La plateforme de dépôt électrochimique Nokota™ d'Applied Materials est une plateforme orientée production développée pour les procédés avancés d'encapsulation de semi-conducteurs et de placage au niveau de la plaquette.
Conçu pour allier protection des plaquettes, flexibilité des procédés et configuration de chambre évolutive, ce système s'adresse aux fabricants travaillant avec diverses technologies d'encapsulation, formats de plaquettes et exigences de dépôt métallique. Il convient aux fabricants de semi-conducteurs, aux fonderies, aux centres de recherche et aux entreprises sous-traitantes d'assemblage et de test de semi-conducteurs qui recherchent une plateforme d'électroplacage adaptable pour le développement ou la production en série.
Nokota ECD peut être utilisé pour les procédés de métallisation associés au montage flip-chip, au montage à l'échelle de la puce au niveau de la plaquette, au montage fan-out, aux interposeurs, aux vias traversants en silicium et à d'autres structures d'interconnexion avancées. Électrodéposition pour le conditionnement avancé des semi-conducteurs
Les installations d'encapsulation modernes doivent souvent traiter différentes structures de dispositifs, empilements métalliques et formats de plaquettes sur une même ligne de production. La plateforme Nokota répond à cette exigence grâce à une architecture système modulaire configurable en fonction d'objectifs de production spécifiques.
Selon la configuration de la chambre installée et de l'alimentation en produits chimiques, le système peut prendre en charge les métaux de plaquage couramment utilisés, tels que :
Cuivre
alliage étain-argent
Nickel
Or
Croire
Palladium
Autres matériaux de placage spécifiques à l'application
Applied Materials indique que la plateforme prend en charge le traitement de plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm, y compris les configurations de plaquettes de tailles mixtes telles que 150/200 mm et 200/300 mm. Caractéristiques de l'ECD Nokota d'Applied Materials
Protection avancée des plaquettes
La plateforme Nokota intègre la technologie de protection de plaquettes SafeSeal™ d'Applied Materials. La plaquette est scellée avant le placage et reste protégée tout au long des séquences de traitement monométallique ou multimétallique.
Les fonctions de vérification d'étanchéité, de nettoyage post-traitement et d'inspection contribuent à réduire le risque de contamination des zones sensibles des plaquettes par les produits chimiques de placage. Ceci est particulièrement important pour les plaquettes de grande valeur et les structures d'encapsulation complexes nécessitant plusieurs étapes de dépôt. Maintenance des scellages wap™
La conception HotSwap™ permet d'entretenir les composants SafeSeal hors de la chambre de traitement active. Le remplacement et la maintenance des joints peuvent ainsi être effectués sans interrompre le fonctionnement de la plateforme de placage.
Cette architecture vise à réduire les interruptions de production imprévues et à garantir une meilleure disponibilité des équipements dans les environnements de fabrication. ™ Chambre de traitement
La chambre de traitement VMax™ est conçue pour optimiser le contrôle du transfert de masse lors du dépôt électrochimique. Elle permet des vitesses de dépôt élevées tout en préservant la coplanarité et l'homogénéité intra-plaquette requises par les structures d'encapsulation avancées.
Le système de nettoyage intégré de la chambre permet de rincer la plaquette immédiatement après le processus de placage, contribuant ainsi à limiter les transferts de produits chimiques et à maintenir la propreté du processus. Configuration de la chambre
Contrairement aux plateformes qui exigent que les chambres de traitement soient installées uniquement par paires fixes, le système Nokota prend en charge la configuration individuelle des chambres.
Cela offre une plus grande flexibilité lors de la conception d'un système pour :
Développement des processus
qualification d'ingénieur
Production pilote
fabrication de produits mixtes
Conditionnement de semi-conducteurs à grand volume
La plateforme peut être étendue ou reconfigurée en fonction de l'évolution des besoins de production, permettant ainsi aux utilisateurs d'équilibrer l'investissement initial en équipement avec leurs besoins futurs en capacité. Applications d'emballage de transistors
Le système ECD Nokota d'Applied Materials peut être envisagé pour une large gamme d'applications au niveau de la plaquette et d'encapsulation avancée, notamment :
Placage en cuivre des piliers et des bossages
Le système peut être configuré pour les procédés de placage de piliers de cuivre, de billes de soudure et d'interconnexions connexes utilisés dans le flip-chip et l'encapsulation haute densité.
Conditionnement à l'échelle de la puce au niveau de la plaquette
Nokota prend en charge les étapes d'électroplacage utilisées dans les boîtiers à l'échelle de la puce au niveau de la plaquette, où des dimensions compactes, des performances électriques et une formation d'interconnexion contrôlée sont requises.
Emballage au niveau de la plaquette avec dérivation
La plateforme est adaptée aux procédés de dépôt de métal associés aux structures en éventail 2D et 3D, y compris les applications de couches de redistribution et d'interconnexion.
Traitement des vias traversants en silicium
Les configurations de dépôt de cuivre et d'autres métaux peuvent être utilisées pour les processus liés aux vias traversants en silicium et aux interposeurs, où le remplissage contrôlé des caractéristiques et l'uniformité du dépôt sont importants.
Intégration 2.5D et 3D
Le système prend en charge les exigences de métallisation utilisées dans les boîtiers à interposeur et autres schémas d'intégration avancés pour les applications de calcul haute performance, de communication, de capteurs, de dispositifs de puissance et d'automatisation. Avantages du système
Prend en charge plusieurs applications d'emballage avancées
Compatible avec plusieurs métaux de plaquage couramment utilisés
Disponible pour le traitement de plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm
Prend en charge les configurations de production de plaquettes de tailles mixtes
Architecture modulaire des chambres de traitement
Scellage et protection automatisés des plaquettes
fonctions d'inspection et de vérification des scellés
Rinçage intégré des plaquettes après métallisation
Adaptable au développement, à la production pilote et à la production en série
Convient aux séquences de placage monométallique et multimétallique
Configuration flexible pour la fabrication de produits mixtes
Capacités de processus typiques
Les capacités de traitement exactes d'un système ECD Nokota individuel dépendent de son matériel installé, des types de chambres, des réservoirs chimiques, des modules de manipulation des plaquettes et de la configuration logicielle.
Un système peut comprendre des combinaisons de :
chambres de placage électrochimique
modules de plaquage de cuivre
modules de plaquage étain-argent
modules de nickelage ou autres métaux
chambres de pré-humidification sous vide
Modules d'essorage-rinçage
Stations de maintenance des joints d'étanchéité
Systèmes de distribution et de gestion des produits chimiques
Modules de manipulation et de transfert de plaquettes
Pont ou matériel de conversion de la taille d'une plaquette
Avant d'acheter un système Nokota d'occasion ou remis à neuf, les acheteurs doivent vérifier le nombre de chambres, les chimies prises en charge, la configuration de la taille des plaquettes, les exigences de l'installation, la version du logiciel et les accessoires inclus.
Informations sur les équipements disponibles
Veuillez nous contacter en nous précisant vos spécifications de procédé et de production. Afin d'identifier la configuration ECD Nokota d'Applied Materials la plus adaptée, veuillez fournir les informations suivantes :
Taille de plaquette requise
Métal de placage cible
Processus d'emballage prévu
Nombre requis de chambres de traitement
application de développement ou de production
État de l'équipement souhaité
Pays d'installation
Calendrier de livraison requis
Les spécifications du système disponible, l'année de fabrication, la configuration de la chambre et les modules inclus peuvent varier en fonction des stocks actuels.
Inspection des équipements et assistance technique
Avant expédition, le matériel disponible peut être évalué en fonction de l'état et de la portée de chaque système. L'inspection peut comprendre la vérification des modules principaux, de la configuration de la chambre, des composants de manipulation des plaquettes, du matériel d'alimentation en produits chimiques et des accessoires fournis.
Des services supplémentaires peuvent être envisagés en fonction des exigences du projet, notamment :
Approvisionnement en équipements
Vérification de la configuration
Inspection sur site ou à distance
coordination de la désinstallation
Emballage d'exportation
Transports internationaux
Assistance à l'installation
Approvisionnement en pièces détachées
consultation technique
Pourquoi choisir le dispositif de dépôt électrochimique Nokota d'Applied Materials ?
Le Nokota ECD est conçu pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin de plus qu'un outil de placage conventionnel à processus unique.
Sa combinaison de configuration de chambre modulaire, de capacité multi-métaux, de technologie de protection des plaquettes et de prise en charge de multiples formats de plaquettes la rend particulièrement adaptée aux opérations d'emballage avancées avec des gammes de produits changeantes.
Pour les installations passant de la phase de développement technique à la production, la plateforme offre une solution pour accroître la capacité de traitement sans remplacer l'intégralité de l'architecture des équipements.
Foire aux questions
À quoi sert le dispositif Applied Materials Nokota ECD ?
Le système Nokota ECD est un système de dépôt électrochimique utilisé pour les procédés de métallisation dans les semi-conducteurs au niveau de la plaquette et dans les boîtiers semi-conducteurs avancés. Ses applications typiques incluent les plots, les piliers de cuivre, les structures de redistribution, les boîtiers à structure en éventail, les interposeurs et les vias traversants en silicium.
Quelles sont les tailles de plaquettes que le procédé ECD de Nokota peut traiter ?
La plateforme prend en charge le traitement de plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm. La capacité réelle de traitement de plaquettes d'un système spécifique doit être confirmée à partir de son matériel et de sa configuration. Est-il possible de déposer des métaux lourds sur le système Nokota ?
Selon les chambres de traitement et les systèmes chimiques installés, la plateforme peut prendre en charge le cuivre, l'étain-argent, le nickel, l'or, l'étain, le palladium et d'autres matériaux de placage. Un seul système peut-il prendre en charge plusieurs métaux de placage ?
Oui. Nokota est conçu pour prendre en charge les séquences de placage monométallique et multimétallique. Le nombre et le type exacts de métaux dépendent de la configuration de la chambre et du système d'injection des produits chimiques.
Ce système est-il adapté à la production d'emballages de pointe ?
Oui. La plateforme a été développée pour les applications d'encapsulation avancée et au niveau de la plaquette, notamment le flip chip, le fan-out, l'encapsulation à l'échelle de la puce au niveau de la plaquette, les interposeurs et les procédés liés aux TSV. Quels points doivent être vérifiés avant d'acheter un Nokota ECD d'occasion ?
Les éléments importants comprennent l'année de fabrication du système, son état opérationnel, la taille des plaquettes, le nombre de chambres, les métaux de placage pris en charge, la configuration des réservoirs chimiques, la version du logiciel, l'historique de maintenance, les exigences de l'installation et les pièces de rechange incluses.
Demande d'informations sur les matériaux appliqués Nokota ECD
Vous recherchez un système de dépôt électrochimique ECD Nokota™ d'Applied Materials ?
Veuillez nous indiquer la taille de plaquette souhaitée, le procédé de placage, le type de métal, la configuration de la chambre et le pays de destination. Notre équipe d'experts examinera la configuration système disponible et vous fournira les détails, photos et informations sur l'état du matériel, ainsi qu'un devis adapté à votre projet.
