Оборудование для тестирования на уровне пластины

Системы зондовых станций для тестирования полупроводниковых пластин на уровне кремниевых пластин.

Зондовая станция размещает электрические, радиочастотные или оптические зонды на тестовых площадках пластин и кристаллов, а затем подключает тестируемое устройство к измерительным приборам или платформе автоматизированного тестирования (ATE). Ознакомьтесь с доступными зондами для пластин и сравните уровни автоматизации, размеры пластин, тип зажима, интерфейс зонда, контроль температуры и возможности интеграции в производство, прежде чем запрашивать коммерческое предложение.

Станция зондирования пластин Ручной режим к автоматическому Тестирование постоянного тока / радиочастот / мощности Новое и подержанное оборудование
Доступное оборудование

Просмотрите текущие модели зондовых станций.

Откройте страницу каждого продукта, чтобы ознакомиться с моделью платформы. Для принятия решения о покупке необходимо уточнить фактические параметры обработки пластин, тип зажимного устройства, интерфейс зондовой карты, программное обеспечение, температурные режимы, аксессуары и состояние оборудования.

Ищете конкретный прибор для исследования пластин от ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas или другой? Отправьте номер модели, даже если она в данный момент не отображается.

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

Пробойник пластин ACCRETECH UF3000EX

Бывший в употреблении пробоотборник для полупроводниковых пластин ACCRETECH UF3000EX. Уточняйте состояние, конфигурацию и другие характеристики оборудования.

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

Пробойник пластин ACCRETECH AP3000

Бывший в употреблении пробоотборник для тестирования полупроводниковых пластин ACCRETECH AP3000. Уточняйте состояние оборудования, конфигурацию, комплектацию и т.д.

Создайте полный путь тестирования.

Зондовая станция не работает в одиночку.

Станция обеспечивает точное позиционирование, контролируемый контакт и стабильную среду тестирования. Конечный результат также зависит от измерительных щупов или платы щупов, кабелей, коммутации, измерительных приборов, калибровки и программного обеспечения. Именно поэтому две визуально похожие измерительные станции могут обеспечивать совершенно разные результаты измерений.

01

Пластина, кристалл или подложка

Подтвердите диаметр, толщину, расположение контактных площадок, состояние обратной стороны и тип тестируемого устройства: целая пластина, часть пластины или отдельный кристалл.

02

Чак и окружающая среда

Вакуумные, тепловые, высокомощные, малошумные, светонепроницаемые, а также криогенные требования изменяют конфигурацию станции.

03

Контакт зонда

Выберите отдельные позиционеры для щупов или плату щупов в зависимости от количества контактных площадок, шага, частоты, тока и повторяемости.

04

Измерительные приборы

Электрические испытания проводятся с помощью измерительных приборов, анализаторов параметров, осциллографов, векторных цепей цепей, анализаторов мощности или автоматизированных тестовых систем.

05

Управление и данные

Выравнивание, пошаговое моделирование, картирование пластин, последовательность тестирования, калибровка и обработка результатов определяют эффективность рабочего процесса.

Быстрый способ продаж: Расскажите нам, что именно вы измеряете и какие приборы у вас уже есть. Это поможет нам сузить круг требований к измерительной станции, интерфейсу и автоматизации, не заставляя вас предварительно указывать каждый компонент.

Выберите по размеру

Цель тестирования определяет конфигурацию измерительной станции.

«Станция зондирования» — это широкая категория оборудования. Система для параметрической характеризации постоянного тока не обязательно подходит для ВЧ-тестирования, тестирования мощных устройств, фотоники или криогенных систем.

01DC / IV-CV

Для характеризации устройств, мониторинга технологических процессов и измерений при низких токах могут потребоваться защищенные или трехжильные соединения, подходящий зажим и экранирование от электромагнитных помех/света.

СМУАнализатор параметровНизкая утечка
02Радиочастотный / миллиметровый диапазон

Высокочастотное зондирование зависит от наличия ВЧ-позиционеров, совместимых зондов, калибровочных подложек, стабильной кабельной системы и контролируемого выравнивания зонда относительно контактной площадки.

ВНАКалибровкаРЧ Чак
03Высокая мощность

В ходе испытаний силовых полупроводников изменяются параметры тока, напряжения, изоляции, терморегулирования, защиты от дугового разряда и требования к безопасности оператора.

Высокий токВысокое напряжениеТермопатрон
04Радиочастотный / Оптический / SiPh

Кремниевая фотоника и оптоэлектронные методы тестирования могут сочетать электрические зонды с выравниванием волокон, оптическими приборами и синхронизированным движением.

Оптическая юстировкаВолоконно-оптическая сетьСмешанный сигнал
05ФА и НИОКР

В лабораториях по анализу отказов и инженерных лабораториях обычно высоко ценятся гибкий доступ, микроскопы, манипуляторы и возможность быстрой смены форматов пластин, кристаллов и корпусов.

Ручное управлениеМикроскопГибкое DUT
06Вакуумная / Криогенная

Для измерений при низких температурах, в вакууме или магнитном поле требуется специальная камера, проходные изоляторы, продуманная тепловая конструкция и совместимое расположение зонда.

ПустойНизкая температураСпециализированная система
Уровень автоматизации

Ручная, полуавтоматическая или автоматическая зондовая станция?

Наилучший уровень автоматизации зависит от объема тестирования, размера пластин, сложности выравнивания, повторяемости рецептуры и допустимого уровня участия оператора в процессе.

Точка принятия решенияСтанция ручного зондированияПолуавтоматическая зондовая станцияАвтоматический пробоотборник пластин
Типичное использованиеНаучно-исследовательские и опытно-конструкторские работы, анализ отказов, обучение и характеризация мелкосерийного производства.Инженерные расчеты, параметрическое тестирование и воспроизводимые измерения на кремниевых пластинах среднего объема.Тестирование производственных пластин, пошаговое моделирование, автоматическое выравнивание и высокопроизводительный скрининг.
Роль оператораОператор устанавливает пластину, зонды и точки измерения непосредственно на место.Моторизованная платформа и программное обеспечение автоматизируют отдельные движения, в то время как оператор управляет настройкой.Загрузка, выравнивание, картирование пластины и последовательность тестирования могут выполняться с минимальным вмешательством.
ГибкостьНаибольший процент успешных экспериментов. Удобный доступ к измерительным манипуляторам и тестируемому устройству.Обеспечивает баланс между гибкостью и повторяемостью движений, а также контролем над процессом приготовления.Наилучший результат достигается, когда формат продукта, плата зонда и схема тестирования четко определены.
Пропускная способностьСамый низкий показатель; в значительной степени зависит от навыков оператора и времени настройки.Улучшенная пошаговая обработка и выравнивание без полной стоимости автоматизации производства.Максимально возможный потенциал, но фактическая производительность также зависит от времени, затраченного тестировщиком, качества контактов и обработки пластин.
Вопрос о лучшей покупкеПоддерживает ли платформа мои измерительные приборы и геометрию зонда?Какие функции перемещения, выравнивания и построения карт автоматизированы?Какие параметры загрузки, размер пластины, интерфейс зондовой карты, температурный диапазон и заводской интерфейс входят в комплект?

В настоящее время на складе могут находиться преимущественно производственные зонды. Мы по-прежнему можем рассматривать требования к ручным, полуавтоматическим, радиочастотным, силовым или специализированным измерительным станциям через сеть поставщиков.

Спросите, какой тип подходит
Цена зондовой станции

Почему цены на зондирующие станции так сильно различаются?

В результатах поиска часто встречаются как небольшие лабораторные платформы с ручным управлением, так и автоматизированные пробоотборники для пластин диаметром 200 или 300 мм. Эти системы относятся к совершенно разным ценовым категориям, поэтому для составления полезного коммерческого предложения необходимо указать предполагаемый параметр измерения и фактическую конфигурацию.

В случае с подержанным оборудованием год выпуска сам по себе не определяет его стоимость. Состояние загрузчика, точность перемещения, тип патрона и температурные параметры, интерфейс платы датчика, программное обеспечение, контроллеры, аксессуары и ремонтопригодность могут оказать большее влияние на конечную цену покупки.

Запросить актуальную цену
Границы испытательного оборудования

Зондовая станция, автоматизированное тестовое оборудование и манипулятор для тестирования — это разные части процесса тестирования.

Покупатели часто используют эти термины вместе, но каждая категория оборудования выполняет свою функцию. Четкое разграничение позволяет избежать ситуации, когда в коммерческом предложении указан механический пробник, а на самом деле требуется тестер, плата пробника или устройство для работы с устройствами в упаковке.

Зондовая станция / Зонд для исследования пластин

Обеспечивает позиционирование пластины или кристалла и поддерживает повторяющийся физический контакт посредством зондов или зондовой платы.

Просмотреть модели

ATE / Система тестирования

Генерирует тестовый сигнал, измеряет реакцию устройства и выполняет программу электрического тестирования.

Системы тестирования

Плата и зонды

Создайте электрический интерфейс между контактными площадками устройства и измерительным трактом; шаг контактов, частота и ток должны соответствовать требованиям приложения.

Ассортимент оборудования
Проверка конфигурации

Мы помогаем превратить требования к тестированию в список необходимого оборудования.

Вам не нужно заранее составлять полную спецификацию, прежде чем связаться с нами. Начните с описания устройства, параметров измерения и формата пластины. Мы определим недостающие параметры конфигурации и проверим имеющееся оборудование на соответствие реальной тестовой установке.

Начать запрос к зондирующей станции
Вы предоставляете 01

Устройство и пластина

Тип продукта, размер пластины, расположение контактных площадок, толщина и формат загрузки.

Вы предоставляете 02

Цель теста

Характеризация, анализ отказов, производственный контроль, ВЧ-измерения, измерение мощности или другие измерения.

Мы подтверждаем 03

Станция и контакт

Уровень автоматизации, зажимное устройство, предметный столик, плата зонда или позиционеры, микроскоп и защитный кожух.

Мы подтверждаем 04

Фактический объем поставок

Модель, серийный номер, программное обеспечение, контроллеры, погрузчик, аксессуары, состояние и поддержка при доставке.

Вопросы покупателей

Часто задаваемые вопросы о зондовой станции

В этих ответах рассматриваются вопросы, которые чаще всего влияют на выбор, интеграцию и составление коммерческого предложения оборудования.

В чём разница между зондовой станцией и зондом для измерения параметров пластин?

Термины частично совпадают. «Станция зондирования» часто используется для обозначения аналитических или инженерных платформ, в то время как «зондирующий аппарат для пластин» обычно описывает полуавтоматические или автоматические системы, которые перемещаются по целым пластинам и могут включать в себя загрузчики, устройства картирования пластин и производственные интерфейсы. Точная архитектура модели имеет большее значение, чем само название.

Включает ли собой измерительная станция тестер или измерительные приборы?

Не всегда. Обычно измерительная станция обеспечивает позиционирование, контакт и тестовую среду. Измерительные приборы, анализаторы параметров, векторные анализаторы цепей, осциллографы или ресурсы автоматизированного тестового оборудования могут быть отдельными и должны быть интегрированы посредством совместимых измерительных щупов, кабелей, коммутационных устройств и программного обеспечения.

Как выбрать между ручным и автоматическим зондированием?

Ручные системы обеспечивают гибкость при проведении исследований и разработок, а также при изменении экспериментов. Полуавтоматические системы обеспечивают повторяемое моторизованное перемещение и картирование. Автоматические зонды для пластин лучше подходят для заданных производственных потоков, работы с кассетами и больших объемов тестирования.

Что определяет цену измерительной станции?

Размер пластины, степень автоматизации, загрузчик, зажимное устройство, температурный диапазон, точность предметного столика, интерфейс зонда, микроскоп, корпус, программное обеспечение, контроллеры, входящие в комплект аксессуары и состояние оборудования — все это влияет на цену. Небольшую лабораторную платформу с ручным управлением не следует напрямую сравнивать с автоматизированным промышленным зондом.

Может ли одна измерительная станция поддерживать тестирование постоянного тока, радиочастот и высокой мощности?

Некоторые модульные платформы можно переконфигурировать, но при этом различаются патрон, щупы, кабели, позиционеры, экранирование, калибровка и конструкция, обеспечивающая безопасность. Поддержку следует уточнять для конкретной конфигурации, а не выводить из названия базовой модели.

Что следует проверить при покупке подержанной измерительной станции?

Подтвердите полную модель и серийный номер, размер пластины, загрузчик, параметры позиционирования и выравнивания, тип зажимного устройства, температурные режимы, интерфейс платы датчика, контроллеры, программное обеспечение и лицензии, входящие в комплект аксессуары, условия эксплуатации и историю обслуживания.

Отправьте модель измерительной станции или опишите необходимое измерение.

Мы проверим имеющееся оборудование, требования к конфигурации, фактический объем поставок и варианты доставки для вашего проекта по тестированию на уровне пластин.

Запросить ценовое предложение на измерительную станцию