ウェハレベル半導体テスト用プローブステーションシステム

これらの用語は重複する部分があります。「プローブステーション」は分析プラットフォームやエンジニアリングプラットフォームを指すことが多い一方、「ウェーハプローバー」は一般的に、ウェーハ全体を走査する半自動または自動システムを指し、ローダー、ウェーハマッピング、製造インターフェースなどが含まれる場合があります。名称よりも、実際のモデル構成の方が重要です。

必ずしもそうとは限りません。プローブステーションは通常、位置決め、接触、およびテスト環境を提供します。SMU、パラメータアナライザ、VNA、オシロスコープ、またはATEリソースは別個の場合があり、互換性のあるプローブ、ケーブル、スイッチング、およびソフトウェアを介して統合する必要があります。

手動システムは、研究開発や実験内容の変更に柔軟に対応できます。半自動システムは、繰り返し可能な電動動作とマッピング機能を追加します。自動ウェハプローバは、明確な生産フロー、カセットの取り扱い、および大量のテストに適しています。

ウェハサイズ、自動化機能、ローダー、チャック、温度範囲、ステージ精度、プローブインターフェース、顕微鏡、筐体、ソフトウェア、コントローラー、付属アクセサリー、機器の状態など、すべてが価格に影響します。小型の手動式実験用プラットフォームを、生産用の自動プローバーと直接比較すべきではありません。

一部のモジュール式プラットフォームは再構成可能ですが、チャック、プローブ、ケーブル、ポジショナー、シールド、校正、安全設計は異なります。サポート状況は、基本モデル名から推測するのではなく、実際の構成に基づいて確認する必要があります。

完全なモデルとシリアル番号、ウェハサイズ、ローダー、ステージとアライメント性能、チャックの種類、温度オプション、プローブカードインターフェース、コントローラー、ソフトウェアとライセンス、付属アクセサリ、動作状態、およびサービス履歴を確認してください。