Testapparatuur op waferniveau

Testopstellingsystemen voor het testen van halfgeleiders op waferniveau

Een probe-station plaatst elektrische, RF- of optische probes op testpads voor wafers en chips, en verbindt vervolgens het te testen apparaat met meetinstrumenten of een ATE-platform. Bekijk de beschikbare waferprobers en vergelijk automatisering, waferformaat, chuck, probe-interface, temperatuurregeling en productie-integratie voordat u een offerte aanvraagt.

Wafer-meetstation Handmatig naar automatisch DC/RF/vermogenstest Nieuwe en gebruikte apparatuur
Beschikbare apparatuur

Bekijk de huidige modellen van meetstations

Open de productpagina om het modelplatform te bekijken. Voor een aankoopbeslissing moeten echter nog steeds de daadwerkelijke waferverwerking, de chuck, de probe-card-interface, de software, de temperatuuropties, de accessoires en de staat van de machine worden bevestigd.

Bent u op zoek naar een specifieke ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas of een ander waferprober? Stuur dan het modelnummer door, ook als het momenteel niet wordt weergegeven.

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

Gebruikte ACCRETECH UF3000EX waferprober voor het testen van halfgeleiderwafers. Vraag naar de staat van de machine, de configuratie, enz.

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

Gebruikte ACCRETECH AP3000 waferprober voor het testen van halfgeleiderwafers. Vraag naar de staat van de machine, de configuratie, levering, enz.

Stel het volledige testtraject samen.

Een meetstation werkt niet op zichzelf.

Het station biedt nauwkeurige positionering, gecontroleerd contact en een stabiele testomgeving. Het uiteindelijke resultaat is echter ook afhankelijk van de probes of een probe-kaart, kabels, schakelaars, testinstrumenten, kalibratie en software. Daarom kunnen twee visueel gelijkende probe-stations zeer verschillende metingen ondersteunen.

01

Wafer, chip of substraat

Controleer de diameter, dikte, padindeling, toestand van de achterzijde en of het te testen apparaat een volledige wafer, gedeeltelijke wafer of individuele chip is.

02

Chuck & Milieu

De configuratie van het station wordt beïnvloed door eisen op het gebied van vacuüm, temperatuur, hoog vermogen, geluidsarmheid, lichtdichtheid, druk of cryogene omstandigheden.

03

Sondecontact

Kies individuele probe-positioneerders of een probe-kaart op basis van het aantal pads, de pitch, de frequentie, de stroomsterkte en de herhaalbaarheid.

04

Meetinstrumenten

SMU's, parameteranalysatoren, oscilloscopen, VNA's, vermogensanalysatoren of ATE-apparatuur voeren de elektrische test uit.

05

Controle & Gegevens

Uitlijning, stapsgewijze verwerking, wafermapping, testvolgorde, kalibratie en resultaatverwerking bepalen de efficiëntie van de workflow.

Verkoopsnelkoppeling: Vertel ons wat u meet en welke instrumenten u al heeft. Dan kunnen we de eisen voor het meetstation, de interface en de automatisering verfijnen, zonder dat u eerst elk onderdeel hoeft te specificeren.

Kiezen op basis van afmeting

Het testdoel bepaalt de configuratie van het meetstation.

"Probe-station" is een brede categorie apparatuur. Een systeem voor DC-parametrische karakterisering is niet automatisch geschikt voor RF-, hoogvermogen-, fotonica- of cryogene testen.

01DC / IV-CV

Voor apparaatkarakterisering, procesbewaking en metingen bij lage stroomsterkte kunnen afgeschermde of triaxiale aansluitingen, een geschikte boorkop en EMI-/lichtafscherming nodig zijn.

SMUParameteranalysatorLage lekkage
02RF / mmWave

Hoogfrequente metingen zijn afhankelijk van RF-positioneerders, compatibele probes, kalibratiesubstraten, stabiele bekabeling en een gecontroleerde uitlijning van de probe ten opzichte van het contactvlak.

VNAKalibratieRF-spankop
03Hoog vermogen

Testen van vermogenshalfgeleiders vereisen aanpassingen aan stroom, spanning, isolatie, thermische regeling, vlamboogbeveiliging en veiligheid van de gebruiker.

Hoge stroomsterkteHoogspanningThermische spankop
04RF / Optisch / SiPh

Siliciumfotonica en opto-elektronische tests kunnen elektrische sondes combineren met vezeluitlijning, optische instrumenten en gesynchroniseerde beweging.

Optische uitlijningVezelarrayGemengd signaal
05FA & R&D

In foutanalyse- en engineeringlaboratoria worden doorgaans flexibele toegang, microscopen, manipulatoren en snelle wisseling tussen wafer-, chip- en verpakkingsformaten gewaardeerd.

Handmatige bedieningMicroscoopFlexibele DUT
06Vacuüm / Cryogeen

Voor metingen bij lage temperaturen, in vacuüm of in een magnetisch veld zijn een speciale meetkamer, doorvoeren, een thermisch ontwerp en een compatibele positionering van de meetsonde vereist.

LeegLage temperatuurSpecialiteitssysteem
Automatiseringsniveau

Handmatig, halfautomatisch of automatisch meetstation?

Het optimale automatiseringsniveau hangt af van het testvolume, de wafergrootte, de moeilijkheidsgraad van de uitlijning, de herhaalbaarheid van het recept en de mate van tussenkomst van de operator die het proces toelaat.

BeslissingspuntHandmatig meetstationSemi-automatisch meetstationAutomatische wafer-sonde
Typisch gebruikOnderzoek en ontwikkeling, foutenanalyse, opleiding en karakterisering van kleine volumes.Technische analyse, parametrische testen en herhaalbare metingen aan wafers met een gemiddeld volume.Testen van productiewafels, stapsgewijze bewerking, geautomatiseerde uitlijning en screening met hogere doorvoer.
OperatorrolDe operator positioneert de wafer, de sondes en de meetpunten direct.Een gemotoriseerd podium en software automatiseren geselecteerde bewegingen, terwijl de operator de instellingen beheert.Het laden, uitlijnen, de wafermapping en de testsequentie kunnen met minimale tussenkomst worden uitgevoerd.
FlexibiliteitHoogste score voor het wijzigen van experimenten. Gemakkelijke toegang tot de meetinstrumenten en het te testen apparaat.Biedt een goede balans tussen flexibiliteit, herhaalbare bewegingen en nauwkeurige receptcontrole.Het beste resultaat wordt behaald wanneer het productformaat, de probe-kaart en de testprocedure goed gedefinieerd zijn.
DoorvoerLaagste waarde; sterk beïnvloed door de vaardigheid van de operator en de insteltijd.Verbeterde stapgrootte en uitlijning zonder de volledige kosten van productieautomatisering.Het potentieel is het hoogst, maar de daadwerkelijke doorvoer is ook afhankelijk van de testtijd, de contactkwaliteit en de waferbehandeling.
Beste koopvraagKan het platform mijn meetinstrumenten en sondegeometrie ondersteunen?Welke bewegings-, uitlijn- en kaartfuncties zijn geautomatiseerd?Welke loader, wafergrootte, probe-card interface, temperatuurbereik en fabrieksinterface zijn inbegrepen?

De huidige voorraad is mogelijk gericht op productietesters. We kunnen de eisen voor handmatige, semi-automatische, RF-, stroom- of speciale meetstations nog steeds via het leveranciersnetwerk bekijken.

Vraag welk type het beste past.
Prijs van het meetstation

Waarom de prijzen van meetstations zo sterk variëren

Zoekresultaten laten vaak een mix zien van kleine, handmatige laboratoriumplatforms en geautomatiseerde waferprobers van 200 mm of 300 mm. Deze systemen vallen in zeer verschillende prijsklassen, dus een bruikbare offerte begint met de beoogde meting en de daadwerkelijke configuratie.

Bij gebruikte apparatuur zegt het bouwjaar op zich niets over de waarde. De staat van de lader, de nauwkeurigheid van de positionering, de beschikbare spankoppen en temperatuurinstellingen, de interface met de probe-kaart, de software, de controllers, de accessoires en de onderhoudbaarheid kunnen een grotere invloed hebben op de uiteindelijke aankoopprijs.

Vraag de actuele prijs aan
Grenzen van testapparatuur

Het probe-station, de ATE en de testhandler zijn verschillende onderdelen van het testproces.

Kopers gebruiken deze termen vaak door elkaar, maar elke categorie apparatuur heeft een andere functie. Door de grenzen duidelijk te definiëren, voorkomt u een offerte voor een mechanische probe terwijl u eigenlijk een tester, probe card of packaged-device handler nodig hebt.

Testopstelling / Wafer-testbank

Positioneert de wafer of chip en maakt herhaalbaar fysiek contact via probes of een probekaart.

Modellen bekijken

ATE / Testsysteem

Genereert een teststimulus, meet de reactie van het apparaat en voert het elektrische testprogramma uit.

Testsystemen

Sondekaart en sondes

Creëer de elektrische interface tussen de aansluitpunten van het apparaat en het meetpad; de toonhoogte, frequentie en stroomsterkte moeten overeenkomen met de toepassing.

Apparatuurassortiment

Testgrepen

Het systeem voert verpakte componenten aan, regelt de temperatuur en sorteert deze na het testen op waferniveau en het verpakken.

Lees de testhandleidingen
Configuratiebeoordeling

Wij helpen u een testvereiste om te zetten in een shortlist van geschikte apparatuur.

U hoeft geen complete specificatie op te stellen voordat u contact met ons opneemt. Begin met het apparaat, de meting en het waferformaat. Wij zullen de ontbrekende configuratiepunten identificeren en de beschikbare apparatuur vergelijken met de daadwerkelijke testopstelling.

Start een onderzoek bij een sondestation.
U levert 01

Apparaat en wafer

Producttype, wafergrootte, padindeling, dikte en laadformaat.

U levert 02

Testdoelstelling

Karakterisering, foutenanalyse, productiescreening, RF, vermogen of een andere meting.

Wij bevestigen 03

Station & Contact

Automatiseringsniveau, spankop, tafel, meetsondekaart of positioneerders, microscoop en behuizing.

We bevestigen 04

Werkelijke leveringsomvang

Model, serienummer, software, controllers, lader, accessoires, staat en leveringsondersteuning.

Vragen van kopers

Veelgestelde vragen over het meetstation

Deze antwoorden behandelen de vragen die het vaakst van invloed zijn op de selectie, integratie en offerte van apparatuur.

Wat is het verschil tussen een probe station en een wafer prober?

De termen overlappen elkaar. "Probe station" wordt vaak gebruikt voor analytische of technische platforms, terwijl "wafer prober" doorgaans semi-automatische of automatische systemen beschrijft die over volledige wafers bewegen en die laders, wafermapping en productie-interfaces kunnen omvatten. De exacte modelarchitectuur is belangrijker dan de naam.

Omvat een meetstation de tester of de meetinstrumenten?

Niet altijd. Een meetopstelling biedt normaal gesproken positionering, contact en de testomgeving. SMU's, parameteranalysatoren, VNA's, oscilloscopen of ATE-bronnen kunnen afzonderlijk worden gebruikt en moeten worden geïntegreerd via compatibele meetprobes, kabels, schakelaars en software.

Hoe maak ik de keuze tussen handmatig en automatisch meten?

Handmatige systemen zijn flexibel voor R&D en wisselende experimenten. Semi-automatische systemen voegen herhaalbare gemotoriseerde beweging en mapping toe. Automatische waferprobers zijn beter geschikt voor gedefinieerde productieprocessen, cassetteverwerking en hogere testvolumes.

Wat bepaalt de prijs van een meetstation?

De wafergrootte, automatisering, lader, sledehouder, temperatuurbereik, nauwkeurigheid van het platform, probe-interface, microscoop, behuizing, software, controllers, meegeleverde accessoires en de staat van de apparatuur hebben allemaal invloed op de prijs. Een klein handmatig laboratoriumplatform mag niet rechtstreeks worden vergeleken met een automatische productieprobe.

Kan één meetsysteem gelijkstroom-, radiofrequentie- en hoogvermogenstesten uitvoeren?

Sommige modulaire platforms kunnen opnieuw geconfigureerd worden, maar de spankop, sondes, kabels, positioneerders, afscherming, kalibratie en veiligheidsvoorzieningen verschillen. Ondersteuning dient te worden bevestigd voor de daadwerkelijke configuratie en niet te worden afgeleid uit de naam van het basismodel.

Waar moet je op letten bij de aanschaf van een gebruikt probe-station?

Controleer het volledige model- en serienummer, de wafergrootte, de lader, de stage- en uitlijnprestaties, het type chuck, de temperatuuropties, de probe-card-interface, de controllers, de software en licenties, de meegeleverde accessoires, de bedrijfsstatus en de servicehistorie.

Stuur het model van het meetstation op of beschrijf de meting die u nodig heeft.

We controleren de huidige apparatuur, configuratievereisten, de daadwerkelijke leveringsomvang en leveringsopties voor uw wafer-level testproject.

Vraag een offerte aan voor een meetstation