Wafer-Level-Testgeräte

Prüfstationssysteme für die Halbleiterprüfung auf Wafer-Ebene

Eine Probestation positioniert elektrische, HF- oder optische Sonden auf Wafer- und Chip-Testpads und verbindet das Prüfobjekt anschließend mit Messgeräten oder einer ATE-Plattform. Vergleichen Sie verfügbare Wafer-Prober und Automatisierungsfunktionen, Wafergröße, Chuck, Sondenschnittstelle, Temperaturregelung und Produktionsintegration, bevor Sie ein Angebot anfordern.

Wafer Probe Station Manuell zu Automatik DC-/HF-/Leistungstest Neue und gebrauchte Ausrüstung
Verfügbare Ausrüstung

Aktuelle Probestationsmodelle durchsuchen

Öffnen Sie die jeweilige Produktseite, um die Modellplattform einzusehen. Für eine Kaufentscheidung müssen jedoch noch die tatsächliche Waferhandhabung, das Chuck, die Probekartenschnittstelle, die Software, die Temperaturoptionen, das Zubehör und der Maschinenzustand bestätigt werden.

Suchen Sie einen bestimmten Wafer-Prober von ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas oder einem anderen Hersteller? Senden Sie uns die Modellnummer, auch wenn das Gerät aktuell nicht angezeigt wird.

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

Gebrauchte ACCRETECH UF3000EX Wafer-Prober für die Halbleiterwaferprüfung. Fragen Sie nach dem Zustand, der Konfiguration usw.

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

Gebrauchter ACCRETECH AP3000 Wafer-Prober für die Halbleiterwaferprüfung. Fragen Sie nach Maschinenzustand, Konfiguration, Lieferung usw.

Erstellen Sie den vollständigen Testpfad

Eine Probestation funktioniert nicht allein.

Die Messstation ermöglicht präzise Positionierung, kontrollierten Kontakt und eine stabile Testumgebung. Das Gesamtergebnis hängt jedoch auch von den Messspitzen bzw. der Messkarte, den Kabeln, der Schaltung, den Messgeräten, der Kalibrierung und der Software ab. Daher können zwei optisch ähnliche Messstationen sehr unterschiedliche Messungen ermöglichen.

01

Wafer, Chip oder Substrat

Bitte prüfen Sie Durchmesser, Dicke, Pad-Layout, Zustand der Rückseite und ob es sich bei dem Prüfling um einen vollständigen Wafer, einen Teilwafer oder einen einzelnen Chip handelt.

02

Chuck und seine Umgebung

Vakuum-, thermische, Hochleistungs-, geräuscharme, lichtdichte, Druck- oder kryogene Anforderungen verändern die Konfiguration der Station.

03

Sondenkontakt

Wählen Sie einzelne Tastkopfpositionierer oder eine Tastkopfkarte entsprechend der Anzahl der Kontaktflächen, dem Rastermaß, der Frequenz, dem Strom und der Wiederholgenauigkeit.

04

Messinstrumente

Die elektrische Prüfung wird von SMUs, Parameteranalysatoren, Oszilloskopen, VNAs, Leistungsanalysatoren oder ATE-Ressourcen durchgeführt.

05

Kontrolle & Daten

Ausrichtung, Schrittverfahren, Wafer-Mapping, Testsequenz, Kalibrierung und Ergebnisverarbeitung bestimmen die Effizienz des Arbeitsablaufs.

Verkaufstrick: Schildern Sie uns, was Sie messen möchten und welche Messgeräte Sie bereits besitzen. So können wir die Anforderungen an Messstation, Schnittstelle und Automatisierung eingrenzen, ohne dass Sie jede einzelne Komponente im Voraus spezifizieren müssen.

Auswahl nach Messung

Das Testziel bestimmt die Konfiguration der Prüfstation

„Probestation“ ist eine weit gefasste Gerätekategorie. Ein System zur parametrischen Gleichstromcharakterisierung ist nicht automatisch für HF-, Hochleistungs-, Photonik- oder Kryotests geeignet.

01DC / IV-CV

Für die Gerätecharakterisierung, die Prozessüberwachung und Niedrigstrommessungen können geschützte oder Triax-Anschlüsse, ein geeignetes Spannfutter und eine EMI-/Lichtabschirmung erforderlich sein.

SMUParameteranalysatorGeringe Leckage
02HF / Millimeterwelle

Hochfrequenzmessungen erfordern HF-Positionierer, kompatible Sonden, Kalibriersubstrate, stabile Verkabelung und eine kontrollierte Ausrichtung der Sonde auf die Kontaktfläche.

VNAKalibrierungRF Chuck
03Hohe Leistung

Die Prüfung von Leistungshalbleitern verändert die Anforderungen an Stromstärke, Spannung, Isolation, Wärmeregelung, Lichtbogenschutz und Bedienersicherheit.

Hoher StromHochspannungThermisches Spannfutter
04HF / Optisch / SiPh

Siliziumphotonik- und optoelektronische Tests können elektrische Sonden mit Faserausrichtung, optischen Instrumenten und synchronisierter Bewegung kombinieren.

Optische AusrichtungFaseranordnungGemischtes Signal
05FA & F&E

Fehleranalyse- und Entwicklungslabore legen in der Regel Wert auf flexiblen Zugang, Mikroskope, Manipulatoren und schnelle Wechsel zwischen Wafer-, Chip- und Gehäuseformaten.

Manuelle SteuerungMikroskopFlexibles Prüfobjekt
06Vakuum / Kryogen

Für Tieftemperatur-, Vakuum- oder Magnetfeldmessungen werden eine spezielle Kammer, Durchführungen, eine entsprechende Wärmeableitung und eine kompatible Sondenpositionierung benötigt.

LeerNiedrige TemperaturSpezialsystem
Automatisierungsgrad

Manuelle, halbautomatische oder automatische Probestation?

Der optimale Automatisierungsgrad hängt vom Testvolumen, der Wafergröße, dem Schwierigkeitsgrad der Ausrichtung, der Wiederholbarkeit des Rezepts und dem Grad der Bedienereingriffsfähigkeit des Prozesses ab.

EntscheidungspunktManuelle MessstationHalbautomatische ProbestationAutomatischer Wafer-Prober
Typische VerwendungForschung und Entwicklung, Fehleranalyse, Schulung und Charakterisierung kleiner Serien.Konstruktion, parametrische Tests und wiederholbare Wafermessungen mittlerer Stückzahl.Wafer-Test für die Produktion, präzises Stepping, automatisierte Ausrichtung und Screening mit höherem Durchsatz.
BedienerrolleDer Bediener positioniert den Wafer, die Sonden und die Messpunkte direkt.Motorisierter Tisch und Software automatisieren ausgewählte Bewegungen, während der Bediener die Einrichtung vornimmt.Ladevorgang, Ausrichtung, Wafer-Map und Testsequenz können mit minimalem Eingriff durchgeführt werden.
FlexibilitätHöchste Punktzahl für wechselnde Experimente. Einfacher Zugang zu den Messarmen und dem Prüfling.Bietet ein ausgewogenes Verhältnis zwischen Flexibilität, wiederholbarer Bewegung und Rezeptkontrolle.Optimal ist es, wenn Produktformat, Prüfkarte und Testablauf genau definiert sind.
DurchsatzAm niedrigsten; stark beeinflusst durch die Fähigkeiten des Bedieners und die Rüstzeit.Verbesserte Schrittweiten und Ausrichtung ohne die vollen Kosten einer Produktionsautomatisierung.Höchstmögliches Potenzial, aber der tatsächliche Durchsatz hängt auch von der Testerzeit, der Kontaktqualität und der Waferhandhabung ab.
Frage zum besten KaufUnterstützt die Plattform meine Messgeräte und die Geometrie meiner Sonden?Welche Bewegungs-, Ausrichtungs- und Kartierungsfunktionen sind automatisiert?Welcher Loader, welche Wafergröße, welche Probekartenschnittstelle, welcher Temperaturbereich und welche Werksschnittstelle sind enthalten?

Der aktuelle Lagerbestand konzentriert sich möglicherweise auf Produktionssonden. Anforderungen für manuelle, halbautomatische, HF-, Leistungs- oder Spezialsondenstationen können wir weiterhin über das Beschaffungsnetzwerk prüfen.

Fragen Sie, welcher Typ passt.
Preis der Sondenstation

Warum die Preise für Prüfstationen so stark variieren

Suchergebnisse vermischen oft kleine, manuelle Laborplattformen mit automatisierten Wafer-Probern von 200 mm oder 300 mm Durchmesser. Diese Systeme gehören sehr unterschiedlichen Preisklassen an, daher muss ein aussagekräftiges Angebot mit der geplanten Messung und der tatsächlichen Konfiguration beginnen.

Bei Gebrauchtmaschinen sagt das Baujahr allein nichts über ihren Wert aus. Zustand des Laders, Genauigkeit des Tisches, Spannfutter- und Temperaturoptionen, Sondenkartenschnittstelle, Software, Steuerungen, Zubehör und Wartungsfreundlichkeit können einen größeren Einfluss auf die Kaufentscheidung haben.

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Grenzen der Testausrüstung

Probestation, ATE und Testhandler sind unterschiedliche Bestandteile des Testablaufs.

Käufer verwenden diese Begriffe oft zusammen, doch jede Gerätekategorie hat eine andere Funktion. Durch die klare Abgrenzung wird vermieden, dass ein Angebot für einen mechanischen Prüfer erstellt wird, wenn eigentlich ein Tester, eine Prüfkarte oder ein Handgerät für verpackte Geräte benötigt wird.

Probestation / Wafer-Prober

Positioniert den Wafer oder Chip und stellt über Sonden oder eine Probekarte einen wiederholbaren physischen Kontakt her.

Modelle ansehen

ATE / Testsystem

Erzeugt Testreize, misst die Gerätereaktion und führt das elektrische Testprogramm aus.

Testsysteme

Prüfkarte & Sonden

Erstellen Sie die elektrische Schnittstelle zwischen den Geräteanschlüssen und dem Messpfad; Tonhöhe, Frequenz und Stromstärke müssen zur Anwendung passen.

Ausrüstungssortiment

Test Handles

Zuführung, Temperaturkontrolle und Sortierung der verpackten Bauelemente nach Wafer-Level-Prüfung und Verpackung.

Lesen Sie die Testleitfäden.
Konfigurationsprüfung

Wir helfen Ihnen dabei, aus einer Testanforderung eine Geräteauswahlliste zu erstellen.

Sie müssen keine vollständige Spezifikation vorbereiten, bevor Sie uns kontaktieren. Geben Sie uns zunächst das Gerät, die Messung und das Waferformat an. Wir ermitteln die fehlenden Konfigurationspunkte und prüfen die verfügbare Ausrüstung anhand des realen Testaufbaus.

Eine Probestationsanfrage starten
Sie geben 01 an

Bauelement & Wafer

Produkttyp, Wafergröße, Pad-Layout, Dicke und Beladungsformat.

Sie liefern 02

Testziel

Charakterisierung, Fehleranalyse, Produktionsprüfung, HF-, Leistungs- oder andere Messung.

Wir bestätigen 03

Bahnhof & Kontakt

Automatisierungsgrad, Spannfutter, Tisch, Prüfkarte oder Positionierer, Mikroskop und Gehäuse.

Wir bestätigen 04

Tatsächlicher Lieferumfang

Modell, Seriennummer, Software, Steuerungen, Lader, Zubehör, Zustand und Lieferunterstützung.

Käuferfragen

Häufig gestellte Fragen zur Messstation

Diese Antworten umfassen die Fragen, die am häufigsten die Geräteauswahl, die Integration und die Angebotserstellung beeinflussen.

Worin besteht der Unterschied zwischen einer Probestation und einem Wafer-Prober?

Die Begriffe überschneiden sich. „Probe-Station“ wird häufig für Analyse- oder Engineering-Plattformen verwendet, während „Wafer-Prober“ üblicherweise halb- oder vollautomatische Systeme beschreibt, die ganze Wafer abtasten und Lader, Wafer-Mapping und Produktionsschnittstellen umfassen können. Die genaue Modellarchitektur ist wichtiger als die Bezeichnung.

Beinhaltet eine Prüfstation das Testgerät bzw. die Messgeräte?

Nicht immer. Eine Messstation stellt normalerweise Positionierung, Kontaktierung und die Testumgebung bereit. SMUs, Parameteranalysatoren, VNAs, Oszilloskope oder ATE-Ressourcen können separat sein und müssen über kompatible Tastköpfe, Kabel, Schalter und Software integriert werden.

Wie wähle ich zwischen manueller und automatischer Sondierung?

Manuelle Systeme sind flexibel für Forschung und Entwicklung sowie wechselnde Experimente. Halbautomatische Systeme bieten zusätzlich wiederholbare motorisierte Bewegungen und Mapping. Automatische Wafer-Prober eignen sich besser für definierte Produktionsabläufe, Kassettenhandhabung und höhere Testvolumina.

Wovon hängt der Preis einer Prüfstation ab?

Wafergröße, Automatisierung, Lader, Spannfutter, Temperaturbereich, Tischgenauigkeit, Sondenschnittstelle, Mikroskop, Gehäuse, Software, Steuerungen, mitgeliefertes Zubehör und Gerätezustand beeinflussen den Preis. Eine kleine manuelle Laborplattform sollte nicht direkt mit einem automatischen Produktionssonder verglichen werden.

Kann eine Prüfstation Gleichstrom-, Hochfrequenz- und Hochleistungsprüfungen unterstützen?

Einige modulare Plattformen lassen sich rekonfigurieren, jedoch unterscheiden sich Spannfutter, Sonden, Kabel, Positionierer, Abschirmung, Kalibrierung und Sicherheitsdesign. Der Support sollte für die tatsächliche Konfiguration geprüft und nicht vom Namen des Basismodells abgeleitet werden.

Worauf sollte man beim Kauf einer gebrauchten Probenahmestation achten?

Bitte überprüfen Sie das vollständige Modell und die Seriennummer, die Wafergröße, den Lader, die Leistung des Tisches und der Ausrichtung, den Chuck-Typ, die Temperaturoptionen, die Probekartenschnittstelle, die Controller, die Software und die Lizenzen, das mitgelieferte Zubehör, den Betriebszustand und die Servicehistorie.

Senden Sie uns das Modell der Messstation – oder beschreiben Sie die benötigte Messung.

Wir prüfen die aktuelle Ausrüstung, die Konfigurationsanforderungen, den tatsächlichen Lieferumfang und die Lieferoptionen für Ihr Wafer-Level-Testprojekt.

Fordern Sie ein Angebot für eine Probestation an.