Метрологическое и контрольное оборудование

Бывшее в употреблении оборудование для метрологии и контроля полупроводниковых материалов

Ознакомьтесь с ассортиментом бывших в употреблении инструментов для контроля и метрологии полупроводниковых изделий, предназначенных для обнаружения дефектов пластин, определения критических размеров, совмещения, толщины пленки, профиля поверхности и геометрии пластин.

Укажите производителя, модель, размер пластины и задачу измерения или контроля. Совместимость инструмента зависит от установленной оптики или конфигурации электронно-лучевого микроскопа, платформы и манипулятора, детекторов, программного обеспечения и включенных в комплект опций.

Просмотрите доступное оборудование Отправьте запрос на проведение M&I-исследований.

Контроль качества кремниевых пластин CD и метрология наложения Измерение пленок и поверхностей

Текущее оборудование

02Доступное метрологическое и контрольное оборудование

Ознакомьтесь с актуальным списком оборудования для контроля, проверки и метрологии полупроводниковых изделий. Размер пластины, архитектура датчиков, автоматизация, программное обеспечение, аксессуары и установленные опции могут различаться в зависимости от оборудования.

Поиск поставщиков оборудования

Ищете конкретный инструмент для контроля или метрологии?

Укажите производителя, модель, размер пластины и целевую задачу, например, контроль дефектов, измерение критических размеров, совмещение, толщину пленки, профилирование поверхности или геометрию пластины.

Отправить заявку на оборудование

Поиск по задаче

03Контрольно-измерительное и метрологическое оборудование по областям применения

Системы контроля обнаруживают и анализируют дефекты или аномалии. Системы метрологии измеряют размеры, свойства пленки, выравнивание и геометрию пластины. Начните с задачи, которую необходимо выполнить, а затем проверьте фактическую конфигурацию инструмента.

Проверка и анализ

Обнаружение, локализация и анализ дефектов

К распространенным направлениям поиска относятся оптический контроль, осмотр поверхности пластины и анализ дефектов при большом увеличении.

Контроль неструктурированных пластинЧастицы, дефекты поверхности и качество подложки на чистых или контролируемых технологическим процессом кремниевых пластинах.

Контроль качества пластин с заданным рисункомДефекты рисунка, отклонения от технологического процесса и проверка лицевой стороны пластин устройств.

Осмотр кромок и обратной стороныДефекты краев, скосов и обратной стороны пластины, которые могут повлиять на обработку или последующую переработку.

Анализ дефектов с помощью СЭМУвеличенное изображение и классификация дефектов, обнаруженных системой контроля.

Микроскопы для контроля качества кремниевых пластинОптический просмотр в ручном или автоматизированном режиме с различными вариантами освещения, увеличения и обработки изображений.

Метрология и измерения

Измерение технологических параметров и свойств материалов.

Выбор метрологического оборудования зависит от объекта измерения, метода, формата пластины, технологического слоя и требуемой среды сбора данных.

Метрология критических размеровCD-SEM, оптический CD и связанные с ними измерения ширины линий, профиля и структурированных элементов.

Метрология наложения и выравниванияПослойное выравнивание и измерение расположения рисунка для контроля процесса литографии.

Толщина и состав пленкиОптическая метрология пленок, эллипсометрия и другие методы определения толщины слоя или свойств материала.

Профиль поверхности и топографияВысота ступеньки, шероховатость, трехмерная форма поверхности и измерение локальных особенностей.

Геометрия пластиныТолщина пластины, плоскостность, изгиб, деформация, нанотопография и соответствующие измерения подложки.

Общие термины, относящиеся к оборудованию: CD-SEM Обзор SEM Система контроля качества пластин Наложенная метрология Эллипсометр Профилометр Оптический дефектоскопический контроль Микроскоп для контроля качества кремниевых пластин

Эти категории указывают направление поиска. Не следует считать указанный инструмент подходящим до тех пор, пока не будут рассмотрены размер пластины, архитектура датчика или оптики, автоматизация, программное обеспечение и доступная конфигурация.

Контрольный список для покупки

04Контрольный список для покупки подержанного метрологического и контрольно-измерительного оборудования

Проверяйте бывший в употреблении инструмент M&I как целостную систему. Название модели само по себе не подтверждает возможности обработки пластин, конфигурацию датчиков, состояние программного обеспечения или наличие необходимых принадлежностей.

Задача измерения или проверки

Определите, должен ли инструмент обнаруживать дефекты или измерять критические размеры (CD), совмещение слоев, состояние пленки, топографию или геометрию пластины.

Почему это важно

Оптические, электронно-лучевые, контактные и другие методы предназначены для решения различных задач и не являются взаимозаменяемыми.

Размер пластины и автоматизация

Проверьте диаметр и толщину пластины, загрузочный порт, манипулятор, платформу и конфигурацию выравнивания.

Почему это важно

Интеграция функционального датчика может быть сложной, если путь обработки отличается от производственного процесса.

Оптика, луч, детекторы и платформа

Ознакомьтесь с освещением и линзами, а также с источником и колонной электронов, детекторами, предметным столиком и соответствующими принадлежностями.

Почему это важно

Архитектура установленных датчиков и их расположение определяют доступные режимы работы конкретной системы.

Программная и информационная среда

Проверьте версию программного обеспечения, рецепты, модули анализа, форматы выходных данных, интерфейсы и известный статус лицензии.

Почему это важно

Даже при наличии соответствующего оборудования могут отсутствовать необходимые функции анализа, рецептуры или интерфейса.

Калибровка и имеющиеся записи

Запросите имеющиеся записи о калибровке, эталонных образцах, техническом обслуживании, неисправностях и рабочих характеристиках.

Почему это важно

Документация помогает планировать повторную проверку или калибровку, но она не заменяет проверку самого инструмента.

Коммунальные услуги, окружающая среда и включенная сфера действия

Подтвердите требования к вакууму, газам, электропитанию, охлаждению и условиям окружающей среды, а также к компьютерам, кабелям, стандартам и принадлежностям.

Почему это важно

Отсутствие необходимых утилит или периферийных устройств может задержать установку, даже если основной инструмент подходит для этих целей.

Важный: Необходимо подтвердить состояние, калибровку и измерительные характеристики используемого оборудования для каждой отдельной машины и согласованного объема работ.

Обсудите требования к инструменту.

Закупка и доставка

05Объем работ по закупке и поставке оборудования для машиностроения и промышленной техники.

В коммерческом предложении следует отделить информацию, доступную до покупки, от информации об оборудовании, программном обеспечении, аксессуарах и услугах, включенных в окончательную поставку.

Информация об оборудовании

Начните с идентификации инструмента и требований к измерению или проверке.

Информация о производителе, модели и серийном номере (при наличии).
Размер пластины, целевая задача и необходимая автоматизация
Фотографии машины, табличка с названием и видимые опции

Обзор и цитирование

Укажите, что можно подтвердить с помощью предлагаемого оборудования и имеющихся записей.

Основной инструмент, обработчик, промежуточный этап и установленные модули.
Компьютер, программное обеспечение, аксессуары и известный статус лицензии.
Доступные услуги по оформлению документов, упаковке и дополнительному сервисному обслуживанию.

Окончательный список доставки

Используйте коммерческое предложение и накладную в качестве окончательного документа, определяющего объем работ.

В комплект входят оборудование, кабели, стандарты и отдельные детали.
Доступные руководства, носители информации и документация.
Исключенные товары, транспортные расходы и дополнительные услуги

Сертификация калибровки, настройка технологического процесса, установка, поддержка на месте и долгосрочное техническое обслуживание не входят в стоимость. Любые подобные услуги должны быть подтверждены в коммерческом предложении или в отдельном описании объема работ.

Часто задаваемые вопросы

06Часто задаваемые вопросы о метрологическом и контрольно-измерительном оборудовании

Часто задаваемые вопросы при обзоре бывших в употреблении инструментов для контроля, проверки и измерения полупроводниковых компонентов.

В чём разница между оборудованием для контроля качества полупроводников и метрологическим оборудованием?

Системы контроля обнаруживают, определяют местоположение или классифицируют дефекты и аномалии. Системы метрологии измеряют размеры, выравнивание, свойства пленки, особенности поверхности или геометрию пластины. Некоторые платформы сочетают в себе обе функции.

Какие типы метрологического и контрольного оборудования можно запросить?

Запросы могут включать системы контроля качества пластин, микроскопы для контроля качества, CD-SEM, SEM для проверки качества, системы метрологии наложения, инструменты для измерения толщины пленки, эллипсометры, профилометры и системы для измерения геометрии пластин. Наличие необходимо подтвердить для каждого запроса.

Какая информация необходима для сопоставления подержанного инструмента M&I?

Укажите производителя или предпочтительную модель, размер пластины, задачу контроля или измерения, необходимую автоматизацию, технологический слой или материал, а также любые требования к программному обеспечению или интерфейсу данных.

Может ли один и тот же инструмент поддерживать пластины разных размеров?

Используемые инструменты могут быть сконфигурированы для пластин диаметром 150 мм, 200 мм или 300 мм, а некоторые платформы поддерживают мостовые конфигурации. Необходимо проверить фактическое расположение манипулятора, платформы и загрузочного порта.

Как следует проверять калибровку и состояние программного обеспечения?

Проверьте наличие калибровочных или эталонных записей, версии программного обеспечения, установленные аналитические модули, рецепты, форматы данных и известный статус лицензии. После установки может потребоваться новая квалификация или калибровка.

Можете ли вы помочь найти инструмент, которого в данный момент нет в списке?

Укажите производителя, модель, размер пластины и целевую задачу. Для каждого запроса на поставку необходимо подтвердить наличие, состояние, конфигурацию, документацию, цену и сроки поставки.

Запрос на оборудование

07Отправьте ваши требования к метрологическому или контрольно-измерительному оборудованию.

Укажите производителя, модель, размер пластины, задачу контроля или измерения, необходимую автоматизацию, а также любое важное программное обеспечение, условия обработки или эксплуатации.

Обсудите требования к оборудованию для мониторинга и контроля качества.