ウェーハの欠陥検出、臨界寸法、オーバーレイ、膜厚、表面形状、ウェーハ形状などの用途に対応する、中古の半導体検査・計測ツールをご覧ください。
製造元、型番、ウェハサイズ、測定または検査内容をお知らせください。装置の適合性は、搭載されている光学系または電子ビーム構成、ステージとハンドラー、検出器、ソフトウェア、および付属オプションによって異なります。
現在掲載されている半導体検査、レビュー、計測機器をご覧ください。ウェーハサイズ、センサーアーキテクチャ、自動化機能、ソフトウェア、アクセサリ、および搭載オプションは、機器によって異なります。
製造元、型番、ウェハサイズ、および欠陥検査、CD測定、オーバーレイ、膜厚測定、表面形状測定、ウェハ形状測定などの対象タスクをお知らせください。
検査システムは、欠陥や異常を検出して確認します。計測システムは、寸法、膜特性、アライメント、ウェーハ形状を測定します。まず、完了しなければならない作業から始め、次に実際のツール構成を確認します。
一般的な検査方法としては、光学検査、ウェハ表面検査、高倍率での欠陥検査などが挙げられる。
計測ツールの選定は、測定対象、測定方法、ウェハフォーマット、プロセス層、および必要なデータ環境によって決まります。
中古のM&Iツールは、システム全体として評価してください。モデル名だけでは、ウェハー処理、センサー構成、ソフトウェアの状態、校正履歴、付属アクセサリーなどを確認することはできません。
そのツールが欠陥を検出する必要があるのか、それともCD、オーバーレイ、フィルム、トポグラフィー、またはウェーハ形状を測定する必要があるのかを定義してください。
光学的、電子ビーム的、接触式などの方法は、それぞれ異なる目的に合わせて設計されており、自動的に互換性があるわけではない。
ウェーハの直径と厚さ、ロードポート、ハンドラー、ステージ、およびアライメント構成を確認してください。
高性能なセンサーであっても、搬送経路が生産フローと異なる場合は、統合が難しい場合がある。
照明装置とレンズ、あるいは電子源と電子柱、検出器、ステージ、および関連する付属品を点検してください。
搭載されているセンサーのアーキテクチャとステージによって、特定のシステムで利用可能なモードが決まります。
ソフトウェアのバージョン、レシピ、分析モジュール、出力形式、インターフェース、および既知のライセンスステータスを確認してください。
ハードウェアが存在していても、必要な分析機能、レシピ機能、またはインターフェース機能が欠落している場合があります。
入手可能な校正記録、参照記録、保守記録、故障記録、および性能記録を請求してください。
記録は再検査や校正の計画に役立ちますが、実際のツールでの検証に取って代わるものではありません。
真空度、ガス、電力、冷却、環境に関する要件に加え、コンピュータ、ケーブル、規格、付属品についても確認してください。
必要なユーティリティや周辺機器が不足していると、メインツールが適切であってもインストールが遅れる場合があります。
見積書には、購入前に入手可能な情報と、最終納品に含まれる機器、ソフトウェア、付属品、サービスとを分けて記載する必要があります。
まず、工具の識別情報と測定または検査要件から始めましょう。
提供された機器と入手可能な記録から確認できる事項を明確に定義する。
見積書と納品リストを最終的な作業範囲の参照資料として使用してください。
中古半導体検査・レビュー・測定ツールの検討時によくある質問。
検査システムは、欠陥や異常を検出、特定、または分類します。計測システムは、寸法、アライメント、膜特性、表面形状、またはウェーハ形状を測定します。一部のプラットフォームは、両方の機能を兼ね備えています。
リクエストには、ウェハ検査システム、検査用顕微鏡、CD-SEM、レビュー用SEM、オーバーレイ計測装置、膜厚測定装置、エリプソメーター、プロファイロメーター、ウェハ形状測定システムなどが含まれます。各リクエストについて、利用可能状況を確認する必要があります。
メーカー名または推奨モデル、ウェハサイズ、検査または測定タスク、必要な自動化、プロセス層または材料、およびソフトウェアまたはデータインターフェースの要件をお知らせください。
使用済みツールは、150mm、200mm、または300mmウェハに対応するように構成されている場合があり、一部のプラットフォームはブリッジ構成をサポートしています。実際のハンドラー、ステージ、およびロードポートの配置を確認する必要があります。
利用可能な校正記録または参照記録、ソフトウェアのバージョン、インストールされている分析モジュール、レシピ、データ形式、および既知のライセンスステータスを確認してください。インストール後も、新たな適格性評価または校正が必要になる場合があります。
製造元、型番、ウェハサイズ、および対象タスクを提出してください。各調達依頼について、在庫状況、状態、構成、ドキュメント、価格、および納期を確認する必要があります。
製造元、モデル、ウェハーサイズ、検査または測定作業、必要な自動化、および重要なソフトウェア、取り扱い、または設備条件を共有してください。