تُعد منصة Applied Materials Nokota™ ECD منصة ترسيب كهروكيميائي موجهة نحو الإنتاج تم تطويرها لتغليف أشباه الموصلات المتقدمة وعمليات الطلاء على مستوى الرقاقة.
صُمم هذا النظام ليجمع بين حماية الرقاقات، ومرونة العمليات، وإمكانية توسيع نطاق تكوين الحجرة، مما يدعم المصنّعين الذين يعملون بتقنيات تغليف متعددة، وأحجام رقاقات متنوعة، ومتطلبات ترسيب المعادن المختلفة. وهو مناسب لمصنّعي أشباه الموصلات، ومسابكها، ومراكز الأبحاث، وشركات تجميع واختبار أشباه الموصلات الخارجية التي تبحث عن منصة طلاء كهربائي قابلة للتكيف لأغراض التطوير أو الإنتاج بكميات كبيرة.
يمكن استخدام تقنية الطلاء الكهربائي من نوكوتا (Nokota ECD) في عمليات الطلاء المرتبطة بتغليف الرقائق المقلوبة، وتغليف الرقائق على مستوى الرقاقة، وتغليف الرقائق المروحية، والوصلات البينية، والوصلات عبر السيليكون، وغيرها من هياكل التوصيل المتقدمة. الطلاء الكهربائي لتغليف أشباه الموصلات المتقدمة
غالباً ما تحتاج مرافق التغليف الحديثة إلى معالجة هياكل أجهزة مختلفة، ومجموعات معدنية، وأحجام رقائق مختلفة في نفس أرضية الإنتاج. وتلبي منصة نوكوتا هذا المطلب من خلال بنية نظام معيارية يمكن تهيئتها وفقاً لأهداف إنتاجية محددة.
اعتمادًا على الحجرة المثبتة وتكوين توصيل المواد الكيميائية، يمكن للنظام دعم معادن الطلاء الشائعة الاستخدام مثل:
نحاس
سبيكة القصدير والفضة
النيكل
ذهب
يعتقد
البلاديوم
مواد طلاء أخرى خاصة بالتطبيقات
تُشير شركة Applied Materials إلى أن المنصة تدعم معالجة رقائق السيليكون بأحجام 150 مم و200 مم و300 مم، بما في ذلك تكوينات الرقائق ذات الأحجام المختلطة مثل 150/200 مم و200/300 مم. ميزات جهاز Applied Materials Nokota ECD
حماية متقدمة للرقاقات
تتضمن منصة نوكوتا تقنية حماية الرقاقات SafeSeal™ من شركة Applied Materials. يتم تغليف الرقاقة قبل الطلاء وتبقى محمية طوال عمليات الطلاء أحادية المعدن أو متعددة المعادن.
تساعد وظائف التحقق من سلامة الأختام والتنظيف والفحص بعد المعالجة على تقليل خطر وصول مواد الطلاء الكيميائية إلى المناطق الحساسة في الرقاقة. وهذا أمر بالغ الأهمية، خاصةً بالنسبة للرقاقات عالية القيمة وهياكل التغليف المعقدة التي تتطلب خطوات ترسيب متعددة. صيانة أختام wap™
يُتيح تصميم HotSwap™ صيانة مكونات SafeSeal خارج حجرة المعالجة النشطة. وبالتالي، يُمكن استبدال وصيانة مانع التسرب دون الحاجة إلى إيقاف منصة الطلاء بالكامل.
تهدف هذه البنية إلى تقليل انقطاعات الإنتاج غير المخطط لها ودعم توافر المعدات بشكل أكبر في بيئات التصنيع. ™ غرفة المعالجة
صُممت حجرة معالجة VMax™ لتحسين التحكم في نقل الكتلة أثناء الترسيب الكهروكيميائي. وهي تدعم معدلات طلاء عالية مع الحفاظ على استواء السطح وتناسق الرقاقة الداخلية المطلوبين لهياكل التغليف المتقدمة.
تتيح عملية التنظيف المتكاملة للحجرة شطف الرقاقة مباشرةً بعد عملية الطلاء، مما يساعد على التحكم في انتقال المواد الكيميائية والحفاظ على نظافة العملية. تكوين الحجرة الكبيرة
بخلاف المنصات التي تتطلب تركيب غرف المعالجة في أزواج ثابتة فقط، يدعم نظام نوكوتا تكوين الغرف الفردية.
يوفر هذا مرونة أكبر عند بناء نظام لـ:
تطوير العمليات
مؤهل هندسي
إنتاج تجريبي
تصنيع المنتجات المختلطة
تغليف أشباه الموصلات بكميات كبيرة
يمكن توسيع المنصة أو إعادة تهيئتها مع تغير متطلبات الإنتاج، مما يسمح للمستخدمين بتحقيق التوازن بين الاستثمار الأولي في المعدات واحتياجات الطاقة الإنتاجية المستقبلية. تطبيقات تغليف الموصلات
يمكن اعتبار نظام Applied Materials Nokota ECD مناسبًا لمجموعة واسعة من تطبيقات التغليف المتقدمة على مستوى الرقاقة، بما في ذلك:
عمود نحاسي وطلاء نتوء
يمكن تهيئة النظام لأعمدة النحاس، ونتوءات اللحام، وعمليات طلاء التوصيلات البينية ذات الصلة المستخدمة في تقنية الرقائق المقلوبة والتغليف عالي الكثافة.
تغليف رقائق السيليكون على مستوى الرقاقة
تدعم نوكوتا خطوات الطلاء الكهربائي المستخدمة في حزم رقائق السيليكون حيث تكون الأبعاد المدمجة والأداء الكهربائي وتكوين التوصيلات البينية المتحكم بها مطلوبة.
تغليف رقائق السيليكون بتقنية Fan-Out
تُعد المنصة مناسبة لعمليات ترسيب المعادن المرتبطة بالهياكل ثنائية وثلاثية الأبعاد، بما في ذلك تطبيقات إعادة توزيع الطبقات والوصلات البينية.
معالجة الثقوب الموصلة عبر السيليكون
يمكن استخدام تكوينات ترسيب النحاس والمعادن الأخرى في عمليات التوصيل عبر السيليكون والعمليات المتعلقة بالطبقة البينية حيث يكون التحكم في ملء الميزات وتوحيد الترسيب أمراً مهماً.
التكامل بين ثنائي الأبعاد ونصف وثلاثي الأبعاد
يدعم النظام متطلبات الطلاء المستخدمة في الحزم القائمة على الموصلات البينية وغيرها من مخططات التكامل المتقدمة لتطبيقات الحوسبة عالية الأداء والاتصالات وأجهزة الاستشعار وأجهزة الطاقة والأتمتة. مزايا النظام
يدعم العديد من تطبيقات التغليف المتقدمة
متوافق مع العديد من معادن الطلاء الشائعة الاستخدام
متوفر لمعالجة رقائق السيليكون بأحجام 150 مم و200 مم و300 مم
يدعم تكوينات إنتاج الرقاقات ذات الأحجام المختلطة
تصميم غرفة العمليات المعيارية
تغليف وحماية الرقاقات آلياً
وظائف فحص الأختام والتحقق منها
شطف الرقاقات المتكامل بعد الطلاء
قابل للتطوير لأغراض التطوير والتجريب والإنتاج بكميات كبيرة
مناسب لعمليات الطلاء أحادية المعدن ومتعددة المعادن
تكوين مرن لتصنيع المنتجات المختلطة
القدرات النموذجية للعمليات
تعتمد القدرة الدقيقة لمعالجة نظام Nokota ECD الفردي على الأجهزة المثبتة فيه، وأنواع الحجرات، وخزانات المواد الكيميائية، ووحدات معالجة الرقائق، وتكوين البرامج.
قد يتضمن النظام مجموعات من:
غرف الطلاء الكهروكيميائي
وحدات طلاء النحاس
وحدات طلاء القصدير والفضة
وحدات طلاء النيكل أو المعادن الأخرى
غرف الترطيب المسبق بالتفريغ
وحدات الغزل والشطف والتجفيف
محطات صيانة حلقات منع التسرب
أنظمة توصيل وإدارة المواد الكيميائية
وحدات معالجة ونقل الرقاقات
جسر بحجم رقاقة السيليكون أو أجهزة التحويل
قبل شراء نظام نوكوتا مستعمل أو مجدد، يجب على المشترين التحقق من عدد الحجرات، والكيمياء المدعومة، وتكوين حجم الرقاقة، ومتطلبات المنشأة، وإصدار البرنامج، والملحقات المرفقة.
معلومات عن المعدات المتاحة
يرجى تزويدنا بمواصفات العملية والإنتاج المطلوبة. لتحديد التكوين المناسب لطابعة Applied Materials Nokota ECD، يرجى تقديم المعلومات التالية:
حجم الرقاقة المطلوب
معدن الطلاء المستهدف
عملية التعبئة والتغليف المقصودة
عدد غرف المعالجة المطلوبة
طلب تطوير أو إنتاج
حالة المعدات المفضلة
بلد التركيب
جدول التسليم المطلوب
قد تختلف مواصفات النظام المتاحة وسنة التصنيع وتصميم الحجرة والوحدات المضمنة وفقًا للمخزون الحالي.
فحص المعدات والدعم الفني
قبل الشحن، يمكن تقييم المعدات المتاحة وفقًا لحالة ونطاق كل نظام على حدة. قد يشمل الفحص التحقق من الوحدات الرئيسية، وتكوين الحجرة، ومكونات معالجة الرقاقات، وأجهزة توصيل المواد الكيميائية، والملحقات المرفقة.
يمكن مناقشة خدمات إضافية وفقًا لمتطلبات المشروع، بما في ذلك:
توريد المعدات
التحقق من التكوين
المعاينة في الموقع أو عن بعد
تنسيق عملية إلغاء التثبيت
تغليف التصدير
النقل الدولي
دعم التثبيت
مصادر قطع الغيار
استشارة فنية
لماذا تختار جهاز Applied Materials Nokota ECD؟
تم تصميم جهاز Nokota ECD لمصنعي أشباه الموصلات الذين يحتاجون إلى أكثر من مجرد أداة طلاء تقليدية أحادية العملية.
إن الجمع بين تكوين الحجرة المعياري، والقدرة على استخدام معادن متعددة، وتقنية حماية الرقاقات، ودعم تنسيقات الرقاقات المتعددة يجعلها مناسبة بشكل خاص لعمليات التعبئة والتغليف المتقدمة مع تغير مزيج المنتجات.
بالنسبة للمنشآت التي تنتقل من مرحلة التطوير الهندسي إلى مرحلة الإنتاج، توفر المنصة مسارًا لتوسيع قدرة المعالجة دون استبدال بنية المعدات بالكامل.
الأسئلة الشائعة
ما هو استخدام جهاز Applied Materials Nokota ECD؟
نظام نوكوتا للترسيب الكهروكيميائي (Nokota ECD) هو نظام يُستخدم في عمليات طلاء المعادن في تغليف أشباه الموصلات على مستوى الرقاقة وفي التغليف المتقدم. تشمل التطبيقات النموذجية النتوءات، والأعمدة النحاسية، وهياكل إعادة التوزيع، والتغليف المروحي، والوصلات البينية، والوصلات البينية عبر السيليكون.
ما هي أحجام الرقاقات التي يمكن لتقنية نوكوتا ECD معالجتها؟
تدعم المنصة معالجة رقائق السيليكون بأحجام 150 مم و200 مم و300 مم. يجب التأكد من قدرة النظام على معالجة الرقائق من خلال التحقق من مكوناته وتكوينه. هل يمكن طلاء المعادن على نظام نوكوتا؟
بحسب حجرات المعالجة والأنظمة الكيميائية المُثبّتة، يمكن للمنصة دعم طلاء النحاس، والقصدير والفضة، والنيكل، والذهب، والقصدير، والبلاديوم، وغيرها من مواد الطلاء. هل يدعم نظام واحد طلاء معادن متعددة؟
نعم. تم تصميم نوكوتا لدعم عمليات الطلاء بمعدن واحد أو عدة معادن. يعتمد العدد والنوع الدقيقان للمعادن على تصميم الحجرة ونظام توصيل المواد الكيميائية.
هل النظام مناسب لإنتاج التغليف المتقدم؟
نعم. تم تطوير هذه المنصة لتطبيقات التغليف المتقدمة على مستوى الرقاقة، بما في ذلك تقنية Flip Chip، وتقنية Fan-Out، وتغليف الرقاقة على مستوى الشريحة، والوصلات البينية، والعمليات المتعلقة بتقنية TSV. هل يجب فحصها قبل شراء جهاز Nokota ECD مستعمل؟
تشمل العناصر المهمة سنة تصنيع النظام، وحالة التشغيل، وحجم الرقاقة، وكمية الحجرة، والمعادن المدعومة بالطلاء، وتكوين خزان المواد الكيميائية، وإصدار البرنامج، وسجل الصيانة، ومتطلبات المنشأة، وقطع الغيار المضمنة.
طلب معلومات عن شركة Appled Materials Nokota ECD
هل تبحث عن نظام الترسيب الكهروكيميائي Applied Materials Nokota™ ECD؟
أرسل إلينا حجم الرقاقة المطلوب، وعملية الطلاء، ونوع المعدن، وتكوين الحجرة، والبلد المقصود. سيقوم فريق المعدات لدينا بمراجعة تكوين النظام المتاح وتزويدك بتفاصيل المعدات، والصور، ومعلومات عن حالتها، وعرض سعر بناءً على متطلبات مشروعك.
