블레이드, 플랜지 및 스핀들
절삭 하중, 날 회전 및 장착 정확도반복적인 날 파손, 높은 스핀들 부하, 비정상적인 소음 또는 진동, 날 감지 경보, 절단 폭 변화, 레시피 복원 후에도 남아있는 거친 모서리 또는 파편.
- 이상한 소리가 나거나, 날에 눈에 띄는 손상이 있거나, 심한 진동이 느껴지면 기계를 멈추십시오.
- 날 사양, 노출 정도, 플랜지 상태, 스핀들 부하 및 문제가 발생하는 정확한 절단 부위를 기록하십시오.
- 가능하다면 정상 작동하는 칼날과 비교하여 증상 변화가 있는지 기록하십시오.
- 플랜지 및 블레이드 장착 부품 검색
- 스핀들 관련 부품 또는 모듈 검토
- 스핀들 또는 절삭 모듈 수리 방향
- 복구가 불가능한 경우 웨이퍼 교체용 톱을 사용합니다.