معدات قياس وفحص أشباه الموصلات المستعملة

تُستخدم أنظمة الفحص لاكتشاف العيوب والشذوذات وتحديد مواقعها وتصنيفها. أما أنظمة القياس فتقيس الأبعاد والمحاذاة وخصائص الأغشية وميزات السطح أو هندسة الرقاقة. وتجمع بعض المنصات بين الوظيفتين.

قد تشمل الطلبات أنظمة فحص الرقاقات، ومجاهر الفحص، ومجهر المسح الإلكتروني ذي البعد الحرج (CD-SEM)، ومجهر المسح الإلكتروني للمراجعة، وقياسات التراكب، وأدوات قياس سمك الأغشية، وأجهزة قياس الإهليلجية، وأجهزة قياس الملامح، وأنظمة هندسة الرقاقات. يجب التأكد من توفر كل طلب على حدة.

يرجى تحديد الشركة المصنعة أو الطراز المفضل، وحجم الرقاقة، ومهمة الفحص أو القياس، والأتمتة المطلوبة، وطبقة المعالجة أو المادة، وأي متطلبات برمجية أو متطلبات واجهة البيانات.

قد تكون الأدوات المستخدمة مهيأة للعمل مع رقاقات السيليكون بأقطار 150 مم، أو 200 مم، أو 300 مم، وتدعم بعض المنصات تكوينات الجسر. يجب التحقق من ترتيب وحدة المعالجة، والمنصة، ومنافذ التحميل.

تحقق من سجلات المعايرة أو المرجعية المتاحة، وإصدارات البرامج، ووحدات التحليل المثبتة، والوصفات، وتنسيقات البيانات، وحالة الترخيص المعروفة. قد يلزم إجراء معايرة أو تأهيل جديد بعد التثبيت.

يرجى تقديم معلومات عن الشركة المصنعة، والطراز، وحجم الرقاقة، والمهمة المستهدفة. يجب تأكيد التوافر، والحالة، والتكوين، والوثائق، والسعر، ومدة التسليم لكل طلب توريد.