Dostarczamy używane implantery jonów półprzewodnikowych do wymiany, rozbudowy mocy i udoskonalania procesów produkcji płytek półprzewodnikowych. Dostarczamy i pomagamy kupującym w przeglądzie platform implantacyjnych wysokoprądowych, średnioprądowych, wysokoenergetycznych i specjalistycznych.
Niezależnie od tego, czy wymieniasz starzejące się narzędzie, zwiększasz moce produkcyjne czy poszukujesz konkretnej platformy OEM, możemy pomóc w przeglądzie kierunku rozwoju sprzętu, konfiguracji źródła jonów i linii wiązki, obsługi płytek i zakresu dostawy.
Wyślij informacje o producencie, modelu, rozmiarze wafla lub docelowym wszczepie, aby rozpocząć przegląd odpowiedniego sprzętu, zgodności procesu i wymagań dotyczących użyteczności fabryki.
Zapoznaj się z naszą aktualną ofertą używanych systemów implantacji jonów do produkcji płytek półprzewodnikowych. Dostępne platformy i konfiguracje regularnie się zmieniają, dlatego przed zakupem należy zweryfikować źródło jonów, linię wiązki, stację końcową, sposób obsługi płytek, system sterowania i urządzenia pomocnicze z konkretną maszyną.
Jeśli wymagana platforma nie znajduje się na aktualnej liście, prosimy o przesłanie informacji o producencie, modelu, rozmiarze płytki, aktualnej platformie produkcyjnej lub docelowych wymaganiach dotyczących implantu. Możemy przeanalizować przychodzące urządzenia i opcje zaopatrzenia oparte na zapytaniach.
Wybór implantatora jonów zaczyna się od wymaganego okna procesowego, a nie tylko od nazwy urządzenia. Docelowy jon, energia, dawka, stan płytki i cele procesu powinny stanowić podstawę poszukiwań.
System generuje jony, przyspiesza je i rozdziela masowo, steruje wiązką i kieruje ją lub skanuje przez płytkę. Różne platformy radzą sobie z tą sekwencją na różne sposoby.
| Rzeczywista potrzeba procesu | Odpowiednie wskazówki dotyczące sprzętu | Co nadal wymaga przeglądu |
|---|---|---|
| Produkcja dużej dawki lub dużego prądu wiązki | Wysoki prąd | Gatunki jonów, okno energetyczne, zakres dawki, prąd wiązki, temperatura płytki i docelowa przepustowość |
| Szerszy zakres procesów i elastyczność operacyjna | Średni prąd / elastyczny implant | Okno energetyczne, kontrola dawki, kąt implantu, konfiguracja wiązki i platforma wafla |
| Głębsze profile implantów | Wysoka energia | Zakres użytecznej energii, konfiguracja linii wiązki, gatunki jonów i proces docelowy |
| SiC, procesy wysokotemperaturowe lub dedykowane procesy implantacji | Implant specjalistyczny / wysokotemperaturowy | Materiał wafla, kontrola temperatury, źródło jonów, stacja końcowa i rzeczywista konfiguracja maszyny |
Implantator jonów łączy w sobie systemy wysokiego napięcia, wysokiej próżni, linii wiązki, gazu i obsługi płytek półprzewodnikowych. Te pięć testów pomaga określić, czy używana platforma jest warta dalszej oceny.
Wymagane gatunki jonów, zakres energii, zakres dawki, wymagania dotyczące prądu wiązki, typ źródła jonów i kompatybilna konfiguracja linii wiązki.
Unikaj zakupu urządzenia, które nie jest w stanie zapewnić wymaganego okna jonowego, energetycznego lub dawkowego.
Jednorodność dawki, kontrola kąta implantacji, stabilność wiązki, zarządzanie temperaturą płytki oraz dostępne rejestry cząstek, zanieczyszczeń i konserwacji.
Unikaj systemu, który działa, ale nie jest w stanie osiągnąć wymaganej jednorodności, kontroli kąta lub limitów zanieczyszczeń.
Możliwość obróbki 150 mm, 200 mm lub 300 mm, materiał i grubość płytki, format kasetowy lub FOUP, EFEM, stacja końcowa, obsługa pojedynczych płytek lub partii.
Unikaj zakupu odpowiedniej platformy implantologicznej, której rozmiar płytki lub system obsługi nie pozwalają na połączenie z istniejącą linią.
Informacje na temat obciążenia elektrycznego obiektu, chłodzenia, próżni, dostarczania gazu domieszkowego, odprowadzania i redukcji zanieczyszczeń, blokad, zajmowanej powierzchni, wagi i układu wysokiego napięcia.
Unikaj sytuacji, w której przywieziesz maszynę na miejsce, a potem okaże się, że dostępne zasilanie, chłodzenie, układ wydechowy lub warunki obsługi gazu nie pozwalają na jej uruchomienie.
Oczekiwana przepustowość, konfiguracja wiązki, stan źródła jonów i historia konserwacji, komponenty próżniowe, zespoły wysokiego napięcia, elementy sterujące i znane wymagania dotyczące części.
Unikaj narzędzi, które pasują do procesu, ale powodują nadmierne przestoje, obciążenia związane z konserwacją lub koszty produkcji.
Prześlij model, obecną platformę, gatunek jonów, rozmiar płytki, docelową energię lub okno dawkowania i dostępne informacje o sprzęcie.
Utrzymanie ustalonego kierunku procesu na znanej platformie może ograniczyć zakres transferu receptury i ponownej kwalifikacji.
Gdy zainstalowany system się zestarzeje lub oryginalna platforma nie jest już dostępna jako nowy sprzęt, kompatybilny używany system może pomóc w utrzymaniu sprawnej linii produkcyjnej w działaniu, jednocześnie zmniejszając początkowe zaangażowanie kapitałowe.
Podobna platforma nie odtwarza automatycznie istniejącego procesu. Ostateczna kompatybilność nadal zależy od rzeczywistego źródła jonów, linii wiązki, stacji końcowej, elementów sterujących, sposobu obsługi płytek półprzewodnikowych oraz sprzętu pomocniczego dołączonego do urządzenia.
Jeśli nowy sprzęt nie jest już praktyczny w przypadku stosowanego procesu, należy zastosować tę samą rodzinę platform lub inny odpowiedni system.
Dodaj kompatybilny system, który wspomoże wzrost produkcji, zachowując jednocześnie technologię implantów już wykorzystywaną przez linię produkcyjną.
Zespoły linii wiązki, stacje końcowe, moduły do obsługi płytek półprzewodnikowych lub komponenty pomocnicze można przeglądać razem z głównym żądaniem sprzętu, jeśli dostępne są wystarczające informacje na temat modelu i konfiguracji.
Implantatory jonowe zawierają systemy wysokiego napięcia, próżniowe, do obsługi linii wiązek i płytek półprzewodnikowych, które wymagają ostrożnego obchodzenia się z nimi przed wysyłką, w trakcie transportu i po dostarczeniu. Pomagamy w doprecyzowaniu zakresu dostawy i kierunku wsparcia zgodnie z rzeczywistymi warunkami platformy i projektu.
Instalacja na miejscu, opracowanie procesów i długoterminowa konserwacja nie są wliczone w cenę. Wszelkie tego typu prace muszą zostać określone w ostatecznej ofercie lub zakresie usług.
Poproś o wsparcie systemu implantów jonowychPytania te dotyczą głównych problemów, z jakimi borykają się nabywcy przy zakupie używanego sprzętu do implantacji jonów półprzewodnikowych.
Implantatory wysokoprądowe są zazwyczaj stosowane tam, gdzie ważny jest wysoki prąd wiązki i wytwarzanie wyższych dawek, często w niższych i średnich zakresach energii. Systemy średnioprądowe zazwyczaj zapewniają większą elastyczność w zakresie energii, dawki i kąta implantacji. Implantatory wysokoenergetyczne są przeznaczone do procesów wymagających wyższego zakresu energii i głębszych profili implantacji. Ostateczna wydajność nadal zależy od źródła jonów, linii wiązki, stacji końcowej i rzeczywistej konfiguracji urządzenia.
Przydatne informacje wyjściowe obejmują producenta i model, obecną platformę produkcyjną, rozmiar i materiał wafla, docelowe gatunki jonów, wymaganą energię i zakres dawek, wymagania dotyczące temperatury implantacji, format obsługi wafli, wymagania dotyczące kąta wiązki lub jednorodności oraz cel zastąpienia lub rozszerzenia pojemności.
Tak. Systemy z tej samej rodziny platform mogą różnić się źródłem jonów, linią wiązki, zakresem energii, stacją końcową, obsługą płytek, sterowaniem, oprogramowaniem i sprzętem pomocniczym. Dlatego dwie maszyny o podobnych nazwach modeli należy rozpatrywać indywidualnie.
W ramach przeglądu należy porównać gatunki jonów, okno energetyczne i dawkowe, wymagania dotyczące sterowania wiązką i kątem, rozmiar płytki i sposób jej obsługi, konfigurację stacji końcowej, obciążenie elektryczne obiektu, wymagania dotyczące chłodzenia, gazu i spalin, środowisko systemu sterowania, sprzęt pomocniczy, oczekiwaną przepustowość i warunki konserwacji.
Tak. Prosimy o przesłanie informacji o producencie, modelu, rozmiarze płytki, aktualnej platformie produkcyjnej lub docelowych wymaganiach dotyczących implantu. Możemy przeanalizować dostarczony sprzęt, dostępne informacje rynkowe i potencjalne alternatywy w celu dalszej oceny. Dostępność i ostateczny zakres zależą od konkretnego zidentyfikowanego systemu.
Zacznij od modelu, tabliczki znamionowej, zdjęcia maszyny lub wymagań dotyczących implantu docelowego. Możemy przejrzeć instrukcje dotyczące sprzętu, sprawdzić jego dostępność i pomóc w ocenie wymagań kwalifikacyjnych przed zakupem.