อุปกรณ์ติดเทปแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์จะติดเทปตัดหรือเทปป้องกันลงบนแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ และหากจำเป็น ก็จะติดกรอบตัดด้วย เครื่องจักรจะรองรับแผ่นเวเฟอร์ก่อนการตัด หรือปกป้องพื้นผิวที่มีลวดลายก่อนการเจียรด้านหลัง ช่วยควบคุมฟองอากาศ รอยย่น การจัดแนว และความเสียหายของแผ่นเวเฟอร์

เทปสำหรับติดลูกเต๋า เครื่องเคลือบเทปขัดเงาด้านหลัง จากโหมดแมนนวลเป็นโหมดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ การติดตั้งแบบสุญญากาศและแบบไม่สัมผัส
ก่อนที่จะเปรียบเทียบโมเดลต่างๆ

สามรายละเอียดสำคัญที่จะช่วยให้คุณเลือกเครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ที่เหมาะสม

เริ่มต้นด้วยเงื่อนไขของกระบวนการมากกว่ายี่ห้อของเครื่องจักร รายละเอียดทั้งสามนี้จะช่วยให้คุณจำแนกได้อย่างรวดเร็วว่าคุณต้องการเครื่องติดเทปแบบตัดละเอียด เครื่องเคลือบเทปแบบเจียรด้านหลัง ระบบลูกกลิ้ง หรือโซลูชันการติดเวเฟอร์แบบสุญญากาศและแบบไม่สัมผัส

01 / เส้นทางการประมวลผล ด้านเทปและการดำเนินการถัดไป

ตรวจสอบว่าแผ่นเวเฟอร์ได้รับการปกป้องก่อนการเจียรด้านหลัง หรือติดตั้งบนเฟรมก่อนการตัดหรือไม่

02 / สภาพเวเฟอร์ เส้นผ่านศูนย์กลาง ความหนา และพื้นผิว

แผ่นเวเฟอร์บาง โค้งงอ เป็นรอยบุ๋ม แผ่นเวเฟอร์ MEMS, TAIKO, SiC หรือ GaN อาจต้องการหัวจับและระบบควบคุมแรงดันที่แตกต่างกัน

03 / การตั้งค่าการผลิต ระดับเทป เฟรม และระบบอัตโนมัติ

ระบุรูปแบบเทป ขนาดเฟรม การโหลดแบบแมนนวลหรืออัตโนมัติ วิธีการใช้งานคาสเซ็ต และข้อกำหนดของสูตรการผลิต

เลือกตามขั้นตอนถัดไป

ขั้นตอนต่อไปของคุณคือการบดขยี้หรือการสับเปลี่ยน?

ชื่ออุปกรณ์เดียวกันอาจใช้อธิบายงานติดเทปสองแบบที่แตกต่างกันได้ ก่อนที่จะเปรียบเทียบยี่ห้อ ระดับการทำงานอัตโนมัติ หรือคุณสมบัติของเครื่องจักร ให้ระบุตำแหน่งที่ติดเทปและขั้นตอนต่อไปให้ชัดเจนก่อน

การติดเทปสำหรับตัดก่อนการตัดแผ่นเวเฟอร์

เครื่องจักรจะติดเทปสำหรับตัดลงบนโครง และวางด้านหลังของแผ่นเวเฟอร์ลงบนเทป จากนั้นแผ่นเวเฟอร์ที่ติดตั้งแล้วจะเคลื่อนไปยังเลื่อยตัด เลเซอร์แยกแผ่น หรือกระบวนการตัดอื่นๆ

  • ใส่เครื่องหั่นลูกเต๋าและเทป
  • จัดวางแผ่นเวเฟอร์ให้ตรงกับกรอบ
  • ลามิเนตด้วยแรงดันหรือสุญญากาศที่ควบคุมได้
  • ตัดเทปออกแล้วตรวจสอบดูว่ามีฟองอากาศหรือไม่

การเคลือบด้วยเทปกาวป้องกันก่อนการเจียรด้านหลัง

เครื่องเคลือบเทปแบบขัดด้านหลังจะติดเทปป้องกันลงบนพื้นผิวเวเฟอร์ที่มีลวดลาย เทปนี้จะช่วยปกป้องอุปกรณ์และโครงสร้างบนพื้นผิวขณะที่ด้านหลังของเวเฟอร์ถูกขัดหรือทำให้บางลง

  • ใส่แผ่นเวเฟอร์ที่มีลวดลายเข้าไป
  • ติดเทป BG ที่ด้านข้างของอุปกรณ์
  • ควบคุมแรงดันลูกกลิ้ง ความร้อน หรือสุญญากาศ
  • ตัดขอบให้เรียบร้อยก่อนนำไปบดเป็นแผ่นบางๆ
อย่าเลือกจากชื่อเพียงอย่างเดียวเครื่องติดเทปแบบตัดแบ่งและเครื่องเคลือบเทปแบบขัดด้านหลังอาจปรากฏอยู่ภายใต้หัวข้อ “เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์” เหมือนกัน แต่เครื่องมือทั้งสองอาจใช้หัวจับ ใบมีด เส้นทางเดินเทป และระบบการจัดการที่แตกต่างกัน ดังนั้นจึงต้องตรวจสอบทิศทางของกระบวนการก่อนใช้งาน
การรวบรวมอุปกรณ์ปัจจุบัน

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์ที่มีจำหน่าย

เลือกชมอุปกรณ์การติดตั้งและเคลือบเทปเวเฟอร์รุ่นปัจจุบัน เปิดหน้าผลิตภัณฑ์เพื่อตรวจสอบรายละเอียดของรุ่น จากนั้นติดต่อเราเพื่อยืนยันว่าเครื่องจักรนั้นถูกกำหนดค่าสำหรับการตัดเทป การเจียรเทปป้องกันด้านหลัง การติดตั้งแบบลูกกลิ้ง การติดตั้งแบบสุญญากาศ หรือกระบวนการอื่นๆ หรือไม่

หากต้องการรุ่นที่ไม่มีอยู่ในรายการ โปรดส่งชื่อผู้ผลิตและหมายเลขรุ่นแบบเต็มมาให้ เราสามารถตรวจสอบการจัดหาเครื่องติดแผ่นเวเฟอร์แบบใช้มือ แบบกึ่งอัตโนมัติ แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ และแบบสุญญากาศสำหรับโครงการต่างๆ ได้เช่นกัน

SINTAIKE STK-6020 Wafer Mounter | Semiconductor Tape Lamination System

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ SINTAIKE STK-6020 | ระบบเคลือบเทปสำหรับเซมิคอนดักเตอร์

สำรวจเครื่องเตรียมแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ SINTAIKE STK-6020 สำหรับการเตรียมการเจียรด้านหลัง เรียนรู้เทคโนโลยีการเคลือบเทปเวเฟอร์...

SINTAIKE STK-7080 Wafer Mounter | Non-Contact Vacuum Lamination System

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ SINTAIKE STK-7080 | ระบบเคลือบสุญญากาศแบบไม่สัมผัส

สำรวจเครื่องติดตั้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ SINTAIKE STK-7080 ที่ใช้เทคโนโลยีการเคลือบสุญญากาศแบบไม่สัมผัส ออกแบบมาสำหรับเวเฟอร์บาง...

Nitto DR8500III Wafer Mounter | 8-Inch Semiconductor Tape Applicator

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์ Nitto DR8500III | เครื่องติดเทปสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ขนาด 8 นิ้ว

เรียนรู้เกี่ยวกับเครื่องติดตั้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ Nitto DR8500III สำหรับการใช้งานเทปป้องกันเวเฟอร์ขนาด 200 มม. สำรวจคุณสมบัติ...

Nitto DR3000III Wafer Mounter | Semiconductor Wafer Mounting System

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์ Nitto DR3000III | ระบบติดตั้งเวเฟอร์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์

เรียนรู้เกี่ยวกับเทคโนโลยีเครื่องติดตั้งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ Nitto DR3000III กระบวนการติดตั้งเวเฟอร์ การใช้งานเทป UV และคุณสมบัติเฉพาะอื่นๆ...

ระดับการทำงานอัตโนมัติ

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบแมนนวล กึ่งอัตโนมัติ หรืออัตโนมัติเต็มรูปแบบ?

ผลการค้นหาและข้อมูลผู้ผลิตมักจะแยกเครื่องติดตั้งเวเฟอร์ตามระดับการทำงานอัตโนมัติ การเลือกเครื่องที่เหมาะสมนั้นขึ้นอยู่กับปริมาณการผลิต ความเสี่ยงในการจัดการเวเฟอร์ การควบคุมสูตรการผลิต และระดับการมีส่วนร่วมของผู้ปฏิบัติงานที่ยอมรับได้

การผลิตปริมาณมาก

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ

ระบบอัตโนมัติสามารถโหลดเวเฟอร์และเฟรม จัดตำแหน่งชิ้นงาน ติดตั้งเทป ตัดหรือใช้เทปที่ตัดไว้ล่วงหน้า ตรวจสอบผลลัพธ์ และส่งเวเฟอร์ที่ติดตั้งแล้วกลับไปยังตลับหรือแม็กกาซีน ระบบเหล่านี้ถูกเลือกใช้เมื่อต้องการความแม่นยำ ประสิทธิภาพการทำงาน การควบคุมสูตรการผลิต และการลดการจัดการด้วยมือ

  • การจัดการเวเฟอร์แบบตลับหรือแบบโหลดพอร์ต
  • การจัดเรียงอัตโนมัติและการจัดการสูตรอาหาร
  • ระบบป้อนเทป การตัด และการขนถ่ายแบบครบวงจร
  • ตัวเลือกสำหรับเวเฟอร์บาง, DAF, UV หรือการตรวจสอบย้อนกลับ
ยืดหยุ่นและกะทัดรัด

เครื่องมือติดตั้งเวเฟอร์แบบแมนนวล

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบใช้มือมักใช้ในห้องปฏิบัติการ สายการผลิตนำร่อง สภาพแวดล้อมการซ่อมแซม และการผลิตในปริมาณน้อย ผู้ปฏิบัติงานจะใส่เวเฟอร์ เฟรม และเทป และควบคุมกระบวนการติดตั้งและตัดส่วนใหญ่

ระบบอัตโนมัติที่สมดุล

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบกึ่งอัตโนมัติ

ระบบกึ่งอัตโนมัติโดยทั่วไปจะยังคงใช้การโหลดด้วยมือ ในขณะที่ทำการป้อนเทป การเคลือบ การควบคุมแรงดัน การตัด หรือขั้นตอนการจัดแนวที่เลือกไว้โดยอัตโนมัติ ระบบเหล่านี้เหมาะสำหรับโรงงานที่ต้องการความสม่ำเสมอที่ดีขึ้นโดยไม่ต้องใช้ระบบแบบเต็มรูปแบบตั้งแต่ตลับเทปถึงตลับเทป

วิธีการติดตั้งและสภาพของเวเฟอร์

คุณควรพิจารณาใช้การติดตั้งเวเฟอร์แบบสุญญากาศหรือแบบไม่สัมผัสเมื่อใด?

การติดตั้งลูกกลิ้งแบบมาตรฐานเป็นเรื่องปกติ แต่พื้นผิว ความหนา และรูปร่างของเวเฟอร์อาจต้องใช้วิธีการที่แตกต่างออกไป ระบบสุญญากาศและระบบลดการสัมผัสจะถูกนำมาใช้เมื่อแรงกดโดยตรง อากาศที่ติดอยู่ หรือการสัมผัสพื้นผิวโดยตรงก่อให้เกิดความเสี่ยงเพิ่มเติม

ลูกกลิ้ง

การติดตั้งลูกกลิ้งมาตรฐาน

เหมาะสำหรับแผ่นเวเฟอร์ทั่วไปหลายประเภท เมื่อควบคุมแรงกดแล้วสามารถติดเทปได้อย่างสม่ำเสมอโดยไม่ทำให้พื้นผิวเสียหาย

เครื่องดูดฝุ่น

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์สุญญากาศ

การติดตั้งแบบสุญญากาศสามารถช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการระบายอากาศและความสม่ำเสมอ พร้อมทั้งลดการสัมผัสโดยตรงของลูกกลิ้งกับโครงสร้างที่บอบบาง

ผอม / ไทโกะ

เวเฟอร์บาง หรือ เวเฟอร์ไทโกะ

แผ่นเวเฟอร์บางพิเศษและโปรไฟล์ TAIKO อาจต้องการการรองรับพิเศษ ขั้นตอนการถ่ายโอนที่น้อยลง และการจัดการขอบที่ควบคุมได้

บัมพ์/เมมเซส

เวเฟอร์แบบนูนหรือแบบมีโครงสร้าง

พื้นผิวที่ไม่เรียบ โครงสร้าง MEMS คุณสมบัติด้านหลัง หรือวัสดุที่เปราะบาง อาจต้องใช้หัวจับแบบไม่สัมผัสและสูตรการผลิตเฉพาะ

รายการตรวจสอบการซื้อ

คุณควรตรวจสอบอะไรบ้างก่อนซื้อเครื่องติดเวเฟอร์?

ใบเสนอราคาที่ดีควรเริ่มต้นด้วยกระบวนการผลิต ไม่ใช่แค่ชื่อรุ่น โปรดแจ้งข้อมูลที่คุณมีอยู่แล้ว เพื่อให้เราสามารถตรวจสอบประเภทเครื่องจักร วิธีการติดตั้ง และการกำหนดค่าอุปกรณ์จริงได้

สำหรับอุปกรณ์มือสองหรืออุปกรณ์ที่ได้รับการซ่อมแซมใหม่ โบรชัวร์เดิมไม่สามารถยืนยันการตั้งค่าเครื่องจักรในปัจจุบันได้ ควรตรวจสอบหัวจับชิ้นงาน เส้นทางเดินเทป ใบมีดตัด ซอฟต์แวร์ ตัวเลือกการจัดการ และอุปกรณ์เสริมที่ให้มากับตัวเครื่องจริง
01
กระบวนการและขั้นตอนต่อไป

การเตรียมการตัด การป้องกันการเจียรด้านหลัง การติดตั้งใหม่ หรือกระบวนการเทปอื่นๆ

ทำไมเรื่องนี้ถึงสำคัญ

มันเป็นตัวกำหนดว่าด้านใดจะได้รับเทป และว่ามีการใช้กรอบลูกเต๋าหรือไม่

02
เวเฟอร์และเฟรม

เส้นผ่านศูนย์กลาง ความหนา วัสดุ รูปทรง TAIKO ความโค้ง ส่วนนูน ขนาดเฟรม และมาตรฐานเฟรม

ทำไมเรื่องนี้ถึงสำคัญ

รายละเอียดเหล่านี้ส่งผลต่อการออกแบบหัวจับ การจัดแนว แรงดัน และวิธีการใช้งาน

03
วิธีการติดเทปและการติดตั้ง

เทปสีน้ำเงิน, เทป UV, เทป BG, DAF, แบบม้วนหรือแบบตัดสำเร็จ, การติดตั้งแบบลูกกลิ้งหรือแบบสุญญากาศ

ทำไมเรื่องนี้ถึงสำคัญ

ความกว้างของเทป คุณสมบัติการยึดติด การตัด และการไล่อากาศ ต้องเหมาะสมกับอุปกรณ์

04
ระบบอัตโนมัติและขอบเขตการจัดหา

สามารถเลือกโหมดการทำงานได้ระหว่าง แบบแมนนวล แบบกึ่งอัตโนมัติ หรือแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ ขึ้นอยู่กับสภาพการใช้งาน จำนวน และปลายทางที่ต้องการ

ทำไมเรื่องนี้ถึงสำคัญ

เอกสารนี้ระบุระบบการจัดการ ตัวเลือกที่ติดตั้ง เส้นทางการจัดหา และขอบเขตการเสนอราคา

ดำเนินการตามขั้นตอนการผลิตเวเฟอร์ต่อไป

อุปกรณ์และคู่มือการประมวลผลเวเฟอร์ที่เกี่ยวข้อง

ลิงก์เหล่านี้ช่วยให้ลูกค้าสามารถเปลี่ยนจากการติดเทปเวเฟอร์ไปสู่กระบวนการโดยรอบแทนที่จะมองเครื่องติดตั้งเวเฟอร์เป็นเครื่องจักรที่แยกต่างหาก

เส้นทางการบดย้อนกลับ

เครื่องบดเวเฟอร์

ตรวจสอบอุปกรณ์ลดความหนาของเวเฟอร์เมื่อมีการติดเทปกาวป้องกันก่อนทำการเจียรด้านหลัง

สำรวจเครื่องบดเวเฟอร์ →
เส้นทางลูกเต๋า

เลื่อยหั่นลูกเต๋า

ดำเนินการต่อที่เครื่องตัดเวเฟอร์เมื่อเวเฟอร์ที่ติดตั้งพร้อมสำหรับการแยกด้วยใบมีดแล้ว

สำรวจเลื่อยหั่นลูกเต๋า →
สภาพพื้นผิว

เครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์

ตรวจสอบอุปกรณ์ทำความสะอาดเมื่อมีอนุภาค เศษตกค้าง หรือสิ่งปนเปื้อนบนพื้นผิวที่อาจส่งผลต่อการยึดเกาะของเทป

สำรวจเครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์ →
อ่านเพิ่มเติม

คู่มือการประมวลผลเวเฟอร์

ใช้คลังคู่มือเพื่อดูข้อมูลเชิงลึกเพิ่มเติมเกี่ยวกับกระบวนการทำให้บางลง การหั่น การทำความสะอาด และการเชื่อมต่อเวเฟอร์

อ่านคู่มือเซมิคอนดักเตอร์ →
คำถามที่พบบ่อยเกี่ยวกับเครื่องติดตั้งเวเฟอร์

คำถามที่ผู้ซื้อถามเกี่ยวกับเครื่องติดตั้งเวเฟอร์

คำตอบด้านล่างนี้ครอบคลุมหัวข้อต่างๆ ที่ปรากฏซ้ำๆ ในหน้าเว็บของผู้ผลิตและในการค้นหาของผู้ซื้อ

เครื่องมือติดตั้งเวเฟอร์ใช้สำหรับอะไร?

เครื่องติดแผ่นเวเฟอร์จะติดเทปสำหรับประมวลผลลงบนแผ่นเวเฟอร์ หรือติดแผ่นเวเฟอร์ลงบนเทปที่ยึดไว้ด้วยกรอบตัดแผ่นเวเฟอร์ โดยทั่วไปจะใช้ก่อนการตัดแผ่นเวเฟอร์ หรือก่อนการเจียรด้านหลัง ขึ้นอยู่กับประเภทของเครื่องจักร

เครื่องติดตั้งเวเฟอร์และเครื่องเคลือบเวเฟอร์แตกต่างกันอย่างไร?

คำศัพท์เหล่านี้มักมีความหมายทับซ้อนกัน ผู้ผลิตบางรายใช้คำว่า "wafer laminator" สำหรับการติดเทปป้องกัน ในขณะที่ "wafer mounter" มักหมายถึงการติดแผ่นเวเฟอร์เข้ากับเทปตัดและกรอบ การระบุ "ด้านเทป" และ "กระบวนการถัดไป" นั้นน่าเชื่อถือกว่าการระบุแค่ชื่อผลิตภัณฑ์เพียงอย่างเดียว

ฉันควรเลือกเครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบใช้มือหรือแบบอัตโนมัติดี?

ระบบแบบใช้มือเน้นความยืดหยุ่น ปริมาณงานน้อย และความซับซ้อนระหว่างผู้ปฏิบัติงานกับเครื่องจักรต่ำ ส่วนระบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบเน้นความแม่นยำ ความรวดเร็ว การจัดการตลับแป้ง และการควบคุมสูตรการผลิต เครื่องจักรแบบกึ่งอัตโนมัติอยู่ระหว่างสองแนวทางนี้

เมื่อใดจึงจำเป็นต้องใช้เครื่องติดตั้งเวเฟอร์แบบสุญญากาศ?

อาจพิจารณาใช้การติดตั้งแบบสุญญากาศหรือแบบไม่สัมผัสสำหรับเวเฟอร์ที่บาง โค้งงอ เป็นรอยบุ๋ม มีโครงสร้าง หรือเปราะบาง ซึ่งแรงกดจากลูกกลิ้ง การสัมผัสพื้นผิว หรืออากาศที่ติดอยู่ภายในจะสร้างความเสี่ยงเพิ่มเติม

เครื่องติดเวเฟอร์เครื่องเดียวสามารถจัดการกับเทปตัดและเทปขัดด้านหลังได้หรือไม่?

บางระบบรองรับกระบวนการหรือตัวเลือกการตัดด้วยเทปหลายแบบ แต่ไม่ควรคิดไปเองว่าทุกระบบจะรองรับแบบนั้นเสมอไป ต้องตรวจสอบการออกแบบหัวจับ เส้นทางของเทป วิธีการตัด การจัดการเฟรม และซอฟต์แวร์ให้ตรงกับรุ่นและการกำหนดค่าจริง

ข้อมูลใดบ้างที่จำเป็นสำหรับการขอใบเสนอราคาจากผู้ผลิตเครื่องติดตั้งเวเฟอร์?

โปรดระบุขั้นตอนการผลิตที่ต้องการ วัสดุและเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ ความหนาและสภาพพื้นผิว ประเภทเทป ขนาดเฟรม วิธีการติดตั้ง ระดับการทำงานอัตโนมัติ สภาพเครื่องจักรที่ต้องการ จำนวน และปลายทาง

กำลังมองหาเครื่องติดแผ่นเวเฟอร์อยู่ใช่ไหม?

ส่งแบบจำลองเป้าหมายหรืออธิบายลักษณะของเวเฟอร์ เทป เฟรม และกระบวนการต่อไป เราจะช่วยตรวจสอบวิธีการติดตั้งที่เหมาะสม อุปกรณ์ที่มีอยู่ และการกำหนดค่าเครื่องจักรจริง

ขอใบเสนอราคาเครื่องติดแผ่นเวเฟอร์