เอ เลื่อยเวเฟอร์เรียกอีกอย่างว่า เลื่อยหั่นเวเฟอร์ หรือ เลื่อยหั่นลูกเต๋าเครื่องตัดเวเฟอร์เป็นเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูง ทำหน้าที่จัดตำแหน่งเวเฟอร์ ควบคุมเส้นทางการตัด และใช้ใบมีดความเร็วสูงหรือวิธีการตัดแบบอื่นที่มีคุณสมบัติเหมาะสม เพื่อแยกเวเฟอร์ออกเป็นชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์แต่ละชิ้น ผลลัพธ์โดยรวมขึ้นอยู่กับเครื่องจักร แกนหมุน ใบมีด โต๊ะจับชิ้นงาน เทป เฟรม ระบบวิชั่น ระบบส่งน้ำ และการตั้งค่ากระบวนการที่ทำงานร่วมกันเป็นระบบเดียว
การกำหนดตำแหน่งที่แม่นยำระบบการมองเห็น การจัดแนว และการเคลื่อนไหว ช่วยให้การตัดอยู่ตรงกลางถนนตามที่ต้องการ
การตัดแบบควบคุมความเร็วรอบแกนหมุน อัตราการป้อน สภาพใบมีด และความลึกของการตัด ล้วนส่งผลต่อคุณภาพของร่องตัดและคมตัด
การยึดชิ้นงานที่มั่นคงโครง, เทป, โต๊ะจับชิ้นงาน และเครื่องดูดฝุ่น ช่วยป้องกันการเคลื่อนไหวระหว่างรอบการตัด
การทำความสะอาดและการตรวจสอบน้ำ การกำจัดเศษวัสดุ การทำให้แห้ง และการตรวจสอบรอยตัด ช่วยปกป้องแม่พิมพ์ขั้นสุดท้าย
เลื่อยตัดแผ่นบางเทียบกับเลื่อยตัดลูกเต๋า: ทั้งสองคำนี้มักใช้เรียกเครื่องตัดเซมิคอนดักเตอร์ความแม่นยำสูงที่ใช้สำหรับการแยกแผ่นเวเฟอร์ ความเหมาะสมที่แน่นอนขึ้นอยู่กับชิ้นงาน ประเภทการตัด การกำหนดค่าแกนหมุน ระบบอัตโนมัติ และอุปกรณ์เสริมที่ติดตั้ง