เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมา

อาจช่วยได้เมื่อการปนเปื้อนอินทรีย์ที่เลือกไว้ สภาพออกไซด์ หรือพลังงานพื้นผิวต่ำส่งผลกระทบต่อกระบวนการ ควรตรวจสอบวัสดุของผลิตภัณฑ์ แหล่งที่มาของการปนเปื้อน และวิธีการยึดติดก่อนเลือกอุปกรณ์หรือสูตร

ระบบการผลิตแบบเป็นชุดจะป้อนผลิตภัณฑ์เข้าสู่ห้องโดยใช้ถาด ชั้นวาง หรือตัวลำเลียง และมักถูกเลือกใช้เนื่องจากมีความยืดหยุ่น ระบบอัตโนมัติจะเพิ่มการจัดการแบบแถบ แบบแม็กกาซีน แบบแผ่นเวเฟอร์ หรือแบบสายพานลำเลียง เพื่อให้ได้การผลิตที่ทำซ้ำได้และบูรณาการเข้ากับโรงงาน

ชนิดของก๊าซขึ้นอยู่กับสิ่งปนเปื้อน วัสดุพื้นผิว ปฏิกิริยาที่ต้องการ และความไวของผลิตภัณฑ์ ความเข้ากันได้ของเครื่องจักรยังขึ้นอยู่กับท่อส่งก๊าซที่ติดตั้ง ตัวควบคุมการไหล วัสดุของห้อง ระบบควบคุมความปลอดภัย และระบบไอเสียด้วย

ไม่ พลาสมามีประสิทธิภาพสำหรับสารตกค้างอินทรีย์หลายชนิดและงานกระตุ้นพื้นผิว แต่สำหรับอนุภาค การปนเปื้อนของไอออน และคราบสกปรกหนา อาจยังคงต้องใช้กระบวนการทำความสะอาดแบบเปียกหรือการทำความสะอาดเชิงกลอยู่ดี

ตรวจสอบรุ่น ห้องสุญญากาศ เครื่องกำเนิดคลื่นวิทยุ อิเล็กโทรด ระบบควบคุมแก๊ส ปั๊มสุญญากาศ เครื่องป้อนวัสดุ ซอฟต์แวร์ ประวัติการทำงาน ความสะอาดของห้องสุญญากาศ บันทึกการบำรุงรักษา อุปกรณ์ประกอบ และความต้องการด้านสาธารณูปโภคของโรงงาน

โปรดระบุผลิตภัณฑ์เป้าหมาย ขนาด การปนเปื้อน หรือลักษณะพื้นผิวที่ต้องการตรวจสอบ กระบวนการถัดไป ระบบอัตโนมัติที่ต้องการ เส้นทางการไหลของก๊าซ ปริมาณการผลิต สภาพของอุปกรณ์ และประเทศปลายทาง หมายเลขรุ่นของอุปกรณ์จะเป็นประโยชน์ แต่ไม่จำเป็นต้องระบุก็ได้