Nordson MARCH AP-600は、プラズマ洗浄、表面活性化、密着性向上に使用されるバッチ式真空プラズマ処理システムです。互換性のある半導体パッケージ、電子アセンブリ、部品、部品キャリアなどを、ボンディング、コーティング、アンダーフィル、封止などの工程の前に処理できます。
実際のチャンバー構成、棚、電極、ガス制御装置、真空ポンプ、ソフトウェア機能は、入手可能な中古システムによって異なります。初回のお問い合わせの際は、処理対象の部品またはキャリアの写真、該当する場合は現在お使いのプラズマシステムのモデル、および必要な洗浄または表面処理プロセスの簡単な説明をお送りください。
Nordson MARCH AP-600 マシン情報
| メーカー | ノードソン 3月 |
|---|---|
| モデル | AP-600 |
| 機器の種類 | バッチ式真空プラズマ処理システム |
| 主な用途 | プラズマ洗浄、表面活性化、接着性向上 |
| 代表的な産業 | 半導体製造、マイクロエレクトロニクスパッケージング、電子機器組立 |
| 処理フォーマット | 互換性のある部品、トレイ、マガジン、ボート、その他のキャリアの一括処理 |
| プラズマモード | 設置された棚と電極配置に応じて、直接プラズマまたは下流プラズマが生成される。 |
| RFシステム | メーカーのプラットフォーム説明に基づく、自動インピーダンス整合機能を備えた13.56MHz RFジェネレーター |
| 制御システム | PLCベースのタッチスクリーン制御プラットフォーム |
| 状態 | 中古プラズマ処理装置 |
| 実際の構成 | 利用可能な特定システムに従って確認済み |
| 納品範囲 | 見積もりと確認済みの機器リストに基づき |
| 配送 | 輸出梱包および世界各国への配送 |
プラズマ洗浄および表面活性化アプリケーション
AP-600は、低圧ガスプラズマを用いて、従来の液体洗浄方法に頼ることなく、露出した表面の改質や洗浄を行います。選択するガス、プラズマモード、および処理レシピに応じて、有機汚染物質の除去、表面の活性化、および後続の製造工程前の密着性の向上に使用できます。
一般的な用途としては、ダイアタッチ、ワイヤボンディング、成形、アンダーフィル、コーティング、接着、その他の組立工程前の処理などが挙げられます。適切な処理方法と処理結果は、部品の材質、汚染状況、露出面、キャリアの配置、および後工程によって異なります。
部品とキャリアの互換性
AP-600という型番だけでは、すべての部品やキャリアが使用可能なチャンバーで処理できるとは限りません。互換性は、部品の寸法、材質、数量、キャリアの種類、棚間隔、電極配置、必要なプラズマモード、および処理目的によって異なります。
最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。
処理対象となる部品、パッケージ、基板、またはアセンブリの鮮明な写真
製造に使用されたトレイ、マガジン、ボート、その他のキャリアの写真
AP-600が既存の機器を置き換える場合、現在お使いのプラズマシステムモデルは何ですか？
汚染、接着問題、または必要な表面処理に関する簡単な説明
詳細な寸法、材料情報、プロセスガスの要件、およびレシピパラメータは、利用可能なシステムが用途に適していると判断された時点で後日検討できます。
利用可能なAP-600の構成と納品範囲
Nordson MARCH AP-600システムは、チャンバー棚、電源付きまたは接地型電極配置、ガス流量制御、真空ポンプ、RFコンポーネント、プロセス監視、ソフトウェアオプションなどにおいて、個体によって異なる場合があります。ご購入前に、入手可能なユニットを実際に確認し、チャンバー構成とユーティリティ要件が、対象部品およびプロセスに適しているかどうかをご確認いただく必要があります。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。真空ポンプ、ガス付属品、棚、治具、コンピュータ、ソフトウェアパッケージ、外部ユーティリティ機器は、明記されている場合にのみ含まれます。
受入、起動、および初期血漿試験
AP-600は、貴重な生産部品を導入する前に、段階的に検査およびテストを行うべきである。
梱包材、機械キャビネット、チャンバードア、コントロールパネル、ガス接続部、ケーブル、および目視可能な真空部品を点検してください。
システムを移動する前に、衝撃痕、緩んだ継手、損傷した配管、または位置がずれた部品などを写真に撮っておいてください。
受け取った機械、ポンプ、棚、備品、ケーブル、付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
輸送後、チャンバー、電極、棚、および内部部品が正しい位置に保持されていることを確認してください。
実際のシステムの電源、接地、プロセスガス、排気、真空に関する要件を確認してください。
機械をリセットしたり、レシピのパラメータを変更したりする前に、コントローラーを起動し、すべてのアラームを記録してください。
生産部品を使用せずに、チャンバーの密閉性、排気動作、ガス制御、およびRF関連機能を確認します。
基本的な動作が安定したら、非生産サンプルを使用して最初のプラズマ処理試験を実施する。
一貫したサンプル配置で試験を繰り返し、処理結果を比較してから、製品への使用を検討してください。チャンバーが安定した真空状態に達しない場合、ガス流量が異常な場合、RFアラームが発生する場合、または同じ不具合が繰り返し発生する場合は、試験を中止してください。
プロセス結果、アラーム、および部品サポート
処理が不十分または不安定な場合、表面汚染、不適切なプロセスガス、不適切な電力または処理時間、真空性能の不良、不安定なガス流量、キャリアの負荷、またはチャンバー内での部品の配置の不均一などが原因である可能性があります。
真空漏れ、排気遅延、RFマッチング異常、ガス流量異常、チャンバードアインターロック異常、コントローラエラーなどは、システムをリセットする前に記録しておく必要があります。原因を特定せずに運転を続けると、後々の故障診断が困難になる可能性があります。
チャンバー、棚、部品、治療結果、アラーム画面の写真、および可能であれば短い操作ビデオは、レビューの有用な出発点となる。
当チームは、初期故障解析、部品特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。また、関連するポンプ、バルブ、ゲージ、マスフローコントローラー、RF部品、マッチングネットワーク、電源、基板、センサー、ケーブル、チャンバー部品なども、入手可能な場合は点検いたします。
よくある質問
Nordson MARCH AP-600は、当社の部品を処理できますか？
これは、部品の材質、寸法、キャリアの配置、必要なプラズマ処理、および利用可能なシステムのチャンバー構成によって異なります。まずは部品とキャリアの写真を送っていただき、初期レビューを受けてください。
AP-600はどのようなプロセスに使用できますか？
AP-600は、適合するプラズマ洗浄、表面活性化、および密着性向上用途に使用されます。実際の処理手順は、材料および後工程の製造要件によって異なります。
真空ポンプは機械に付属していますか？
見積書または納品確認書に明記されている真空ポンプおよび関連付属品のみが含まれます。
棚板とプラズマ電極は付属していますか？
設置されている棚と電極の配置は、特定の機械で確認してください。追加の棚、治具、または製品キャリアは、記載がない限り含まれていないものとみなしてください。
真空アラームやRFアラームの対応をお願いできますか？
はい。機械の機種名、アラーム情報、チャンバーの写真、可能であれば短い動作動画をお送りください。初期故障診断、部品選定、修理に関するご相談を承ります。
Nordson MARCH AP-600についてのお問い合わせはこちら
部品とキャリアの写真、該当する場合は現在お使いのプラズマシステムのモデル、および洗浄、活性化、または接着に関する要件の簡単な説明をお送りください。まず基本的な用途を確認し、その後、必要なチャンバー構成、プロセス、交換部品、または修理の詳細についてご説明いたします。
