เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติ ACCRETECH UF200R ขนาด 200 มม.

เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติ ACCRETECH UF200R มือสอง สำหรับเวเฟอร์ขนาด 120–200 มม. สอบถามข้อมูลเกี่ยวกับการกำหนดค่าเครื่อง สภาพ การจัดส่ง การซ่อมแซม และการสนับสนุนอะไหล่ได้

ACCRETECH UF200R เป็นเครื่องทดสอบเวเฟอร์อัตโนมัติความเร็วสูงที่พัฒนาขึ้นสำหรับการทดสอบทางไฟฟ้าของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบแยกชิ้นและอุปกรณ์อื่นๆ ที่เข้ากันได้บนเวเฟอร์ขนาด 5-8 นิ้ว เครื่องนี้จัดการการโหลดเวเฟอร์ การจัดตำแหน่ง การวางตำแหน่ง และการสัมผัสระหว่างหัววัดและการ์ดทดสอบ ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของการตั้งค่าการทดสอบที่สมบูรณ์

ส่วนประกอบต่างๆ เช่น หัวจับชิ้นงาน ตัวป้อนชิ้นงาน อินเทอร์เฟซหัวทดสอบ ตัวเลือกการจัดการเวเฟอร์ และสภาพแวดล้อมการทดสอบนั้น ขึ้นอยู่กับเครื่องจักรที่ใช้แล้วแต่ละเครื่องที่มีอยู่ สำหรับการสอบถามเบื้องต้น โปรดส่งรุ่นเครื่องตรวจสอบหรือเครื่องทดสอบที่คุณใช้อยู่ในปัจจุบัน ภาพถ่ายเวเฟอร์หรืออุปกรณ์ที่ชัดเจน และคำอธิบายสั้นๆ เกี่ยวกับกระบวนการทดสอบที่ต้องการหรือปัญหาของอุปกรณ์

ACCRETECH UF200R automatic 200 mm wafer prober

ข้อมูลเครื่องจักร ACCRETECH UF200R

ผู้ผลิต ACCRETECH / โตเกียว เซอิมิตสึ
แบบอย่าง ยูเอฟ200อาร์
ประเภทอุปกรณ์ เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์อัตโนมัติความเร็วสูง
ช่วงเวเฟอร์มาตรฐาน แผ่นเวเฟอร์ขนาด 5 ถึง 8 นิ้ว ตามข้อมูลรุ่นของผู้ผลิต
ตัวรองรับเวเฟอร์ (ตัวเลือกเสริม) การทดสอบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว เมื่อติดตั้งการกำหนดค่าที่จำเป็นแล้ว
การใช้งานอุปกรณ์ทั่วไป อุปกรณ์ MEMS แบบแยกส่วน พลังงาน ตรรกะ และเข้ากันได้
หน้าที่หลัก การจัดการเวเฟอร์ การจัดแนว การวางตำแหน่ง และการสัมผัสระหว่างหัววัดและการ์ดสำหรับการทดสอบทางไฟฟ้า
เงื่อนไข อุปกรณ์ทดสอบเซมิคอนดักเตอร์มือสอง
การกำหนดค่าทดสอบ ขึ้นอยู่กับเครื่องทดสอบ หัวทดสอบ การ์ดโพรบ หัวจับ และอินเทอร์เฟซที่ติดตั้ง
ขอบเขตการส่งมอบ อ้างอิงจากใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันแล้ว
สนับสนุน การตรวจสอบข้อบกพร่องเบื้องต้น การจับคู่ชิ้นส่วน และการหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซม
การส่งสินค้า บรรจุภัณฑ์เพื่อการส่งออกและการจัดส่งทั่วโลก

ความเข้ากันได้ของเวเฟอร์และการใช้งานทดสอบ

ชื่อรุ่น UF200R และความสามารถในการรองรับเวเฟอร์ขนาด 200 มม. ไม่ได้เป็นเครื่องยืนยันว่าเครื่องจักรที่มีอยู่จะสามารถทำการทดสอบเวเฟอร์ชนิดนั้นได้ ความเข้ากันได้ยังขึ้นอยู่กับขนาดและสภาพของเวเฟอร์ รูปแบบของอุปกรณ์ การ์ดโพรบ เครื่องทดสอบ อินเทอร์เฟซหัวทดสอบ การกำหนดค่าหัวจับ และสภาพแวดล้อมการทดสอบทางไฟฟ้าที่ต้องการด้วย

สำหรับการพูดคุยครั้งแรกนั้น เราต้องการเพียงข้อมูลพื้นฐานเท่านั้น:

  • หากต้องการใช้ UF200R แทนเครื่องเวเฟอร์หรือเครื่องทดสอบรุ่นปัจจุบันของคุณ
  • ภาพถ่ายที่ชัดเจนของแผ่นเวเฟอร์ อุปกรณ์ หรือชุดทดสอบกระแสไฟฟ้า
  • รุ่นการ์ดวัดหรือหัวทดสอบที่ข้อมูลนี้พร้อมใช้งาน
  • คำอธิบายโดยย่อเกี่ยวกับกระบวนการทดสอบที่ต้องการหรือปัญหาของอุปกรณ์ในปัจจุบัน

แผนผังเวเฟอร์โดยละเอียด ภาพวาดส่วนต่อประสาน ข้อกำหนดด้านอุณหภูมิ และพารามิเตอร์การทดสอบ สามารถตรวจสอบได้ในภายหลัง เมื่อเครื่องจักรที่มีอยู่เหมาะสมกับโครงการ

เครื่องทดสอบ การ์ดวัด และสภาพแวดล้อมการทดสอบ

UF200R จะจัดวางอุปกรณ์แต่ละชิ้นไว้ใต้แผงโพรบที่เข้ากันได้ ในขณะที่การวัดทางไฟฟ้าจะดำเนินการโดยเครื่องทดสอบที่เชื่อมต่ออยู่ ดังนั้น เซลล์ทดสอบที่ใช้งานได้จึงต้องอาศัยโพรบ แผงโพรบ หัวทดสอบ ตัวควบคุม เครื่องทดสอบ และการสื่อสารซอฟต์แวร์ที่ทำงานร่วมกันอย่างถูกต้อง

แพลตฟอร์มรุ่นนี้มีตัวเลือกสำหรับการทดสอบที่อุณหภูมิต่ำและสูง การจัดการเวเฟอร์ขนาดสี่นิ้ว การจัดการเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวหรือบางพิเศษ การจัดการ MEMS การวัดไมโครกระแสไฟฟ้า การทดสอบแรงดันสูง และการตรวจสอบรอยโพรบ ตัวเลือกเหล่านี้เป็นเพียงตัวเลือกในระดับโมเดล ไม่ใช่ฟังก์ชันที่ได้รับการยืนยันแล้วของ UF200R ทุกเครื่องที่ใช้งาน

รูปแบบและการจัดส่งของ UF200R ที่มีให้เลือก

เครื่องตรวจสอบเวเฟอร์ ACCRETECH UF200R แต่ละเครื่องอาจแตกต่างกันในด้านการตั้งค่าตัวโหลด อุณหภูมิของหัวจับ การรองรับเวเฟอร์ขนาดสี่นิ้ว กลไกการถ่ายโอนเวเฟอร์แบบพิเศษ การตรวจสอบรอยโพรบ ฟังก์ชันเครือข่าย และตัวเลือกการทดสอบทางไฟฟ้า ก่อนการซื้อ ควรตรวจสอบเครื่องที่มีอยู่เพื่อยืนยันว่าการจัดการเวเฟอร์และการกำหนดค่าการทดสอบจริงนั้นเหมาะสมกับอุปกรณ์และเครื่องทดสอบที่ต้องการหรือไม่ ขอบเขตการส่งมอบขั้นสุดท้ายจะขึ้นอยู่กับใบเสนอราคาและรายการอุปกรณ์ที่ได้รับการยืนยันเท่านั้น เครื่องทดสอบ หัวทดสอบ กลไกการถ่ายโอน การ์ดโพรบ เครื่องทำความเย็น ตลับ คอมพิวเตอร์ ส่วนประกอบอินเทอร์เฟซ และอุปกรณ์สาธารณูปโภคภายนอกจะรวมอยู่ด้วยก็ต่อเมื่อระบุไว้โดยเฉพาะเท่านั้น

การรับ การเริ่มต้น และการตรวจสอบเวเฟอร์เบื้องต้น

ควรตรวจสอบและทดสอบ UF200R เป็นขั้นตอนก่อนที่จะนำเวเฟอร์ที่มีมูลค่าสูงเข้าสู่กระบวนการผลิต

  1. ตรวจสอบบรรจุภัณฑ์ ตู้เครื่องจักร เครื่องป้อนเวเฟอร์ แท่นวาง หัวจับ แผงควบคุม และกลไกการเคลื่อนย้ายที่มองเห็นได้
  2. ก่อนเคลื่อนย้ายอุปกรณ์ โปรดถ่ายรูปทุกร่องรอยการกระแทก ชิ้นส่วนหลวม สายเคเบิลเสียหาย หรือชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ผิดตำแหน่ง
  3. เปรียบเทียบเครื่องจักร ชิ้นส่วนตัวโหลด อุปกรณ์จับยึด อินเทอร์เฟซ และอุปกรณ์เสริมที่ได้รับ กับรายการส่งมอบที่ได้รับการยืนยันแล้ว
  4. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าหัวจับชิ้นงาน แท่นวางแผ่นเวเฟอร์ ส่วนประกอบการจัดตำแหน่ง และกลไกการเคลื่อนย้ายยังคงยึดแน่นดีหลังจากการขนส่ง
  5. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าเครื่องจักรนั้นต้องการแหล่งจ่ายไฟฟ้า ระบบสายดิน ระบบลมอัด ระบบสุญญากาศ ระบบระบายความร้อน และอุปกรณ์อื่นๆ ที่จำเป็น
  6. เริ่มการทำงานของตัวควบคุมและบันทึกข้อความแจ้งเตือนทั้งหมดก่อนที่จะรีเซ็ตระบบหรือเปลี่ยนแปลงการตั้งค่า
  7. ทดสอบการทำงานของกลไกการโหลด การจัดตำแหน่ง และแท่นวางโดยไม่ต้องมีแผ่นเวเฟอร์สำหรับการผลิต และสังเกตการเคลื่อนที่ของกลไกเหล่านั้น
  8. หลังจากการทำงานพื้นฐานมีเสถียรภาพแล้ว ให้ใช้เวเฟอร์ที่ไม่ใช่เวเฟอร์สำหรับการผลิตจริงเพื่อตรวจสอบการโหลด การจัดตำแหน่ง การเลื่อน และการขนถ่าย

จากนั้นควรเชื่อมต่อและตรวจสอบการ์ดโพรบ หัวทดสอบ และเครื่องทดสอบแยกกันก่อนประเมินผลการทดสอบทางไฟฟ้า หยุดการทดสอบหากการจัดการแผ่นเวเฟอร์ไม่เสถียร การเคลื่อนที่ของแท่นวางผิดปกติ เกิดการรบกวนทางกล หรือสัญญาณเตือนเดิมปรากฏขึ้นซ้ำๆ

ผลการทดสอบ การจัดการข้อผิดพลาด และการสนับสนุนอะไหล่

ผลลัพธ์ทางไฟฟ้าที่ไม่เสถียรอาจเกี่ยวข้องกับแผงวงจรโพรบ ตำแหน่งหน้าสัมผัส การจัดแนวแผ่นเวเฟอร์ สภาพของหัวจับ การเชื่อมต่อหัวทดสอบ การควบคุมอุณหภูมิ การตั้งค่าเครื่องทดสอบ หรือการสื่อสารระหว่างระบบที่เชื่อมต่อกัน

ข้อผิดพลาดในการโหลดเวเฟอร์ ข้อผิดพลาดในการจัดตำแหน่ง ปัญหาเกี่ยวกับระบบสุญญากาศ ปัญหาเกี่ยวกับแผนผังเวเฟอร์ และรอยหัววัดที่ไม่สม่ำเสมอ ควรได้รับการตรวจสอบก่อนดำเนินการผลิตต่อไป บันทึกข้อความแจ้งเตือนและขั้นตอนของรอบการทดสอบที่เกิดปัญหาขึ้นก่อนที่จะรีเซ็ตเครื่อง

ภาพถ่ายของแผ่นเวเฟอร์ การ์ดวัด หัวจับ การเชื่อมต่อหัวทดสอบ และหน้าจอแสดงสัญญาณเตือน พร้อมด้วยวิดีโอการใช้งานสั้นๆ (ถ้ามี) สามารถเป็นจุดเริ่มต้นที่เป็นประโยชน์สำหรับการตรวจสอบได้

ทีมงานของเราสามารถให้ความช่วยเหลือในการวิเคราะห์ปัญหาเบื้องต้น การระบุชิ้นส่วน การจับคู่ชิ้นส่วนอะไหล่ และการหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซม นอกจากนี้ยังสามารถตรวจสอบเซ็นเซอร์ มอเตอร์ ตัวขับ แผงวงจร สายเคเบิล ชิ้นส่วนนิวแมติก ชิ้นส่วนสุญญากาศ ชุดประกอบตัวโหลด ชิ้นส่วนแท่นวาง และชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องกับหัวจับได้ หากมีให้บริการ

คำถามที่พบบ่อย

เครื่อง ACCRETECH UF200R สามารถทดสอบเวเฟอร์ของเราได้หรือไม่?

ขึ้นอยู่กับขนาดของเวเฟอร์ รูปแบบของอุปกรณ์ เครื่องทดสอบ หัวทดสอบ การ์ดโพรบ การกำหนดค่าแท่นวาง และเงื่อนไขการทดสอบที่ต้องการ โปรดส่งข้อมูลเวเฟอร์และข้อมูลการตั้งค่าการทดสอบเบื้องต้นมาเพื่อตรวจสอบก่อน

เครื่อง UF200R รองรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วหรือไม่?

การทดสอบเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้วถูกเสนอเป็นตัวเลือกเสริมสำหรับเครื่อง UF200R ต้องตรวจสอบการกำหนดค่าการโหลดและการจัดการที่ต้องการบนเครื่องที่มีอยู่

เครื่อง UF200R สามารถจัดการกับเวเฟอร์ที่บิดเบี้ยวหรือบางเป็นพิเศษได้หรือไม่?

มีกลไกการถ่ายโอนแบบพิเศษสำหรับงานเหล่านี้ แต่ไม่ควรคิดว่าทุกเครื่องจะมีกลไกนี้ติดตั้งอยู่ ต้องตรวจสอบสภาพของเวเฟอร์และการกำหนดค่าการจัดการจริงด้วย

มีการ์ดทดสอบหรือการ์ดตรวจสอบรวมอยู่ด้วยหรือไม่?

เฉพาะอุปกรณ์ทดสอบ หัวทดสอบ อุปกรณ์ควบคุม การ์ดโพรบ และส่วนประกอบอินเทอร์เฟซที่ระบุไว้โดยเฉพาะในใบเสนอราคาหรือขอบเขตการส่งมอบที่ได้รับการยืนยันเท่านั้นที่จะรวมอยู่ในรายการนี้

คุณสามารถให้ความช่วยเหลือเกี่ยวกับปัญหาการโหลด การจัดแนว หรือการสัมผัสได้หรือไม่?

ใช่ค่ะ กรุณาส่งรุ่นเครื่อง ข้อมูลสัญญาณเตือน รูปถ่ายเวเฟอร์และการ์ดตรวจสอบ และวิดีโอการทำงาน (ถ้ามี) มาให้เรา เราสามารถช่วยตรวจสอบข้อผิดพลาดเบื้องต้น การจับคู่ชิ้นส่วน และหารือเกี่ยวกับการซ่อมแซมได้ค่ะ

ติดต่อเราเกี่ยวกับ ACCRETECH UF200R

โปรดส่งรุ่นเครื่องทดสอบเวเฟอร์หรือเครื่องทดสอบชิ้นงานปัจจุบันของคุณ รูปถ่ายเวเฟอร์หรืออุปกรณ์ และคำอธิบายสั้น ๆ เกี่ยวกับข้อกำหนดการทดสอบหรือปัญหาของอุปกรณ์ เราจะตรวจสอบใบสมัครเบื้องต้นก่อน จากนั้นจึงดำเนินการต่อด้วยรายละเอียดเกี่ยวกับแผงวงจรทดสอบ อินเทอร์เฟซหัวทดสอบ การกำหนดค่าเครื่องจักร ชิ้นส่วนอะไหล่ หรือรายละเอียดการซ่อมแซมที่จำเป็น

ต้องการสินค้าสั่งทำพิเศษ สารละลาย?

ทีมวิศวกรของเราพร้อมให้ความช่วยเหลือคุณในการผสานรวม DB-800 เข้ากับสายการผลิตของคุณ

ติดต่อฝ่ายขาย
Expanded View