Apparecchiature di test a livello di wafer

Sistemi di stazioni di prova per il collaudo di semiconduttori a livello di wafer

Una stazione di prova posiziona sonde elettriche, a radiofrequenza o ottiche sui pad di prova di wafer e die, quindi collega il dispositivo in prova a strumenti di misurazione o a una piattaforma ATE. Esplora le stazioni di prova per wafer disponibili e confronta automazione, dimensioni del wafer, mandrino, interfaccia della sonda, controllo della temperatura e integrazione con la produzione prima di richiedere un preventivo.

Stazione di prova per wafer Da manuale ad automatico Test di potenza CC/RF Attrezzature nuove e usate
Attrezzatura disponibile

Consulta i modelli attuali di stazioni di sonda

Apri la pagina di ciascun prodotto per esaminare la piattaforma del modello. Prima di procedere all'acquisto, è necessario verificare le effettive modalità di movimentazione dei wafer, il mandrino, l'interfaccia tra sonda e scheda, il software, le opzioni di temperatura, gli accessori e le condizioni della macchina.

Cerchi un tester per wafer specifico di ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas o di un'altra marca? Inviaci il numero di modello, anche se non è attualmente visualizzato.

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

Sonda per wafer ACCRETECH AP3000

Tester per wafer ACCRETECH AP3000 usato per il collaudo di wafer semiconduttori. Chiedere informazioni su condizioni della macchina, configurazione, consegna...

Costruisci il percorso di test completo

Una stazione di sonda non funziona da sola

La stazione garantisce un posizionamento preciso, un contatto controllato e un ambiente di prova stabile. Il risultato finale dipende anche dalle sonde o dalla scheda sonde, dai cavi, dagli interruttori, dagli strumenti di prova, dalla calibrazione e dal software. Per questo motivo, due stazioni di prova visivamente simili possono supportare misurazioni molto diverse.

01

Wafer, chip o substrato

Verificare il diametro, lo spessore, la disposizione dei pad, le condizioni del lato posteriore e se il dispositivo in prova (DUT) è un wafer completo, un wafer parziale o un singolo chip.

02

Chuck e l'ambiente

Requisiti di vuoto, termici, di alta potenza, di bassa rumorosità, di tenuta alla luce, di pressione o criogenici modificano la configurazione della stazione.

03

Contatto della sonda

Scegliere i posizionatori delle sonde individuali o una scheda sonde in base al numero di pad, al passo, alla frequenza, alla corrente e alla ripetibilità.

04

Strumenti di misurazione

Il test elettrico viene eseguito da SMU, analizzatori di parametri, oscilloscopi, VNA, analizzatori di potenza o risorse ATE.

05

Controllo e dati

Allineamento, spostamento, mappatura del wafer, sequenza di test, calibrazione e gestione dei risultati determinano l'efficienza del flusso di lavoro.

Scorciatoia per le vendite: Descriveteci cosa state misurando e quali strumenti già possedete. In questo modo potremo restringere il campo delle esigenze in termini di stazione di misura, interfaccia e automazione, senza che dobbiate specificare ogni singolo componente in anticipo.

Scegli in base alla misura

L'obiettivo del test determina la configurazione della stazione di prova

La "stazione di prova" è una categoria di apparecchiature piuttosto ampia. Un sistema per la caratterizzazione parametrica in corrente continua non è automaticamente adatto per test in radiofrequenza, ad alta potenza, fotonica o criogenici.

01DC / IV-CV

La caratterizzazione dei dispositivi, il monitoraggio dei processi e le misurazioni a bassa corrente possono richiedere connessioni protette o triassiali, un mandrino adatto e schermatura EMI/luce.

SMUAnalizzatore di parametriBassa perdita
02RF / onde millimetriche

La misurazione ad alta frequenza dipende da posizionatori RF, sonde compatibili, substrati di calibrazione, cablaggio stabile e allineamento controllato della sonda al pad.

VNACalibrazioneRF Chuck
03Alta potenza

Il test dei semiconduttori di potenza modifica i requisiti relativi a corrente, tensione, isolamento, controllo termico, protezione contro gli archi elettrici e sicurezza dell'operatore.

Alta correnteAlta tensioneManiglia termica
04RF / Ottico / SiPh

La fotonica al silicio e i test optoelettronici possono combinare sonde elettriche con l'allineamento delle fibre, strumenti ottici e movimenti sincronizzati.

Allineamento otticomatrice di fibreSegnale misto
05FA e R&S

I laboratori di analisi dei guasti e di ingegneria solitamente apprezzano l'accesso flessibile, i microscopi, i manipolatori e la possibilità di cambiare rapidamente formato tra wafer, chip e package.

Controllo manualeMicroscopioDispositivo flessibile in prova
06Vuoto / criogenico

Le misurazioni a bassa temperatura, sottovuoto o in presenza di campi magnetici richiedono una camera dedicata, passanti, una progettazione termica e un posizionamento compatibile della sonda.

VuotoBassa temperaturaSistema specializzato
Livello di automazione

Stazione di sonda manuale, semiautomatica o automatica?

Il livello ottimale di automazione dipende dal volume dei test, dalle dimensioni dei wafer, dalla difficoltà di allineamento, dalla ripetibilità della ricetta e dal grado di coinvolgimento dell'operatore consentito dal processo.

Punto decisionaleStazione di sonda manualeStazione di sonda semiautomaticaTester automatico per wafer
Uso tipicoRicerca e sviluppo, analisi dei guasti, formazione e caratterizzazione di piccoli volumi.Ingegneria, test parametrici e misurazioni ripetibili di wafer di medio volume.Test dei wafer di produzione, stepping mappato, allineamento automatizzato e screening ad alta produttività.
Ruolo dell'operatoreL'operatore posiziona direttamente il wafer, le sonde e i punti di misurazione.Il sistema di piattaforme motorizzate e il software automatizzano i movimenti selezionati, mentre l'operatore gestisce l'allestimento.Le fasi di caricamento, allineamento, mappatura del wafer e test possono essere eseguite con un intervento minimo.
FlessibilitàMassimo per la modifica degli esperimenti. Facile accesso ai bracci della sonda e al dispositivo in prova.Offre un equilibrio tra flessibilità, ripetibilità del movimento e controllo della ricetta.Si ottiene il risultato migliore quando il formato del prodotto, la scheda di test e il flusso di prova sono ben definiti.
Flusso di lavoroIl valore più basso; fortemente influenzato dall'abilità dell'operatore e dai tempi di configurazione.Miglioramento della precisione degli spostamenti e dell'allineamento senza i costi elevati dell'automazione della produzione.Massimo potenziale, ma la produttività effettiva dipende anche dal tempo di test, dalla qualità dei contatti e dalla gestione dei wafer.
Domanda migliore per l'acquistoLa piattaforma è compatibile con i miei strumenti di misura e la geometria della sonda?Quali movimenti, funzioni di allineamento e mappatura sono automatizzati?Quali sono il caricatore, le dimensioni del wafer, l'interfaccia della scheda di sonda, l'intervallo di temperatura e l'interfaccia di fabbrica inclusi?

L'inventario attuale potrebbe essere incentrato sui sondaggi di produzione. Possiamo ancora valutare i requisiti per stazioni di prova manuali, semiautomatiche, a radiofrequenza, di alimentazione o speciali tramite la rete di approvvigionamento.

Chiedi quale tipo è adatto
Prezzo della stazione di sonda

Perché i prezzi delle stazioni di sonda variano così tanto?

I risultati delle ricerche spesso confondono piccole piattaforme di laboratorio manuali con sonde automatiche per wafer da 200 mm o 300 mm. Questi sistemi appartengono a fasce di prezzo molto diverse, quindi un preventivo utile deve partire dalla misurazione prevista e dalla configurazione effettiva.

Nel caso di attrezzature usate, l'anno di produzione da solo non è sufficiente a determinarne il valore. Le condizioni del caricatore, la precisione del piano di lavoro, le opzioni di mandrino e temperatura, l'interfaccia tra sonda e scheda, il software, i controllori, gli accessori e la facilità di manutenzione possono avere un impatto maggiore sul prezzo finale di acquisto.

Richiedi il prezzo attuale
Limiti delle apparecchiature di prova

La stazione di prova, l'ATE e il sistema di gestione dei test sono parti diverse del flusso di test.

Spesso gli acquirenti usano questi termini insieme, ma ogni categoria di apparecchiatura ha una funzione diversa. Chiarire i confini tra le due categorie evita di presentare un preventivo per un sondatore meccanico quando in realtà è necessario un tester, una scheda di sonda o un dispositivo di movimentazione confezionato.

Stazione di prova / Sonda per wafer

Posiziona il wafer o il chip e stabilisce un contatto fisico ripetibile tramite sonde o una scheda di sonde.

Visualizza i modelli

Sistema di test ATE

Genera lo stimolo di prova, misura la risposta del dispositivo ed esegue il programma di test elettrico.

Sistemi di test

Scheda sonda e sonde

Creare l'interfaccia elettrica tra i pad del dispositivo e il percorso di misurazione; passo, frequenza e corrente devono essere compatibili con l'applicazione.

Gamma di attrezzature

Maniglie di prova

Il sistema alimenta, controlla la temperatura e seleziona i dispositivi confezionati dopo il controllo e il confezionamento a livello di wafer.

Leggi le guide ai test
Revisione della configurazione

Aiutiamo a trasformare un requisito di test in una lista ristretta di apparecchiature

Non è necessario preparare una specifica completa prima di contattarci. Iniziate indicando il dispositivo, le dimensioni e il formato del wafer. Individueremo i punti di configurazione mancanti e verificheremo la compatibilità delle apparecchiature disponibili con la reale configurazione di test.

Avvia una richiesta di informazioni sulla stazione di sonda
Tu fornisci 01

Dispositivo e wafer

Tipo di prodotto, dimensioni del wafer, disposizione dei pad, spessore e formato di caricamento.

Tu fornisci O2

Obiettivo del test

Caratterizzazione, analisi dei guasti, screening di produzione, RF, potenza o altra misurazione.

Confermiamo 03

Stazione e contatti

Livello di automazione, mandrino, tavolino, scheda di sonda o posizionatori, microscopio e contenitore.

Confermiamo 04

Ambito di fornitura effettivo

Modello, numero di serie, software, controller, caricatore, accessori, condizioni e assistenza alla consegna.

Domande degli acquirenti

Domande frequenti sulla stazione di prova

Queste risposte trattano le domande che più spesso influiscono sulla selezione, l'integrazione e la preventivazione delle apparecchiature.

Qual è la differenza tra una stazione di prova e un sistema di prova per wafer?

I termini si sovrappongono. "Stazione di prova" viene spesso utilizzato per piattaforme analitiche o ingegneristiche, mentre "test wafer" descrive comunemente sistemi semiautomatici o automatici che si muovono su wafer interi e possono includere caricatori, mappatura dei wafer e interfacce di produzione. L'architettura esatta del modello è più importante del nome.

Una stazione di prova comprende il tester o gli strumenti di misura?

Non sempre. Una stazione di prova normalmente fornisce posizionamento, contatto e ambiente di prova. Unità di misura a stati finiti (SMU), analizzatori di parametri, analizzatori di rete vettoriale (VNA), oscilloscopi o risorse ATE possono essere separati e devono essere integrati tramite sonde, cavi, switch e software compatibili.

Come posso scegliere tra la sonda manuale e quella automatica?

I sistemi manuali sono flessibili per la ricerca e sviluppo e per esperimenti in continua evoluzione. I sistemi semiautomatici aggiungono la ripetibilità del movimento motorizzato e della mappatura. I sistemi automatici di test su wafer sono più adatti a flussi di produzione definiti, alla gestione delle cassette e a volumi di test più elevati.

Quali fattori determinano il prezzo di una stazione di sonda?

Le dimensioni del wafer, l'automazione, il caricatore, il mandrino, l'intervallo di temperatura, la precisione del piano di lavoro, l'interfaccia della sonda, il microscopio, l'involucro, il software, i controllori, gli accessori inclusi e le condizioni dell'apparecchiatura influiscono tutti sul prezzo. Una piccola piattaforma di laboratorio manuale non dovrebbe essere confrontata direttamente con un sistema di test automatico per la produzione.

Una singola stazione di prova può supportare test in corrente continua, radiofrequenza e ad alta potenza?

Alcune piattaforme modulari possono essere riconfigurate, ma il mandrino, le sonde, i cavi, i posizionatori, la schermatura, la calibrazione e il design di sicurezza possono variare. È necessario verificare la compatibilità con la configurazione specifica, anziché dedurla dal nome del modello base.

Cosa bisogna controllare quando si acquista una stazione di prova usata?

Confermare il modello completo e il numero di serie, le dimensioni del wafer, il caricatore, le prestazioni di posizionamento e allineamento, il tipo di mandrino, le opzioni di temperatura, l'interfaccia della scheda sonda, i controller, il software e le licenze, gli accessori inclusi, le condizioni operative e la cronologia degli interventi di manutenzione.

Invia il modello della stazione di prova oppure descrivi la misurazione di cui hai bisogno

Verificheremo le apparecchiature attualmente in uso, i requisiti di configurazione, la fornitura effettiva e le opzioni di consegna per il vostro progetto di test a livello di wafer.

Richiedi un preventivo per una stazione di sonda