ระบบชุบโลหะด้วยไฟฟ้าสำหรับสารกึ่งตัวนำ

เทคโนโลยีนี้จะทำการวางชั้นโลหะในปริมาณที่ควบคุมได้ลงบนแผ่นเวเฟอร์หรือวัสดุรองรับที่เกี่ยวข้อง การใช้งานทั่วไป ได้แก่ เสาทองแดง จุดเชื่อมต่อบัดกรี ชั้นกระจายสัญญาณ แผ่นสัมผัส การเติม TSV หรือ TGV โครงสร้าง MEMS และชั้นโลหะพิเศษต่างๆ

เครื่องมือแบบใช้มือหรือขนาดกะทัดรัดมักใช้ในงานวิจัยและพัฒนา การพัฒนาสารเคมี และงานปริมาณน้อย ระบบอัตโนมัติเพิ่มความสามารถในการจัดการเวเฟอร์ การกำหนดสูตร การเตรียมการชุบ การล้าง การทำให้แห้ง การตรวจสอบย้อนกลับ และความสามารถในการผลิตหลายห้องพร้อมกัน

อาจเป็นไปได้ แต่ไม่เพียงแค่ดูจากชื่อรุ่นเท่านั้น โลหะต่างชนิดกันอาจต้องการห้อง ถัง ตัวกรอง ท่อ วัสดุที่เข้ากันได้ และกลยุทธ์การควบคุมการปนเปื้อนที่แตกต่างกัน ต้องตรวจสอบการกำหนดค่าที่ติดตั้งแล้ว

เริ่มต้นด้วยรูปทรงเรขาคณิตของชิ้นงาน ความหนาเป้าหมาย ขนาดเวเฟอร์ สภาพของชั้นเริ่มต้น โลหะ เคมี เป้าหมายความสม่ำเสมอ และปริมาณการผลิต ข้อมูลเหล่านี้จะกำหนดการออกแบบเซลล์ กระบวนการไหล การควบคุมกระแสไฟฟ้า และเส้นทางการทำงานอัตโนมัติที่เหมาะสม

ตรวจสอบห้องต่างๆ, ขั้วบวก, ตัวยึดแผ่นเวเฟอร์, ส่วนประกอบซีล, หุ่นยนต์, ถังสารเคมี, ปั๊ม, ระบบกรอง, ท่อประปา, ซอฟต์แวร์, สูตรการผลิต, ระบบสาธารณูปโภค, สภาพการกัดกร่อน, ประวัติการบำรุงรักษา และสถานะการกำจัดสิ่งปนเปื้อน

โปรดระบุโครงสร้างชุบเป้าหมาย โลหะหรือชั้นโลหะ ขนาดเวเฟอร์ ความหนาเป้าหมาย ขั้นตอนการผลิต ระบบอัตโนมัติที่ต้องการ รุ่นหรือผู้ผลิตที่ต้องการ เงื่อนไขที่ต้องการ จำนวน และประเทศปลายทาง