جهاز تنظيف الرقاقات SCREEN SU-3200 | نظام تنظيف الرقاقات الفردية عالي الإنتاجية 300 مم

ال منظف ​​رقائق السيليكون SCREEN SU-3200 هو نظام تنظيف رقائق السيليكون أحادية الشريحة عالي الإنتاجية بقطر 300 مم، تم تطويره بواسطة شركة سكرين لحلول أشباه الموصلات لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة. تم تصميمه لتوفير معالجة مستقرة للرقائق، وتوصيل مرن للمواد الكيميائية، وقدرة إنتاجية فعالة في بيئات التصنيع ذات الحجم الكبير.

مع ازدياد صغر حجم هياكل أشباه الموصلات وتعقيدها، تنظيف الرقائق يجب أن تزيل المعدات الجزيئات والمخلفات الكيميائية والملوثات العضوية ونواتج المعالجة الثانوية دون إتلاف أنماط الرقاقات الحساسة. يجمع جهاز SCREEN SU-3200 بين المعالجة متعددة الحجرات، والتحكم الدقيق في التعامل مع الرقاقات، وتقنية التنظيف القابلة للتكوين، لتلبية متطلبات عمليات أشباه الموصلات الأمامية.

ما هو جهاز تنظيف رقائق السيليكون SCREEN SU-3200؟

نظام SCREEN SU-3200 هو نظام تنظيف رطب لرقاقة واحدة يُستخدم في تصنيع أشباه الموصلات. يقوم النظام بمعالجة الرقاقات بشكل فردي، مما يسمح بالتحكم في تركيبة التنظيف، وتوصيل المواد الكيميائية، وتسلسل الشطف، وظروف التجفيف، ووقت المعالجة لكل رقاقة على حدة.

بالمقارنة مع أنظمة التنظيف الدفعية التي تعالج رقائق متعددة في نفس الخزان، فإن تنظيف الرقاقة الواحدة يوفر مرونة أكبر للعمليات المتقدمة ويساعد على تقليل خطر التلوث المتبادل بين الرقائق.

صُمم جهاز SU-3200 لإنتاج رقائق السيليكون بقطر 300 مم، ويمكن تهيئته بغرف معالجة متعددة. وبحسب التكوين المُثبّت ووصفة المعالجة، قد يدعم النظام ما يصل إلى 12 غرفة معالجة، وبمعدل إنتاج يصل إلى 800 رقاقة في الساعة.

تعتمد الطاقة الإنتاجية الفعلية على عملية التنظيف، وترتيب الحجرة، والتسلسل الكيميائي، وظروف معالجة الرقاقات، ومتطلبات التجفيف، وتكوين المعدات.

لماذا يُعد تنظيف الرقاقات أمرًا بالغ الأهمية في صناعة أشباه الموصلات؟

تمر رقائق أشباه الموصلات بالعديد من عمليات الترسيب، والطباعة الحجرية، والحفر، والزرع، والإزالة، والتلميع. ويمكن أن تترك كل خطوة من خطوات الإنتاج تلوثًا غير مرغوب فيه على سطح الرقاقة.

تشمل الملوثات الشائعة في رقائق السيليكون ما يلي:

• الجسيمات والتلوث المحمول جواً

• المواد المقاومة للضوء والمخلفات العضوية

• التلوث المعدني

• المخلفات الكيميائية

• نواتج ثانوية للحفر

• مخلفات التلميع الكيميائي الميكانيكي بعد عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي

• علامات الرطوبة والجفاف

إذا لم تتم إزالة هذه الملوثات بشكل صحيح، فقد تتسبب في عيوب في النمط، وضعف التصاق الفيلم، والتسرب الكهربائي، وفقدان الإنتاجية، ومشاكل في موثوقية الجهاز على المدى الطويل.

يساعد نظام تنظيف الرقاقات المُهيأ بشكل صحيح في الحفاظ على نظافة السطح قبل انتقال الرقاقة إلى عملية تصنيع أشباه الموصلات التالية.

التقنيات الرئيسية لشاشة العرض SU-3200

معالجة الرقاقات المفردة عالية الإنتاجية

تم تصميم جهاز SCREEN SU-3200 لإنتاج رقائق السيليكون بكميات كبيرة بحجم 300 مم. يسمح تصميمه متعدد الحجرات بتشغيل عمليات التنظيف والشطف والتجفيف المختلفة بالتوازي.

يمكن تهيئة النظام بما يصل إلى 12 حجرة معالجة، وذلك حسب متطلبات الإنتاج. يساعد هذا الترتيب للحجرات على زيادة الطاقة الإنتاجية مع التحكم في المساحة الإجمالية للمعدات.

إنتاج ما يصل إلى 800 رقاقة في الساعة

اعتمادًا على وصفة العملية وتكوين النظام، يمكن لجهاز SU-3200 توفير إنتاجية تصل إلى 800 رقاقة في الساعة.

يعتمد معدل الإنتاج الفعلي الذي يتم تحقيقه في الإنتاج على كمية الحجرة، ووقت المعالجة الكيميائية، ومتطلبات الشطف والتجفيف، وسرعة نقل الرقاقة، ومدى تعقيد الوصفة.

التحكم في جو العمليات في منطقة آسيا والمحيط الهادئ

يشتمل جهاز SU-3200 على تقنية التحكم في جو عملية SCREEN المصممة لإدارة البيئة المحيطة بالرقاقة أثناء المعالجة.

يُسهم التحكم في تدفق الهواء وظروف الحجرة في تقليل التعرض للتلوث ودعم معالجة الرقائق بشكل مستقر. يجب التأكد من تقنية الحجرة المُثبتة والوظائف المتاحة لكل نظام على حدة.

تجفيف رقائق السيليكون المتحكم به

يُعد التجفيف مرحلة مهمة في عملية تنظيف الرقاقات لأن الرطوبة المتبقية أو علامات التجفيف قد تؤثر على خطوات التصنيع اللاحقة.

يستخدم جهاز SU-3200 تقنية تجفيف متحكم بها مصممة لتقليل تكوين علامات الماء وتوفير ظروف سطح قابلة للتكرار بعد التنظيف.

تكوين مرن لإمدادات المواد الكيميائية

يمكن تهيئة المعدات بترتيبات توصيل كيميائية مختلفة وفقًا لعملية الإنتاج المطلوبة.

تشمل التكوينات المتاحة أنظمة الحقن المباشر الديناميكي وأنظمة تزويد المواد الكيميائية داخل الخزائن. وتعتمد إمكانية التوافق على الوحدات الكيميائية المثبتة، والمرافق، وغرف المعالجة، ومتطلبات الوصفة.

معالجة الرقاقات الآلية

يقوم نظام نقل الرقاقات بنقل الرقاقات تلقائيًا بين منافذ التحميل ومنطقة النقل وغرف المعالجة وموضع الإخراج.

تعتبر معالجة الرقاقات بدقة أمراً بالغ الأهمية لمنع تلف الرقاقات، وأخطاء النقل، وتوليد الجسيمات، وانقطاعات الإنتاج.

التحكم في العمليات القائم على الوصفات

يمكن إدارة معايير التنظيف من خلال وصفات العمليات المخزنة. وبحسب تكوين الجهاز، قد تشمل المعايير القابلة للتعديل اختيار المواد الكيميائية، ومعدل تدفقها، ووقت العملية، وتسلسل الشطف، ودوران الرقاقة، ودرجة الحرارة، وظروف التجفيف.

المعلومات التقنية لشاشة SU-3200

قد تختلف المواصفات الدقيقة وفقًا لسنة إنتاج الآلة، وتكوين الأجهزة، وعدد الحجرات، والوحدات الكيميائية، وإصدار البرنامج، وخيارات المصنع، والتطبيق السابق.

يجب التحقق من لوحة بيانات المعدات، وقائمة التكوين، ومتطلبات المنشأة، وحالة التشغيل الحالية قبل الشراء.

تطبيقات جهاز تنظيف الرقاقات SCREEN SU-3200

تصنيع أجهزة المنطق المتقدمة

تتطلب أجهزة المنطق المتقدمة تحكمًا دقيقًا في الجسيمات والمخلفات والتلوث المعدني. يمكن تهيئة جهاز SU-3200 لعمليات التنظيف المستخدمة بين خطوات تصنيع أشباه الموصلات الحرجة.

إنتاج أشباه الموصلات الذاكرة

تستخدم ذاكرة الوصول العشوائي الديناميكية (DRAM) وذاكرة الفلاش NAND وغيرها من منتجات الذاكرة هياكل معقدة وعمليات تصنيع متكررة. ويساعد التنظيف المستقر للرقاقات على الحفاظ على حالة السطح وتقليل العيوب المرتبطة بالتلوث.

التنظيف بعد عملية الحفر

قد يُخلّف الحفر بالبلازما بقايا بوليمرية ونواتج ثانوية أخرى على سطح الرقاقة. لذا، يلزم اتباع طريقة تنظيف مناسبة لإزالة هذه البقايا قبل عملية الترسيب أو التشكيل التالية.

التنظيف بعد إزالة طبقة مقاومة الضوء

بعد إزالة طبقة المقاوم الضوئي، قد تتطلب المواد العضوية المتبقية ومخلفات العملية تنظيفًا رطبًا إضافيًا. يمكن تهيئة جهاز SU-3200 وفقًا للتسلسل الكيميائي المطلوب وظروف سطح الرقاقة.

التنظيف بعد عملية التلميع الكيميائي الميكانيكي

قد تُخلّف عملية التسوية الكيميائية الميكانيكية جزيئات من المادة المعلقة، وبقايا التلميع، وتلوثًا معدنيًا على الرقاقة. لذا، يلزم استخدام وحدة المعالجة والوصفة المناسبتين لتطبيقات ما بعد التسوية الكيميائية الميكانيكية.

تحضير السطح قبل الترسيب

قبل الترسيب أو خطوات التصنيع الحاسمة الأخرى، قد تتطلب الرقائق تحضيرًا سطحيًا مضبوطًا لإزالة التلوث وتوفير ظروف سطحية مناسبة.

عملية تنظيف الرقاقات باستخدام شاشة SU-3200

1. قم بتحميل حامل الرقاقة أو الحاوية الموحدة ذات الفتحة الأمامية في الجهاز.

2. حدد رقم دفعة الرقاقات واختر وصفة التنظيف المطلوبة.

3. انقل الرقاقة من منفذ التحميل إلى حجرة المعالجة المخصصة.

4. قم بتطبيق تسلسل التنظيف الكيميائي المحدد.

5. إزالة الجزيئات، والمخلفات العضوية، والتلوث المعدني، أو المنتجات الثانوية للعملية.

6. اشطف الرقاقة باستخدام الماء منزوع الأيونات أو عملية الشطف المحددة.

7. جفف الرقاقة في ظل ظروف معالجة مضبوطة.

8. أعد الرقاقة المعالجة إلى موضع الإخراج المحدد.

9. انقل مجموعة الرقائق إلى عملية تصنيع أشباه الموصلات التالية.

مخطط سير العمل النموذجي:

تحميل الرقاقات ← اختيار الوصفة ← نقلها إلى الحجرة ← التنظيف الكيميائي ← الشطف بالماء منزوع الأيونات ← التجفيف المتحكم به ← تفريغ الرقاقات

مزايا شاشة SU-3200

• مصمم لمعالجة الرقاقات المفردة بقطر 300 مم

• تصميم متعدد الحجرات للإنتاج بكميات كبيرة

• تصل الإنتاجية إلى 800 رقاقة في الساعة، وذلك حسب ظروف العملية.

• عمليات تنظيف وشطف وتجفيف كيميائية قابلة للتخصيص

• تحميل ونقل الرقاقات آليًا

• التحكم في العمليات بناءً على الوصفات

• مناسب لبيئات تصنيع المنطق والذاكرة المتقدمة

• تكوين مرن للحجرة وإمداد المواد الكيميائية

نقاط مهمة عند اختيار شاشة مستعملة من طراز SCREEN SU-3200

ينبغي تقييم جهاز التنظيف SCREEN SU-3200 المستعمل بناءً على مواصفاته الكاملة وحالة تشغيله الحالية. ولا يُعدّ اسم الطراز وحده دليلاً على ملاءمة الجهاز لعملية تنظيف محددة.

تشمل نقاط التفتيش المهمة ما يلي:

• معلومات كاملة عن الطراز والرقم التسلسلي والتصنيع

• عدد ونوع غرف المعالجة المركبة

• التطبيقات الكيميائية والإنتاجية السابقة

• حالة خزانة إمداد المواد الكيميائية وخط التوصيل

• حجرة المعالجة، والفوهة، ومحرك الدوران، وحالة العادم

• دقة الروبوت، وجهاز المحاذاة، ومنفذ التحميل، ونقل الرقاقات

• أداء نظام التجفيف والتحكم في التلوث

• التحكم في الكمبيوتر، وإصدار البرنامج، والوصفات، وملفات النسخ الاحتياطي

• متطلبات المرافق، بما في ذلك الطاقة، والعادم، والمياه، والمواد الكيميائية، والهواء المضغوط

• توفر الكتيبات والملحقات وقطع الغيار وسجلات الصيانة

عند الإمكان، يجب أن تخضع الآلة لفحص التشغيل، واختبار نقل الرقاقة، واختبار تشغيل الحجرة، وفحص الإنذار، والتحقق من وظيفة العملية قبل الشحن.

اعتبارات صيانة شاشة SU-3200

يعد الفحص المنتظم والصيانة الوقائية ضروريين للحفاظ على استقرار معالجة الرقائق، وتوصيل المواد الكيميائية، والتحكم في الجسيمات، وقابلية تكرار التنظيف.

• افحص خطوط إمداد المواد الكيميائية والصمامات والمضخات والمرشحات ومكونات التحكم في التدفق.

• قم بتنظيف وفحص غرف المعالجة وفقًا لجدول الصيانة.

• افحص فوهات الرش، ومنافذ المواد الكيميائية، ومكونات دوران الرقاقات.

• مراقبة دقة نقل الرقاقات وتحديد موضع الروبوت.

• افحص نظام التجفيف وتحقق من حالة الرقاقة بعد التنظيف.

• مراقبة أداء الجسيمات وقابلية تكرار العملية.

• تحقق من وصفات العمليات بعد استبدال الأجهزة أو صيانتها.

• افحص نظام العادم، ونظام كشف التسرب، وأجهزة التعشيق، وأنظمة السلامة الأخرى.

ينبغي أن تتم إجراءات الصيانة بواسطة أفراد مدربين باستخدام ضوابط السلامة المناسبة، وخاصة عند فحص مكونات توصيل المواد الكيميائية ومكونات العمليات الرطبة.

دعم توريد وتكوين معدات شاشة SU-3200

نحن نوفر أنظمة تنظيف الرقائق المختارة من طراز SCREEN SU-3200 لتصنيع أشباه الموصلات، وتوسيع العمليات، ومشاريع استبدال المعدات.

قد يختلف تكوين الحجرة والوحدات الكيميائية ونظام معالجة الرقائق والبرامج والملحقات والوثائق ونطاق التجديد وشروط التسليم بين الأجهزة الفردية.

للتأكد مما إذا كان جهاز SCREEN SU-3200 المتاح يطابق عمليتك، يرجى تقديم حجم الرقاقة المطلوب، وتطبيق التنظيف، والعملية الكيميائية، والإنتاجية المستهدفة، ومتطلبات الحجرة، ومرافق المصنع، وبلد الوجهة، وحالة المعدات المفضلة.