ACCRETECH UF200Rは、5～8インチウェハ上のディスクリート半導体デバイスおよびその他の互換半導体デバイスの電気的テスト用に開発された高速自動ウェハプローバです。ウェハのロード、アライメント、位置決め、プローブカードとの接触といった一連のテストを、完全なテストセットアップの一部として処理します。
実際のチャック、ローダー、テストヘッドインターフェース、ウェハーハンドリングオプション、およびテスト環境は、入手可能な中古機器によって異なります。初回のお問い合わせの際は、現在お使いのプローバーまたはテスターの機種、鮮明なウェハーまたはデバイスの写真、および必要なテストプロセスまたは機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。
ACCRETECH UF200R マシン情報
| メーカー | ACCRETECH / Tokyo Seimitsu |
|---|---|
| モデル | UF200R |
| 機器の種類 | 高速自動ウェハープローバー |
| 標準ウェハー範囲 | メーカーのモデル情報によると、5～8インチのウェハー |
| オプションのウェハーサポート | 必要な構成がインストールされている場合の4インチウェハテスト |
| 代表的なデバイスアプリケーション | ディスクリート、パワー、ロジック、および互換性のあるMEMSデバイス |
| 主な機能 | ウェーハの取り扱い、位置合わせ、位置決め、および電気テストのためのプローブカードとの接触 |
| 状態 | 中古半導体試験装置 |
| テスト構成 | テスター、テストヘッド、プローブカード、チャック、およびインストールされたインターフェースによって決定されます。 |
| 納品範囲 | 見積もりと確認済みの機器リストに基づき |
| サポート | 初期故障診断、部品の照合、修理に関する話し合い |
| 配送 | 輸出梱包および世界各国への配送 |
ウェハーおよびテストアプリケーションの互換性
UF200Rという型番と200mmウェハ対応という仕様だけでは、特定のウェハテストを実行できるとは限りません。互換性は、ウェハのサイズと状態、デバイスのレイアウト、プローブカード、テスター、テストヘッドのインターフェース、チャックの構成、および必要な電気的テスト環境にも左右されます。
最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。
- UF200Rが既存の機器を置き換える場合、現在お使いのウェハープローバーまたはテスターのモデルが異なります。
- ウェハー、デバイス、または現在のテストセットアップの鮮明な写真
- この情報が容易に入手できるプローブカードまたはテストヘッドモデル
- 必要な試験手順または現在の機器の問題点に関する簡単な説明
詳細なウェハマップ、インターフェース図、温度要件、および試験パラメータは、利用可能な装置がプロジェクトに適していると判断された時点で後日検討できます。
テスター、プローブカード、およびテスト環境
UF200Rは、各デバイスを互換性のあるプローブカードの下に配置し、接続されたテスターによって電気測定が行われます。したがって、使用可能なテストセルを実現するには、プローバー、プローブカード、テストヘッド、マニピュレーター、テスター、およびソフトウェア通信が正しく連携して動作する必要があります。
このモデルプラットフォームには、低温・高温試験、4インチウェハー、反りウェハーや極薄ウェハーの取り扱い、MEMSの取り扱い、マイクロ電流測定、高電圧試験、プローブ痕跡検査などのオプションが用意されていました。これらは、すべてのUF200Rに搭載されている機能というよりは、モデルごとのオプションです。
UF200Rの構成と納入範囲は選択可能です。
ACCRETECH UF200Rウェハプローバーは、ローダー構成、チャック温度対応、4インチウェハ対応、テストヘッドマニピュレーター、特殊ウェハ搬送機構、プローブマーク検査、ネットワーク機能、電気テストオプションなど、個体によって仕様が異なる場合があります。ご購入前に、ご使用予定の機器の実際のウェハハンドリングおよびテスト構成が、ご使用のデバイスおよびテスターに適しているかどうかをご確認いただく必要があります。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。テスター、テストヘッド、マニピュレーター、プローブカード、チラー、カセット、コンピュータ、インターフェースコンポーネント、外部ユーティリティ機器は、明記されている場合にのみ含まれます。
受信、起動、および初期ウェハーチェック
UF200Rは、貴重な生産用ウェハを導入する前に、段階的に検査およびテストを行うべきである。
- 梱包、機械キャビネット、ウェハーローダー、ステージ、チャック、コントロールパネル、および目視可能な搬送機構を点検してください。
- 機器を移動する前に、衝撃痕、緩んだ部品、損傷したケーブル、または位置がずれたアセンブリなどを写真に撮ってください。
- 受領した機械、ローダー部品、マニピュレーター、インターフェース、および付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
- 輸送後、チャック、ウェーハステージ、アライメント部品、および搬送機構がしっかりと固定されていることを確認してください。
- 実際の機械の電源、接地、圧縮空気、真空、冷却、その他の設備要件を確認してください。
- システムをリセットしたり設定を変更したりする前に、コントローラーを起動し、すべてのアラームメッセージを記録してください。
- 生産用ウェハーを取り付けずに、ローダー、アライメント機構、ステージ機構を作動させ、それらの動きを観察してください。
- 基本動作が安定したら、適切な非生産用ウェハを使用して、ロード、アライメント、ステップ、およびアンロードのチェックを行います。
プローブカード、テストヘッド、テスターは、電気的テスト結果を評価する前に、それぞれ個別に接続して確認してください。ウェーハの搬送が不安定な場合、ステージの動きが異常な場合、機械的な干渉が発生した場合、または同じアラームが繰り返し発生する場合は、テストを中止してください。
試験結果、取り扱い上の不具合、および部品サポート
電気的結果が不安定になる原因としては、プローブカード、接触位置、ウェーハの位置合わせ、チャックの状態、テストヘッドの接続、温度制御、テスターの設定、または接続されたシステム間の通信などが考えられます。
生産を再開する前に、ウェハーローディング不良、位置合わせエラー、真空不良、ウェハーマップの問題、プローブマークの不一致などを調査する必要があります。アラームメッセージと問題が発生したテストサイクルの段階を記録してから、装置をリセットしてください。
ウェハー、プローブカード、チャック、テストヘッド接続部、アラーム画面の写真、および可能であれば短い動作ビデオは、レビューの実用的な出発点となる。
当チームは、初期故障解析、部品特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。また、関連するセンサー、モーター、ドライバー、基板、ケーブル、空圧部品、真空部品、ローダーアセンブリ、ステージ部品、チャック関連部品なども、入手可能な場合は点検いたします。
よくある質問
ACCRETECH UF200Rは当社のウェハーを検査できますか？
これは、ウェハーサイズ、デバイスレイアウト、テスター、テストヘッド、プローブカード、チャック構成、および必要なテスト条件によって異なります。初期レビューのために、基本的なウェハー情報とテスト設定情報をお送りください。
UF200Rは4インチウェハーに対応していますか？
UF200Rでは、4インチウェハーのテストがオプションとして提供されました。必要なローディングおよびハンドリング構成は、使用可能な装置で確認する必要があります。
UF200Rは、反りのあるウェハーや極薄ウェハーにも対応できますか？
これらの用途向けには専用の搬送機構が用意されていましたが、すべての装置に搭載されているとは限りません。ウェーハの状態と実際の搬送構成を確認する必要があります。
テスターまたはプローブカードは付属していますか？
見積書または確定済みの納品範囲に明記されているテスター、テストヘッド、マニピュレーター、プローブカード、およびインターフェースコンポーネントのみが含まれます。
積載、位置合わせ、接触に関する問題についてサポートしていただけますか？
はい。機械の機種名、アラーム情報、ウェハーとプローブカードの写真、可能であれば動作動画をお送りください。初期故障診断、部品の適合確認、修理に関するご相談を承ります。
ACCRETECH UF200Rについてのお問い合わせはこちら
現在お使いのウェハープローバーまたはテスターの機種、ウェハーまたはデバイスの写真、およびテスト要件または機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。まず基本的な用途を確認し、その後、必要なプローブカード、テストヘッドインターフェース、装置構成、交換部品、または修理の詳細についてご案内いたします。
