半導体ウェハーテープ用ウェハーマウンターマシン

ウェハマウンターは、処理用テープをウェハに貼り付けたり、ダイシングフレームで保持されたテープ上にウェハをマウントしたりする装置です。装置の種類にもよりますが、一般的にはウェハダイシングの前、またはバックグラインディングの前に使用されます。

これらの用語はしばしば重複します。一部のサプライヤーは保護テープの貼付にウェーハラミネーターという用語を使用していますが、ウェーハマウンターはウェーハをダイシングテープとフレームに取り付ける装置を指す場合が多いです。製品名だけを見るよりも、テープ面と次の工程の方が信頼性が高いと言えます。

手動システムは、柔軟性、少量生産、およびオペレーターと機械間の複雑さの軽減を重視する。全自動システムは、再現性、スループット、カセット処理、およびレシピ制御を重視する。半自動システムは、これら2つのアプローチの中間に位置する。

ローラーの圧力、表面接触、または閉じ込められた空気によって追加のリスクが生じる薄い、反りのある、凹凸のある、構造化された、または壊れやすいウェーハの場合は、真空または非接触マウントを検討してもよい。

システムによっては複数のテープ処理やオプションに対応しているものもありますが、これは当然のことと考えるべきではありません。チャックの設計、テープ経路、切断方法、フレーム処理、ソフトウェアなどは、実際の機種と構成に合わせて確認する必要があります。

対象プロセス、ウェハ材料と直径、厚さと表面状態、テープの種類、フレームサイズ、実装方法、自動化レベル、希望する機械条件、数量、および配送先をお知らせください。