用於晶圓級半導體測試的探針台系統

這兩個術語有所重疊。 「探針台」通常用於分析或工程平台，而「晶圓探針」則通常指能夠掃描整個晶圓的半自動或全自動系統，可能包括裝載機、晶圓映射和生產介面。具體的型號架構比名稱更重要。

並非總是如此。探針台通常提供定位、接觸和測試環境。 SMU、參數分析儀、VNA、示波器或ATE等設備可能獨立存在，必須透過相容的探針、電纜、交換器和軟體進行整合。

手動系統靈活，適用於研發和不斷變化的實驗。半自動系統增加了可重複的電動運動和映射功能。自動晶圓探針台更適合既定的生產流程、卡盒處理和更高的測試量。

晶圓尺寸、自動化程度、上料器、卡盤、溫度範圍、平台精度、探針介面、顯微鏡、外殼、軟體、控制器、配件以及設備狀況都會影響價格。小型手動實驗室平台不應與生產型自動探針台直接比較。

某些模組化平台可以重新配置，但卡盤、探針、電纜、定位器、屏蔽、校準和安全設計各不相同。應確認實際配置是否支持，而不能僅以基本型號名稱推斷。

確認完整的型號和序號、晶圓尺寸、裝載機、平台和對準性能、卡盤類型、溫度選項、探針卡接口、控制器、軟體和許可證、附帶的附件、運行狀況和服務歷史。