا متوافقًا لدعم نمو الإنتاج مع الحفاظ على تقنية الزرع المستخدمة بالفعل في هذا الخط.
يمكن مراجعة تجميعات خطوط الحزم، والمحطات الطرفية، ووحدات معالجة الرقاقات، أو المكونات الداعمة مع طلب المعدات الرئيسية عندما تتوفر معلومات كافية عن النموذج والتكوين.
تتضمن أجهزة زرع الأيونات أنظمة عالية الجهد، وأنظمة فراغ، وأنظمة خطوط شعاعية، وأنظمة معالجة رقائق السيليكون، مما يتطلب عناية فائقة قبل الشحن، وأثناء النقل، وبعد الوصول. نساعد في توضيح نطاق التسليم وتوجيه الدعم وفقًا لظروف المنصة والمشروع الفعلية.
لا يشمل السعر بشكل افتراضي التركيب في الموقع، وتطوير العمليات، والصيانة طويلة الأجل. يجب تحديد أي أعمال من هذا القبيل في عرض الأسعار النهائي أو نطاق الخدمة.
طلب دعم نظام زرع الأيوناتتغطي هذه الأسئلة المشكلات الرئيسية التي يواجهها المشترون عند مراجعة معدات زرع الأيونات لأشباه الموصلات المستعملة.
تُستخدم أجهزة الزرع عالية التيار عمومًا عندما يكون تيار الحزمة العالي وإنتاج الجرعات العالية أمرًا بالغ الأهمية، وغالبًا ما يكون ذلك ضمن نطاقات طاقة منخفضة إلى متوسطة. توفر أنظمة التيار المتوسط عادةً مرونة أكبر في ظروف الطاقة والجرعة وزاوية الزرع. أما أجهزة الزرع عالية الطاقة فهي مُخصصة للعمليات التي تتطلب نطاق طاقة أعلى وعمقًا أكبر في الزرع. وتعتمد القدرة النهائية على مصدر الأيونات وخط الحزمة ومحطة النهاية وتكوين الجهاز الفعلي.
تتضمن المعلومات الأولية المفيدة الشركة المصنعة والطراز، ومنصة الإنتاج الحالية، وحجم الرقاقة ومادتها، وأنواع الأيونات المستهدفة، والطاقة المطلوبة ونطاق الجرعة، ومتطلبات درجة حرارة الزرع، وتنسيق معالجة الرقاقة، ومتطلبات زاوية الشعاع أو التوحيد، وهدف الاستبدال أو توسيع السعة.
نعم. قد تختلف الأنظمة من نفس فئة المنصة في مصدر الأيونات، وخط الحزمة، ونطاق الطاقة، ومحطة المعالجة، ومعالجة الرقاقات، وأنظمة التحكم، والبرمجيات، والمعدات الداعمة. لذا، ينبغي مراجعة جهازين يحملان اسمين متشابهين بشكل منفصل.
ينبغي أن تقارن المراجعة بين أنواع الأيونات، والطاقة، ونافذة الجرعة، ومتطلبات التحكم في الشعاع والزاوية، وحجم الرقاقة وشكل التعامل معها، وتكوين المحطة النهائية، والحمل الكهربائي للمنشأة، والتبريد، ومتطلبات الغاز والعادم، وبيئة نظام التحكم، والمعدات الداعمة، والإنتاجية المتوقعة، وظروف الصيانة.
نعم. أرسل لنا اسم الشركة المصنعة، والطراز، وحجم الرقاقة، ومنصة الإنتاج الحالية، أو متطلبات الزرع المستهدفة. يمكننا مراجعة المعدات الواردة، ومعلومات السوق المتاحة، والبدائل المحتملة لمزيد من التقييم. يعتمد التوافر والنطاق النهائي على النظام المحدد.
ابدأ بتحديد النموذج، أو لوحة الاسم، أو صورة الجهاز، أو متطلبات الزرع المستهدف. يمكننا مراجعة متطلبات المعدات، والتحقق من توافرها الحالي، والمساعدة في تقييم معايير التأهيل قبل الشراء.