Платформа Applied Materials Nokota™ ECD — это ориентированная на производство платформа электрохимического осаждения, разработанная для передовых процессов упаковки полупроводников и нанесения покрытий на уровне пластин.
Разработанная для сочетания защиты пластин, гибкости процесса и масштабируемой конфигурации камеры, система может поддерживать производителей, работающих с различными технологиями упаковки, форматами пластин и требованиями к осаждению металлов. Она подходит для производителей полупроводников, литейных предприятий, исследовательских центров и компаний, занимающихся сборкой и тестированием полупроводниковых компонентов на аутсорсинге, которым необходима адаптируемая платформа для электроосаждения как для разработки, так и для серийного производства.
Электрохимическое осаждение Nokota ECD может использоваться для процессов нанесения покрытий, связанных с корпусированием типа «флип-чип», корпусированием на уровне пластины, корпусированием с разветвлением, межсоединительными платами, сквозными кремниевыми переходными отверстиями и другими передовыми структурами межсоединений.
Современные предприятия по упаковке часто сталкиваются с необходимостью обработки различных конструкций устройств, металлических пакетов и пластин разных размеров на одном производственном участке. Платформа Nokota решает эту задачу благодаря модульной системной архитектуре, которую можно настроить в соответствии с конкретными производственными задачами.
В зависимости от установленной камеры и конфигурации подачи химических реагентов, система может поддерживать такие распространенные металлы для гальванического покрытия, как:
Медь
Олово-серебряный сплав
никель
Золото
Полагать
Палладий
Другие материалы для нанесения покрытий, предназначенные для конкретных областей применения.
Компания Applied Materials заявляет, что платформа поддерживает обработку пластин размером 150 мм, 200 мм и 300 мм, включая конфигурации со смешанными размерами пластин, такие как работа с пластинами 150/200 мм и 200/300 мм. Характеристики Applied Materials Nokota ECD
Усовершенствованная защита пластин
Платформа Nokota использует технологию защиты пластин SafeSeal™ от Applied Materials. Пластина герметизируется перед нанесением покрытия и остается защищенной на протяжении всего процесса нанесения одного или нескольких металлов.
Функции проверки герметичности, постобработки и контроля помогают снизить риск попадания химических реагентов для нанесения покрытия на чувствительные участки пластины. Это особенно важно для дорогостоящих пластин и сложных упаковочных структур, требующих многоэтапного нанесения покрытия. Система wap™ Seal Maintenance
Конструкция HotSwap™ позволяет обслуживать компоненты SafeSeal вне активной технологической камеры. Таким образом, замена и техническое обслуживание уплотнений могут выполняться без необходимости остановки всего процесса гальванического покрытия.
Данная архитектура призвана сократить незапланированные перебои в производстве и обеспечить более высокую доступность оборудования в производственных условиях.™ Технологическая камера
Технологическая камера VMax™ разработана для улучшения контроля массопереноса в процессе электрохимического осаждения. Она обеспечивает высокие скорости осаждения, сохраняя при этом соосность и однородность внутри пластины, необходимые для современных упаковочных структур.
Интегрированная система очистки камеры позволяет промывать пластину сразу после процесса нанесения покрытия, что помогает контролировать перенос химических веществ и поддерживать чистоту процесса. Большая конфигурация камеры
В отличие от платформ, требующих установки технологических камер только парами, система Nokota поддерживает индивидуальную конфигурацию камер.
Это обеспечивает большую гибкость при создании системы для:
Разработка процессов
Инженерная квалификация
Пилотное производство
Производство смешанной продукции
Высокопроизводительная упаковка полупроводниковых компонентов
Платформа может быть расширена или переконфигурирована по мере изменения производственных требований, что позволяет пользователям сбалансировать первоначальные инвестиции в оборудование с будущими потребностями в мощностях. Применение в упаковке проводников.
Система Applied Materials Nokota ECD может быть использована в широком спектре применений на уровне пластин и в передовых технологиях упаковки, включая:
Медные опоры и защитные пластины
Система может быть сконфигурирована для процессов нанесения медных столбиков, припоев и связанных с ними межсоединений, используемых в технологиях флип-чип и высокоплотной упаковки.
Упаковка микросхем на уровне пластины.
Nokota поддерживает этапы гальванического покрытия, используемые в корпусах микросхем на уровне пластин, где требуются компактные размеры, электрические характеристики и контролируемое формирование межсоединений.
Веерная упаковка на уровне пластины
Данная платформа подходит для процессов осаждения металлов, связанных с 2D и 3D структурами с разветвлением, включая приложения для перераспределения слоев и межсоединений.
Обработка сквозных кремниевых переходных отверстий
Конфигурации осаждения меди и других металлов могут использоваться для процессов, связанных с сквозными кремниевыми переходными отверстиями и межсоединительными платами, где важны контролируемое заполнение элементов и равномерность осаждения.
Интеграция 2.5D и 3D
Система поддерживает требования к нанесению покрытий, используемые в корпусах на основе межсоединительных плат и других передовых схемах интеграции для высокопроизводительных вычислительных, коммуникационных, сенсорных, силовых устройств и приложений автоматизации. Преимущества системы
Поддерживает множество передовых приложений для упаковки.
Совместим с несколькими распространенными металлами, используемыми для гальванического покрытия.
Подходит для обработки кремниевых пластин диаметром 150 мм, 200 мм и 300 мм.
Поддерживает производственные конфигурации с различными размерами пластин.
Модульная архитектура технологической камеры
Автоматизированная герметизация и защита кремниевых пластин
Функции проверки и подтверждения герметичности пломб
Интегрированная промывка пластин после нанесения покрытия
Масштабируемость для разработки, пилотного и серийного производства.
Подходит для нанесения покрытий как на один металл, так и на несколько металлов.
Гибкая конфигурация для производства смешанной продукции.
Типичные производственные возможности
Точные технологические возможности отдельной системы Nokota ECD зависят от установленного оборудования, типов камер, химических резервуаров, модулей обработки пластин и конфигурации программного обеспечения.
Система может включать в себя комбинации следующих элементов:
Камеры электрохимического гальванического покрытия
Модули медного покрытия
Модули для лужения и серебрения
Модули никелирования или других металлических покрытий
Вакуумные камеры предварительного увлажнения
Модули, подвергнутые центрифугированию, промывке и сушке.
станции обслуживания уплотнительных колец
Системы подачи и управления химическими веществами
Модули для обработки и переноса пластин
Оборудование для преобразования или мостового соединения размером с пластину
Перед приобретением бывшей в употреблении или восстановленной системы Nokota покупателям следует проверить количество камер, поддерживаемые химические составы, конфигурацию размеров пластин, требования к оборудованию, версию программного обеспечения и входящие в комплект аксессуары.
Информация о доступном оборудовании
Пожалуйста, свяжитесь с нами, указав необходимые технологические и производственные характеристики. Для определения подходящей конфигурации Applied Materials Nokota ECD предоставьте следующую информацию:
Требуемый размер пластины
Металл целевого покрытия
Предполагаемый процесс упаковки
Необходимое количество технологических камер
Разработка или производство приложения
Предпочтительное состояние оборудования
страна установки
Требуемый график доставки
Технические характеристики системы, год выпуска, компоновка камеры и входящие в комплект модули могут различаться в зависимости от текущего наличия на складе.
Проверка оборудования и техническая поддержка
Перед отгрузкой имеющееся оборудование может быть оценено в соответствии с состоянием и объемом конкретной системы. Инспекция может включать проверку основных модулей, конфигурации камеры, компонентов системы обработки пластин, оборудования для подачи химических реагентов и входящих в комплект принадлежностей.
В зависимости от требований проекта могут быть обсуждены дополнительные услуги, в том числе:
Поставка оборудования
Проверка конфигурации
Инспекция на месте или удаленная инспекция
Координация демонтажа
Экспортная упаковка
Международные перевозки
Поддержка установки
Поиск поставщиков запасных частей
Технические консультации
Почему стоит выбрать Applied Materials Nokota ECD?
Установка Nokota ECD разработана для производителей полупроводников, которым требуется больше, чем обычное оборудование для однопроцессного нанесения покрытий.
Благодаря сочетанию модульной конфигурации камер, возможности работы с различными металлами, технологии защиты пластин и поддержки множества форматов пластин, он особенно подходит для сложных операций упаковки с изменяющимся ассортиментом продукции.
Для предприятий, переходящих от стадии инженерной разработки к серийному производству, эта платформа предоставляет возможность расширения производственных мощностей без полной замены всей архитектуры оборудования.
Часто задаваемые вопросы
Для чего используется прибор Applied Materials Nokota ECD?
Система электрохимического осаждения Nokota ECD используется для процессов нанесения металлических покрытий на уровне пластин и в современных полупроводниковых упаковках. Типичные области применения включают в себя контактные площадки, медные столбики, структуры перераспределения, веерную упаковку, межсоединительные элементы и сквозные кремниевые переходные отверстия.
Какие размеры кремниевых пластин может обрабатывать прибор Nokota ECD?
Платформа поддерживает обработку пластин размером 150 мм, 200 мм и 300 мм. Фактические возможности системы по обработке пластин определенного размера должны быть подтверждены на основе установленного оборудования и конфигурации. Какие металлы можно покрывать на системе Nokota?
В зависимости от установленных технологических камер и химических систем, платформа может поддерживать нанесение покрытий из меди, олова и серебра, никеля, золота, олова, палладия и других металлов. Одна система поддерживает нанесение покрытий из нескольких металлов?
Да. Система Nokota разработана для поддержки как однометаллических, так и многометаллических последовательностей нанесения покрытий. Точное количество и тип металлов зависят от камеры и конфигурации подачи химических реагентов.
Подходит ли данная система для производства современной упаковки?
Да. Платформа была разработана для применения в области корпусирования на уровне пластин и передовых технологий, включая флип-чип, фэн-аут, корпусирование на уровне пластин, интерпозеры и процессы, связанные с TSV. Следует ли это проверить перед покупкой подержанного Nokota ECD?
Важные сведения включают год изготовления системы, рабочее состояние, размер пластин, количество камер, используемые металлы для гальванического покрытия, конфигурацию химических резервуаров, версию программного обеспечения, историю технического обслуживания, требования к оборудованию и перечень запасных частей.
Запросить информацию о компании Applied Materials Nokota ECD
Ищете систему электрохимического осаждения Applied Materials Nokota™ ECD?
Укажите требуемый размер пластины, процесс нанесения покрытия, тип металла, конфигурацию камеры и страну назначения. Наша команда специалистов по оборудованию изучит доступные конфигурации системы и предоставит подробную информацию об оборудовании, фотографии, сведения о состоянии и коммерческое предложение, основанное на требованиях вашего проекта.
