Hệ thống trạm thăm dò để kiểm tra chất bán dẫn ở cấp độ wafer

Các thuật ngữ này có sự chồng chéo. "Trạm thăm dò" thường được sử dụng cho các nền tảng phân tích hoặc kỹ thuật, trong khi "máy thăm dò wafer" thường mô tả các hệ thống bán tự động hoặc tự động di chuyển trên toàn bộ wafer và có thể bao gồm bộ nạp, lập bản đồ wafer và giao diện sản xuất. Kiến trúc mô hình chính xác quan trọng hơn tên gọi.

Không phải lúc nào cũng vậy. Một trạm đo thường cung cấp khả năng định vị, tiếp xúc và môi trường thử nghiệm. Các thiết bị đo trạng thái (SMU), máy phân tích thông số, VNA, máy hiện sóng hoặc các thiết bị kiểm tra tự động (ATE) có thể là các thiết bị riêng biệt và cần được tích hợp thông qua các đầu dò, cáp, thiết bị chuyển mạch và phần mềm tương thích.

Hệ thống điều khiển thủ công linh hoạt cho nghiên cứu và phát triển cũng như các thí nghiệm thay đổi liên tục. Hệ thống bán tự động bổ sung thêm chuyển động cơ giới lặp lại và khả năng lập bản đồ. Máy dò wafer tự động phù hợp hơn với các quy trình sản xuất xác định, xử lý khay và khối lượng thử nghiệm cao hơn.

Kích thước wafer, mức độ tự động hóa, bộ nạp, mâm cặp, phạm vi nhiệt độ, độ chính xác của bàn đặt mẫu, giao diện đầu dò, kính hiển vi, vỏ bảo vệ, phần mềm, bộ điều khiển, phụ kiện đi kèm và tình trạng thiết bị đều ảnh hưởng đến giá cả. Một hệ thống kiểm tra tự động thủ công quy mô nhỏ trong phòng thí nghiệm không nên được so sánh trực tiếp với một máy kiểm tra tự động dùng trong sản xuất.

Một số nền tảng mô-đun có thể được cấu hình lại, nhưng mâm cặp, đầu dò, cáp, bộ định vị, lớp chắn, thiết kế hiệu chuẩn và an toàn sẽ khác nhau. Cần xác nhận khả năng hỗ trợ cho cấu hình thực tế chứ không nên suy luận từ tên của mô hình cơ bản.

Vui lòng xác nhận đầy đủ thông tin về kiểu máy và số sê-ri, kích thước wafer, bộ nạp, hiệu suất bàn đỡ và căn chỉnh, loại mâm cặp, tùy chọn nhiệt độ, giao diện thẻ thăm dò, bộ điều khiển, phần mềm và giấy phép, phụ kiện đi kèm, tình trạng hoạt động và lịch sử bảo dưỡng.