Kagamitan sa Pagsubok sa Antas ng Wafer

Mga Sistema ng Istasyon ng Probe para sa Pagsubok ng Semiconductor sa Antas ng Wafer

Inilalagay ng isang probe station ang mga electrical, RF o optical probe sa mga wafer at die test pad, pagkatapos ay ikinokonekta ang device na sinusubok sa mga instrumento sa pagsukat o sa isang ATE platform. Mag-browse ng mga available na wafer prober at ihambing ang automation, laki ng wafer, chuck, probe interface, temperature control at production integration bago humiling ng quote.

Istasyon ng Probe ng Wafer Manwal patungong Awtomatiko Pagsubok sa DC / RF / Lakas Bago at Gamit na Kagamitan
Mga Kagamitang Magagamit

Mag-browse ng Kasalukuyang mga Modelo ng Istasyon ng Probe

Buksan ang bawat pahina ng produkto upang suriin ang platform ng modelo. Para sa desisyon sa pagbili, dapat pa ring kumpirmahin ang aktwal na paghawak ng wafer, chuck, probe-card interface, software, mga opsyon sa temperatura, mga aksesorya at kondisyon ng makina.

Naghahanap ng partikular na ACCRETECH, FormFactor, Cascade, MPI, TEL, Electroglas o iba pang wafer prober? Ipadala ang numero ng modelo kahit na hindi ito kasalukuyang ipinapakita.

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

ACCRETECH UF3000EX Wafer Prober

Segunda-manong ACCRETECH UF3000EX wafer prober para sa semiconductor wafer testing. Magtanong tungkol sa kondisyon, konpigurasyon, at...

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

ACCRETECH AP3000 Wafer Prober

Segunda-manong ACCRETECH AP3000 wafer prober para sa semiconductor wafer testing. Magtanong tungkol sa kondisyon, konpigurasyon, at...

Buuin ang Kumpletong Landas ng Pagsubok

Hindi Gumagana nang Mag-isa ang Isang Probe Station

Ang istasyon ay nagbibigay ng tumpak na pagpoposisyon, kontroladong kontak, at isang matatag na kapaligiran sa pagsubok. Ang kumpletong resulta ay nakasalalay din sa mga probe o probe card, mga kable, switching, mga instrumento sa pagsubok, kalibrasyon, at software. Ito ang dahilan kung bakit ang dalawang magkaparehong istasyon ng probe ay maaaring sumuporta sa magkaibang pagsukat.

01

Wafer, Die o Substrate

Tiyakin ang diyametro, kapal, layout ng pad, kondisyon ng likurang bahagi at kung ang DUT ay isang full wafer, partial wafer o individual die.

02

Chuck at Kapaligiran

Ang mga kinakailangan sa vacuum, thermal, high-power, low-noise, light-tight, pressure o cryogenic ay nagbabago sa konfigurasyon ng istasyon.

03

Kontak ng Probe

Pumili ng mga indibidwal na probe positioner o isang probe card ayon sa bilang ng pad, pitch, frequency, current at repeatability.

04

Mga Instrumentong Pangsukat

Ang mga SMU, parameter analyzer, oscilloscope, VNA, power analyzer o ATE resources ang nagsasagawa ng electrical test.

05

Kontrol at Datos

Ang pagkakahanay, paghakbang, pagmamapa ng wafer, pagkakasunud-sunod ng pagsubok, pagkakalibrate at paghawak ng resulta ay tumutukoy sa kahusayan ng daloy ng trabaho.

Shortcut sa pagbebenta: Sabihin sa amin kung ano ang iyong sinusukat at kung aling mga instrumento ang mayroon ka na. Pagkatapos ay maaari naming paliitin ang mga kinakailangan sa istasyon ng probe, interface, at automation nang hindi mo muna kailangang tukuyin ang bawat bahagi.

Pumili ayon sa Pagsukat

Tinutukoy ng Layunin ng Pagsubok ang Konfigurasyon ng Istasyon ng Probe

Ang "probe station" ay isang malawak na kategorya ng kagamitan. Ang isang sistema para sa DC parametric characterization ay hindi awtomatikong angkop para sa RF, high-power, photonics o cryogenic testing.

01DC / IV-CV

Ang paglalarawan ng aparato, pagsubaybay sa proseso, at mga pagsukat ng mababang kuryente ay maaaring mangailangan ng mga koneksyon na may guwardiya o triax, isang angkop na chuck, at EMI/light shielding.

SMUTagasuri ng ParameterMababang Tagas
02RF / mmWave

Ang high-frequency probing ay nakadepende sa mga RF positioner, compatible probes, calibration substrates, stable cabling at kontroladong probe-to-pad alignment.

VNAKalibrasyonRF Chuck
03Mataas na Lakas

Binabago ng pagsubok sa power semiconductor ang kuryente, boltahe, isolation, thermal control, arcing protection, at mga kinakailangan sa kaligtasan ng operator.

Mataas na AgosMataas na BoltaheThermal Chuck
04RF / Optikal / SiPh

Maaaring pagsamahin ng silicon photonics at optoelectronic test ang mga electrical probe na may fiber alignment, mga optical instrument, at synchronized motion.

Pag-align ng OptikaHiblaHalo-halong Senyales
05FA at R&D

Karaniwang pinahahalagahan ng mga laboratoryo sa pagsusuri ng pagkabigo at inhinyeriya ang flexible access, mga mikroskopyo, mga manipulator, at mabilis na pagpapalit sa pagitan ng mga format ng wafer, die, at pakete.

Manu-manong KontrolMikroskopyoFlexible na DUT
06Vacuum / Cryogenic

Ang mga sukat para sa mababang temperatura, vacuum, o magnetic-field ay nangangailangan ng nakalaang chamber, mga feedthrough, thermal design, at compatible na pagpoposisyon ng probe.

Walang lamanMababang TemperaturaSistema ng Espesyalidad
Antas ng Awtomasyon

Mano-mano, Semi-Awtomatiko o Awtomatikong Istasyon ng Probe?

Ang pinakamahusay na antas ng automation ay nakadepende sa dami ng pagsubok, laki ng wafer, kahirapan sa pagkakahanay, kakayahang maulit ang recipe at kung gaano kalaking partisipasyon ng operator ang kayang tanggapin ng proseso.

Puntos ng PagpapasyaIstasyon ng Manu-manong ProbeIstasyon ng Probe na Semi-AwtomatikongAwtomatikong Wafer Prober
Karaniwang PaggamitR&D, pagsusuri ng pagkabigo, edukasyon at paglalarawan ng maliit na dami.Inhinyeriya, parametric test at mauulit na pagsukat ng medium-volume wafer.Pagsubok sa production wafer, mapped stepping, automated alignment at higher-throughput screening.
Tungkulin ng OperatorDirektang ipinoposisyon ng operator ang wafer, mga probe, at mga punto ng pagsukat.Awtomatiko ng de-motor na entablado at software ang mga piling galaw habang pinamamahalaan ng operator ang pag-setup.Maaaring tumakbo ang loader, alignment, wafer map, at test sequence nang may limitadong interbensyon.
Kakayahang umangkopPinakamataas para sa pagbabago ng mga eksperimento. Madaling pag-access sa mga probe arms at DUT.Binabalanse ang kakayahang umangkop sa paulit-ulit na paggalaw at kontrol sa resipe.Pinakamaganda kapag ang format ng produkto, probe card, at daloy ng pagsubok ay mahusay na natukoy.
PaghahatidPinakamababa; lubos na naaapektuhan ng kasanayan ng operator at oras ng pag-setup.Pinahusay na paghakbang at pag-align nang walang buong gastos sa automation ng produksyon.Pinakamataas na potensyal, ngunit ang aktwal na throughput ay nakadepende rin sa oras ng tester, kalidad ng contact, at paghawak ng wafer.
Tanong Tungkol sa Pinakamagandang PagbiliMasusuportahan ba ng plataporma ang aking mga instrumento sa pagsukat at geometry ng probe?Aling mga galaw, alignment, at mapping function ang awtomatiko?Anong loader, laki ng wafer, interface ng probe-card, saklaw ng temperatura at interface ng pabrika ang kasama?

Ang kasalukuyang imbentaryo ay maaaring nakatuon sa mga tagasuri ng produksyon. Maaari pa rin naming suriin ang mga kinakailangan para sa manual, semi-automatic, RF, power o specialty probe stations sa pamamagitan ng sourcing network.

Magtanong Kung Aling Uri ang Kasya
Presyo ng Istasyon ng Probe

Bakit Napakalawak na Nag-iiba-iba ang mga Presyo ng Probe Station

Kadalasang pinaghahalo ng mga resulta ng paghahanap ang maliliit na manu-manong plataporma ng laboratoryo na may 200 mm o 300 mm na awtomatikong wafer probers. Ang mga sistemang iyon ay nabibilang sa magkakaibang klase ng presyo, kaya ang isang kapaki-pakinabang na sipi ay dapat magsimula sa nilalayong sukat at sa aktwal na konfigurasyon.

Para sa mga gamit nang kagamitan, ang taon pa lamang ay hindi nagpapaliwanag ng halaga. Ang kondisyon ng loader, katumpakan ng stage, mga opsyon sa chuck at temperatura, interface ng probe-card, software, mga controller, mga aksesorya at kakayahang magamit ay maaaring magkaroon ng mas malaking epekto sa pangwakas na pagbili.

Humiling ng Kasalukuyang Presyo
Mga Hangganan ng Kagamitang Pangsubok

Ang Probe Station, ATE at Test Handler ay Magkaibang Bahagi ng Daloy ng Pagsubok

Madalas gamitin ng mga mamimili ang mga terminong ito nang magkasama, ngunit ang bawat kategorya ng kagamitan ay may iba't ibang trabaho. Ang paglilinaw sa hangganan ay pumipigil sa isang sipi para sa isang mechanical prober kapag ang tunay na kailangan ay isang tester, probe card o packaged-device handler.

Istasyon ng Probe / Wafer Prober

Pinoposisyon ang wafer o die at gumagawa ng paulit-ulit na pisikal na kontak sa pamamagitan ng mga probe o probe card.

Tingnan ang mga Modelo

Sistema ng ATE / Pagsubok

Bumubuo ng test stimulus, sumusukat sa tugon ng device at nagsasagawa ng electrical test program.

Mga Sistema ng Pagsubok

Probe Card at mga Probe

Gumawa ng electrical interface sa pagitan ng mga pad ng device at ng measurement path; dapat tumugma ang pitch, frequency, at current sa aplikasyon.

Saklaw ng Kagamitan

Mga Panghawak ng Pagsubok

Nagpapakain, nag-a-kondisyon ng temperatura, at nag-uuri ng mga naka-package na device pagkatapos ng wafer-level probing at packaging.

Basahin ang mga Gabay sa Pagsusulit
Pagsusuri sa Konpigurasyon

Tumutulong Kami na Gawing Shortlist ng Kagamitan ang Isang Kinakailangan sa Pagsusulit

Hindi mo kailangang maghanda ng kumpletong detalye bago makipag-ugnayan sa amin. Magsimula sa aparato, pagsukat, at format ng wafer. Tutukuyin namin ang mga nawawalang punto ng configuration at susuriin ang mga magagamit na kagamitan laban sa totoong setup ng pagsubok.

Magsimula ng Pagtatanong sa Istasyon ng Probe
Nagbibigay ka ng 01

Aparato at Wafer

Uri ng produkto, laki ng wafer, layout ng pad, kapal at format ng pagkarga.

Nagbibigay ka ng 02

Layunin ng Pagsusulit

Paglalarawan, pagsusuri ng pagkabigo, screening ng produksyon, RF, kuryente o iba pang pagsukat.

Kinukumpirma Namin ang 03

Istasyon at Kontak

Awtomatikong antas, chuck, entablado, probe card o mga positioner, mikroskopyo at enclosure.

Kinukumpirma Namin ang 04

Aktwal na Saklaw ng Suplay

Modelo, serial number, software, mga controller, loader, mga aksesorya, kondisyon at suporta sa paghahatid.

Mga Tanong ng Mamimili

Mga Madalas Itanong (FAQ) tungkol sa Istasyon ng Probe

Saklaw ng mga sagot na ito ang mga tanong na kadalasang nakakaapekto sa pagpili, pagsasama, at pagbanggit ng presyo ng kagamitan.

Ano ang pagkakaiba ng probe station at wafer prober?

Magkakapatong ang mga termino. Ang "Probe station" ay kadalasang ginagamit para sa mga analytical o engineering platform, habang ang "wafer prober" ay karaniwang naglalarawan ng mga semi-automatic o automatic system na tumatawid sa mga full wafer at maaaring kabilang ang mga loader, wafer mapping at production interface. Ang eksaktong arkitektura ng modelo ay mas mahalaga kaysa sa pangalan.

Kasama ba sa isang probe station ang tester o mga instrumento sa pagsukat?

Hindi palagi. Karaniwang nagbibigay ang isang probe station ng pagpoposisyon, pakikipag-ugnayan, at kapaligiran sa pagsubok. Ang mga SMU, parameter analyzer, VNA, oscilloscope, o ATE resources ay maaaring hiwalay at dapat na isama sa pamamagitan ng mga compatible na probe, cable, switching, at software.

Paano ako pipili sa pagitan ng manu-manong at awtomatikong pag-probe?

Ang mga manu-manong sistema ay nababaluktot para sa R&D at mga pabago-bagong eksperimento. Ang mga semi-awtomatikong sistema ay nagdaragdag ng paulit-ulit na motorized motion at mapping. Ang mga awtomatikong wafer prober ay mas angkop para sa mga tinukoy na daloy ng produksyon, paghawak ng cassette at mas mataas na dami ng pagsubok.

Ano ang tumutukoy sa presyo ng istasyon ng probe?

Ang laki ng wafer, automation, loader, chuck, saklaw ng temperatura, katumpakan ng stage, probe interface, mikroskopyo, enclosure, software, mga controller, mga kasama na accessory at kondisyon ng kagamitan ay pawang nakakaapekto sa presyo. Ang isang maliit na manual laboratory platform ay hindi dapat direktang ikumpara sa isang production automatic prober.

Kaya ba ng isang probe station ang DC, RF at high-power testing?

Maaaring muling i-configure ang ilang modular platform, ngunit magkakaiba ang disenyo ng chuck, probes, cables, positioners, shielding, calibration at safety. Dapat kumpirmahin ang suporta para sa aktwal na configuration sa halip na hinuha mula sa pangalan ng base model.

Ano ang dapat suriin kapag bumibili ng segunda-manong probe station?

Kumpirmahin ang kumpletong modelo at serial number, laki ng wafer, loader, performance ng stage at alignment, uri ng chuck, mga opsyon sa temperatura, probe-card interface, mga controller, software at mga lisensya, mga kasama na aksesorya, kondisyon ng pagpapatakbo at kasaysayan ng serbisyo.

Ipadala ang Modelo ng Probe Station—o Ilarawan ang Sukat na Kailangan Mo

Susuriin namin ang kasalukuyang kagamitan, mga kinakailangan sa configuration, aktwal na saklaw ng supply, at mga opsyon sa paghahatid para sa iyong proyekto sa pagsubok sa antas ng wafer.

Humingi ng Presyo para sa Istasyon ng Probe