웨이퍼 레벨 테스트 장비

웨이퍼 레벨 반도체 테스트용 프로브 스테이션 시스템

프로브 스테이션은 웨이퍼 및 다이 테스트 패드에 전기, RF 또는 광학 프로브를 배치한 다음 테스트 대상 장치를 측정 장비 또는 ATE 플랫폼에 연결합니다. 견적을 요청하기 전에 사용 가능한 웨이퍼 프로버를 살펴보고 자동화, 웨이퍼 크기, 척, 프로브 인터페이스, 온도 제어 및 생산 통합 기능을 비교해 보세요.

웨이퍼 프로브 스테이션 수동에서 자동 DC/RF/전력 테스트 신규 및 중고 장비
사용 가능한 장비

현재 사용 가능한 프로브 스테이션 모델 보기

각 제품 페이지를 열어 모델 플랫폼을 확인하십시오. 구매 결정을 내리기 전에 실제 웨이퍼 처리 방식, 척, 프로브 카드 인터페이스, 소프트웨어, 온도 옵션, 액세서리 및 장비 상태를 반드시 확인해야 합니다.

ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas 또는 기타 특정 웨이퍼 프로버를 찾고 계십니까? 현재 목록에 없더라도 모델 번호를 보내주세요.

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

ACCRETECH AP3000 웨이퍼 프로버

반도체 웨이퍼 테스트용 중고 ACCRETECH AP3000 웨이퍼 프로버입니다. 장비 상태, 구성, 배송 등에 대해 문의하십시오.

전체 테스트 경로를 구축합니다.

프로브 스테이션은 단독으로 작동하지 않습니다.

이 스테이션은 정밀한 위치 지정, 제어된 접촉 및 안정적인 테스트 환경을 제공합니다. 최종 결과는 프로브 또는 프로브 카드, 케이블, 스위칭, 테스트 장비, 교정 및 소프트웨어에도 영향을 받습니다. 따라서 외관상 유사해 보이는 두 개의 프로브 스테이션이라도 매우 다른 측정 결과를 제공할 수 있습니다.

01

웨이퍼, 다이 또는 기판

직경, 두께, 패드 레이아웃, 후면 상태 및 DUT가 전체 웨이퍼인지, 부분 웨이퍼인지, 개별 다이인지 확인하십시오.

02

척과 환경

진공, 열, 고출력, 저소음, 차광, 압력 또는 극저온 요구 사항에 따라 스테이션 구성이 달라집니다.

03

프로브 접촉

패드 개수, 피치, 주파수, 전류 및 반복 정밀도에 따라 개별 프로브 위치 조절기 또는 프로브 카드를 선택하십시오.

04

측정 기기

SMU, 파라미터 분석기, 오실로스코프, VNA, 전력 분석기 또는 ATE 장비를 사용하여 전기 테스트를 수행합니다.

05

제어 및 데이터

정렬, 스텝핑, 웨이퍼 매핑, 테스트 시퀀스, 교정 및 결과 처리는 워크플로 효율성을 결정합니다.

판매 지름길: 측정 대상과 이미 보유하고 있는 장비에 대해 알려주시면, 모든 구성 요소를 미리 지정하지 않고도 프로브 스테이션, 인터페이스 및 자동화 요구 사항을 좁혀드릴 수 있습니다.

측정값으로 선택하세요

테스트 목표에 따라 프로브 스테이션 구성이 결정됩니다.

"프로브 스테이션"은 광범위한 장비 범주입니다. DC 파라미터 특성 분석 시스템이 RF, 고출력, 광자 또는 극저온 테스트에 자동으로 적합한 것은 아닙니다.

01DC / IV-CV

장치 특성 분석, 공정 모니터링 및 저전류 측정에는 보호형 또는 트라이액스 연결, 적절한 척 및 EMI/광 차폐가 필요할 수 있습니다.

SMU파라미터 분석기낮은 누출
02RF/밀리미터파

고주파 프로빙은 RF 포지셔너, 호환 프로브, 교정 기판, 안정적인 케이블링 및 제어된 프로브-패드 정렬에 따라 달라집니다.

VNA구경 측정RF 척
03고출력

전력 반도체 테스트는 전류, 전압, 절연, 열 제어, 아크 보호 및 작업자 안전 요구 사항을 변경합니다.

고전류고전압써멀 척
04RF/광학/SiPh

실리콘 포토닉스 및 광전자 테스트는 전기 프로브와 광섬유 정렬, 광학 기기 및 동기화된 동작을 결합할 수 있습니다.

광학 정렬광섬유 어레이혼합 신호
05재무 분석 및 연구 개발

고장 분석 및 엔지니어링 연구실에서는 일반적으로 유연한 접근성, 현미경, 조작기, 그리고 웨이퍼, 다이 및 패키지 형식 간의 빠른 전환을 중요하게 여깁니다.

수동 제어현미경유연한 DUT
06진공/극저온

저온, 진공 또는 자기장 측정에는 전용 챔버, 피드스루, 열 설계 및 호환 가능한 프로브 위치 지정이 필요합니다.

비어 있는저온특수 시스템
자동화 수준

프로브 스테이션은 수동, 반자동 또는 자동 중 어떤 것을 선택하시겠습니까?

최적의 자동화 수준은 테스트 볼륨, 웨이퍼 크기, 정렬 난이도, 레시피 반복성 및 공정에서 허용 가능한 작업자 개입 수준에 따라 달라집니다.

결정의 순간수동 프로브 스테이션반자동 프로브 스테이션자동 웨이퍼 프로버
일반적인 사용연구 개발, 고장 분석, 교육 및 소량 생산 특성 분석.엔지니어링, 파라미터 테스트 및 반복 가능한 중용량 웨이퍼 측정.생산용 웨이퍼 테스트, 매핑된 스텝핑, 자동 정렬 및 고처리량 스크리닝.
운영자 역할작업자는 웨이퍼, 프로브 및 측정 지점을 직접 배치합니다.전동식 무대와 소프트웨어가 선택된 움직임을 자동화하는 동안 작업자는 설정 작업을 관리합니다.로더, 정렬, 웨이퍼 맵 및 테스트 시퀀스는 최소한의 개입으로 실행될 수 있습니다.
유연성실험 변경에 가장 높은 점수를 받았습니다. 프로브 암과 DUT에 쉽게 접근할 수 있습니다.유연성과 반복 가능한 동작 및 레시피 제어 기능을 균형 있게 제공합니다.제품 형식, 프로브 카드 및 테스트 흐름이 명확하게 정의되어 있을 때 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.
처리량최저치이며, 작업자의 숙련도와 설정 시간에 크게 영향을 받습니다.생산 자동화에 드는 모든 비용을 들이지 않고도 스텝 및 정렬 기능을 개선할 수 있습니다.최대 잠재력이지만, 실제 처리량은 테스터 시간, 접촉 품질 및 웨이퍼 처리 방식에 따라 달라집니다.
최고의 구매 질문해당 플랫폼이 제가 사용하는 측정 장비와 프로브 형상을 지원할 수 있습니까?어떤 움직임, 정렬 및 매핑 기능이 자동화되어 있습니까?어떤 로더, 웨이퍼 크기, 프로브 카드 인터페이스, 온도 범위 및 공장 인터페이스가 포함되어 있습니까?

현재 재고는 생산 탐지기에 집중될 수 있습니다. 조달 네트워크를 통해 수동, 반자동, RF, 전력 또는 특수 프로브 스테이션에 대한 요구 사항을 계속 검토할 수 있습니다.

어떤 유형이 적합한지 문의하세요
프로브 스테이션 가격

프로브 스테이션 가격이 왜 이렇게 차이가 많이 나는 걸까요?

검색 결과에는 종종 소형 수동 실험실 플랫폼과 200mm 또는 300mm 자동 웨이퍼 프로버가 혼합되어 나타납니다. 이러한 시스템은 가격대가 매우 다르므로, 정확한 견적을 받으려면 측정 목적과 실제 구성부터 시작해야 합니다.

중고 장비의 경우, 연식만으로는 가치를 판단할 수 없습니다. 로더 상태, 스테이지 정확도, 척 및 온도 옵션, 프로브 카드 인터페이스, 소프트웨어, 컨트롤러, 액세서리 및 유지보수 용이성 등이 최종 구매 가격에 더 큰 영향을 미칠 수 있습니다.

현재 가격을 문의하세요
테스트 장비 경계

프로브 스테이션, 자동 테스트 장비(ATE) 및 테스트 핸들러는 테스트 흐름의 서로 다른 구성 요소입니다.

구매자들은 이러한 용어들을 종종 혼용하지만, 각 장비 범주는 서로 다른 역할을 합니다. 이러한 구분을 명확히 함으로써 실제로 필요한 장비가 테스터, 프로브 카드 또는 패키지형 장치 핸들러인데도 기계식 프로버에 대한 견적을 내는 것을 방지할 수 있습니다.

프로브 스테이션 / 웨이퍼 프로버

웨이퍼 또는 다이의 위치를 ​​조정하고 프로브 또는 프로브 카드를 통해 반복 가능한 물리적 접촉을 수행합니다.

모델 보기

ATE/테스트 시스템

테스트 자극을 생성하고, 장치 응답을 측정하며, 전기 테스트 프로그램을 실행합니다.

테스트 시스템

프로브 카드 및 프로브

디바이스 패드와 측정 경로 사이에 전기적 인터페이스를 생성합니다. 피치, 주파수 및 전류는 애플리케이션에 맞게 조정해야 합니다.

장비 범위

테스트 핸들

웨이퍼 레벨 프로빙 및 패키징 후, 공급, 온도 조건 및 패키징된 장치의 분류를 관리합니다.

시험 가이드를 읽어보세요
구성 검토

저희는 테스트 요구사항을 장비 후보 목록으로 전환하는 데 도움을 드립니다.

문의하시기 전에 완벽한 사양서를 준비하실 필요는 없습니다. 장치, 측정 방법 및 웨이퍼 형식만 알려주시면 됩니다. 저희가 누락된 정보를 파악하고 보유 장비를 실제 테스트 환경과 비교하여 확인해 드리겠습니다.

프로브 스테이션 문의를 시작하세요
귀하가 제공하는 것 01

디바이스 및 웨이퍼

제품 유형, 웨이퍼 크기, 패드 레이아웃, 두께 및 로딩 형식.

당신은 02를 제공합니다

시험 목표

특성 분석, 고장 분석, 생산 검사, RF, 전력 또는 기타 측정.

03을 확인합니다

역 및 연락처

자동화 레벨, 척, 스테이지, 프로브 카드 또는 포지셔너, 현미경 및 인클로저.

04를 확인합니다

실제 공급 범위

모델명, 일련번호, 소프트웨어, 컨트롤러, 로더, 액세서리, 상태 및 배송 지원.

구매자 질문

프로브 스테이션 FAQ

이 답변들은 장비 선정, 통합 및 견적에 가장 자주 영향을 미치는 질문들을 다룹니다.

프로브 스테이션과 웨이퍼 프로버의 차이점은 무엇입니까?

두 용어는 일부 겹치는 부분이 있습니다. "프로브 스테이션"은 분석 또는 엔지니어링 플랫폼에 자주 사용되는 반면, "웨이퍼 프로버"는 웨이퍼 전체를 이동하는 반자동 또는 자동 시스템을 설명하는 데 일반적으로 사용되며 로더, 웨이퍼 매핑 및 생산 인터페이스를 포함할 수 있습니다. 정확한 모델 아키텍처가 명칭보다 더 중요합니다.

프로브 스테이션에는 테스터 또는 측정 기기가 포함되어 있습니까?

항상 그런 것은 아닙니다. 프로브 스테이션은 일반적으로 위치 지정, 접촉 및 테스트 환경을 제공합니다. SMU, 파라미터 분석기, VNA, 오실로스코프 또는 ATE 장비는 별도로 구성될 수 있으며 호환 가능한 프로브, 케이블, 스위칭 및 소프트웨어를 통해 통합되어야 합니다.

수동 프로빙과 자동 프로빙 중 어떤 것을 선택해야 할까요?

수동 시스템은 연구 개발 및 실험 변경에 유연하게 대응할 수 있습니다. 반자동 시스템은 반복 가능한 전동식 동작 및 매핑 기능을 추가합니다. 자동 웨이퍼 프로버는 정해진 생산 흐름, 카세트 처리 및 높은 테스트 볼륨에 더 적합합니다.

프로브 스테이션 가격은 무엇에 의해 결정됩니까?

웨이퍼 크기, 자동화, 로더, 척, 온도 범위, 스테이지 정밀도, 프로브 인터페이스, 현미경, 인클로저, 소프트웨어, 컨트롤러, 포함된 액세서리 및 장비 상태 모두 가격에 영향을 미칩니다. 소형 수동 실험실 플랫폼을 양산형 자동 프로빙 장비와 직접 비교해서는 안 됩니다.

하나의 프로브 스테이션으로 DC, RF 및 고출력 테스트를 모두 지원할 수 있습니까?

일부 모듈형 플랫폼은 재구성할 수 있지만, 척, 프로브, 케이블, 포지셔너, 차폐, 교정 및 안전 설계는 다를 수 있습니다. 기본 모델명에서 유추하기보다는 실제 구성에 대한 지원 여부를 확인해야 합니다.

중고 프로브 스테이션을 구매할 때 무엇을 확인해야 할까요?

모델명 및 일련번호, 웨이퍼 크기, 로더, 스테이지 및 정렬 성능, 척 유형, 온도 옵션, 프로브 카드 인터페이스, 컨트롤러, 소프트웨어 및 라이선스, 포함된 액세서리, 작동 조건 및 서비스 이력을 모두 확인하십시오.

프로브 스테이션 모델을 보내주시거나 필요한 측정값을 설명해 주세요.

웨이퍼 레벨 테스트 프로젝트에 필요한 장비, 구성 요구 사항, 실제 공급 범위 및 납품 옵션을 검토하겠습니다.

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