Équipements de métrologie et d'inspection

Équipements d'occasion de métrologie et d'inspection des semi-conducteurs

Parcourez notre sélection d'outils d'inspection et de métrologie de semi-conducteurs d'occasion pour la détection des défauts des plaquettes, les dimensions critiques, la superposition, l'épaisseur du film, le profil de surface et les applications géométriques des plaquettes.

Veuillez indiquer le fabricant, le modèle, la taille de la plaquette et la tâche de mesure ou d'inspection. La compatibilité de l'outil dépend de la configuration optique ou du faisceau d'électrons, de la platine et du manipulateur, des détecteurs, du logiciel et des options incluses.

Consultez les équipements disponibles Envoyer une demande de M&I

Inspection des plaquettes Métrologie des CD et des superpositions Mesure des films et des surfaces

Équipement actuel

02Équipements de métrologie et d'inspection disponibles

Consultez notre catalogue d'équipements d'inspection, de contrôle et de métrologie des semi-conducteurs. La taille des plaquettes, l'architecture des capteurs, l'automatisation, les logiciels, les accessoires et les options installées peuvent varier selon la machine.

Approvisionnement en équipements

Vous recherchez un outil d'inspection ou de métrologie spécifique ?

Veuillez indiquer le fabricant, le modèle, la taille de la plaquette et la tâche visée, telle que l'inspection des défauts, la mesure du CD, la superposition, l'épaisseur du film, le profilage de surface ou la géométrie de la plaquette.

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Recherche par tâche

03Équipements d'inspection et de métrologie par application

Les systèmes d'inspection localisent et analysent les défauts et anomalies. Les systèmes de métrologie mesurent les dimensions, les propriétés du film, l'alignement et la géométrie de la plaquette. Commencez par la tâche à accomplir, puis vérifiez la configuration réelle de l'outil.

Inspection et examen

Trouver, localiser et examiner les défauts

Les axes de recherche courants comprennent l'inspection optique, l'inspection de la surface des plaquettes et l'examen des défauts à fort grossissement.

Inspection de plaquettes non structuréesParticules, défauts de surface et qualité du substrat sur plaquettes nues ou sous contrôle de processus

Inspection de plaquettes à motifsDéfauts de motifs, écarts de processus et inspection de la face avant des plaquettes de dispositifs

Inspection des bords et du versoDéfauts sur les bords, les biseaux et la face arrière des plaquettes pouvant affecter leur manipulation ou leur traitement ultérieur.

Examen des défauts par MEBExamen à fort grossissement et classification des défauts détectés par un système d'inspection

Microscopes d'inspection de plaquettesExamen optique manuel ou automatisé avec différentes options d'éclairage, de grossissement et de manipulation

Métrologie et mesure

Mesurer les dimensions du processus et les propriétés des matériaux

Le choix des outils de métrologie dépend de la cible de mesure, de la méthode, du format de la plaquette, de la couche de processus et de l'environnement de données requis.

Métrologie des dimensions critiquesCD-SEM, CD optique et mesures connexes de la largeur de ligne, du profil et des structures à motifs

Métrologie de superposition et d'alignementMesure de l'alignement couche par couche et du positionnement des motifs pour le contrôle des procédés de lithographie

Épaisseur et composition du filmMétrologie des films optiques, ellipsométrie et autres méthodes de mesure de l'épaisseur des couches ou des propriétés des matériaux

Profil de surface et topographieMesure de la hauteur des marches, de la rugosité, de la forme de la surface 3D et des caractéristiques locales

Géométrie de la plaquetteMesures de l'épaisseur, de la planéité, de la courbure, du gauchissement, de la nanotopographie et des substrats associés

Termes courants relatifs à l'équipement : CD-SEM Analyse SEM Système d'inspection des plaquettes Métrologie de superposition Ellipsomètre Profilomètre Inspection des défauts optiques Microscope d'inspection de plaquettes

Ces catégories orientent la recherche. Il convient de ne pas considérer un outil répertorié comme adapté tant que la taille de la plaquette, le capteur ou l'architecture optique, l'automatisation, le logiciel et la configuration disponible n'ont pas été examinés.

Liste de vérification pour l'achat

04Liste de contrôle pour l'achat d'équipements de métrologie et d'inspection d'occasion

Examinez un outil M&I d'occasion dans son ensemble. Le nom du modèle seul ne permet pas de confirmer la manipulation des plaquettes, la configuration des capteurs, l'état du logiciel, l'historique d'étalonnage ni les accessoires inclus.

Tâche de mesure ou d'inspection

Précisez si l'outil doit détecter les défauts ou mesurer la dimension critique (CD), la superposition, le film, la topographie ou la géométrie de la plaquette.

Pourquoi c'est important

Les méthodes optiques, à faisceau d'électrons, par contact et autres sont conçues pour des tâches différentes et ne sont pas automatiquement interchangeables.

Taille des plaquettes et automatisation

Vérifiez le diamètre et l'épaisseur de la plaquette, le port de chargement, le manipulateur, la platine et la configuration d'alignement.

Pourquoi c'est important

L'intégration d'un capteur performant peut néanmoins s'avérer difficile lorsque le processus de traitement diffère du flux de production.

Optique, faisceau, détecteurs et platine

Examiner l'éclairage et les lentilles ou la source d'électrons et la colonne, ainsi que les détecteurs, la platine et les accessoires pertinents.

Pourquoi c'est important

L'architecture et l'étage du capteur installé déterminent les modes disponibles sur le système spécifique.

Environnement logiciel et de données

Vérifiez la version du logiciel, les recettes, les modules d'analyse, les formats de sortie, les interfaces et l'état de la licence.

Pourquoi c'est important

Il se peut que certaines fonctions d'analyse, de recette ou d'interface requises soient manquantes même si le matériel est présent.

Étalonnage et enregistrements disponibles

Demander les enregistrements disponibles concernant l'étalonnage, les références, la maintenance, les pannes et les performances.

Pourquoi c'est important

Les enregistrements permettent de planifier une nouvelle inspection ou un étalonnage, mais ils ne remplacent pas la vérification sur l'outil lui-même.

Services publics, environnement et périmètre inclus

Confirmer les exigences en matière de vide, de gaz, d'alimentation électrique, de refroidissement et d'environnement, ainsi que les ordinateurs, les câbles, les normes et les accessoires.

Pourquoi c'est important

L'absence d'utilitaires ou de périphériques peut retarder l'installation, même lorsque l'outil principal est adapté.

Important: L’état, l’étalonnage et les performances de mesure du matériel utilisé doivent être confirmés pour chaque machine et pour l’étendue du service convenu.

Discuter des besoins en outils

Approvisionnement et livraison

05Périmètre d'approvisionnement et de livraison des équipements M&I

Le devis doit distinguer les informations disponibles avant l'achat du matériel, des logiciels, des accessoires et des services inclus dans la livraison finale.

Informations sur l'équipement

Commencez par identifier l'outil et définir les exigences de mesure ou d'inspection.

Informations sur le fabricant, le modèle et le numéro de série, le cas échéant.
Taille de la plaquette, tâche cible et automatisation requise
Photos de la machine, plaque signalétique et options visibles

Examen et devis

Définir ce qui peut être confirmé à partir de la machine proposée et des enregistrements disponibles.

Outil principal, gestionnaire, scène et modules installés
Ordinateur, logiciels, accessoires et statut de licence connu
Enregistrements disponibles, emballage et étendue des services optionnels

Liste de livraison finale

Utilisez le devis et la liste de livraison comme référence finale pour le périmètre du projet.

Équipement inclus, câbles, normes et pièces détachées
Manuels, supports et documentation disponibles
Articles exclus, responsabilités en matière de transport et services supplémentaires

La certification d'étalonnage, la mise en place des processus, l'installation, l'assistance sur site et la maintenance à long terme ne sont pas incluses. Ces services doivent être précisés dans le devis ou faire l'objet d'une description de service distincte.

Questions fréquentes

06FAQ sur les équipements de métrologie et d'inspection

Questions fréquentes lors de l'examen d'outils d'inspection, d'analyse et de mesure de semi-conducteurs d'occasion.

Quelle est la différence entre les équipements d'inspection et de métrologie des semi-conducteurs ?

Les systèmes d'inspection détectent, localisent et classent les défauts et anomalies. Les systèmes de métrologie mesurent les dimensions, l'alignement, les propriétés des films, les caractéristiques de surface ou la géométrie des plaquettes. Certaines plateformes combinent ces deux fonctions.

Quels types d'équipements de métrologie et d'inspection peuvent être demandés ?

Les demandes peuvent concerner des systèmes d'inspection de plaquettes, des microscopes d'inspection, des microscopes électroniques à balayage (MEB) de type CD, des microscopes électroniques à balayage (MEB) de contrôle, des systèmes de métrologie par superposition, des outils de mesure d'épaisseur de film, des ellipsomètres, des profilomètres et des systèmes de géométrie de plaquettes. La disponibilité doit être confirmée pour chaque demande.

Quelles informations sont nécessaires pour identifier un outil M&I d'occasion ?

Indiquez le fabricant ou le modèle préféré, la taille de la plaquette, la tâche d'inspection ou de mesure, l'automatisation requise, la couche de traitement ou le matériau, ainsi que toutes les exigences en matière de logiciel ou d'interface de données.

Un même outil peut-il prendre en charge des plaquettes de tailles différentes ?

Les outils utilisés peuvent être configurés pour des plaquettes de 150 mm, 200 mm ou 300 mm, et certaines plateformes prennent en charge les configurations en pont. Il convient de vérifier la configuration réelle du manipulateur, de la platine et du port de chargement.

Comment faut-il vérifier l'étalonnage et l'état du logiciel ?

Vérifiez les enregistrements d'étalonnage ou de référence disponibles, les versions logicielles, les modules d'analyse installés, les recettes, les formats de données et l'état des licences. Une nouvelle qualification ou un nouvel étalonnage peut être nécessaire après l'installation.

Pouvez-vous m'aider à trouver un outil qui ne figure pas actuellement dans la liste ?

Veuillez indiquer le fabricant, le modèle, la taille de la plaquette et l'application visée. La disponibilité, l'état, la configuration, la documentation, le prix et le délai de livraison doivent être confirmés pour chaque demande d'approvisionnement.

Demande d'équipement

07Envoyez-nous vos besoins en équipements de métrologie ou d'inspection

Veuillez indiquer le fabricant, le modèle, la taille de la plaquette, la tâche d'inspection ou de mesure, l'automatisation requise et tout logiciel important, ainsi que les conditions de manipulation ou d'installation.

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