DISCO DAD323 ダイシングソー

DISCO DAD323ブレードダイシングソーは、ウェハーおよび基板の分離に使用されます。ライフサイクル状況、機械点検、プロセス入力、部品サポートについてご確認ください。

DISCO DAD323は、互換性のある半導体ウェハー、電子部品、ガラス、セラミックなどの材料を切断するためのコンパクトな自動ダイシングソーです。シングルスピンドルを使用し、最大6インチまでのワークピースに対応しますが、角型ワークピースの場合は、該当する機械仕様と保持設定が必要です。

初回のお問い合わせの際は、現在お使いのダイシングソーの機種名、ウェハーまたは加工対象物の鮮明な写真、および必要な切断工程または現在の機械の問題点に関する簡単な説明をお送りください。刃、加工方法、材料に関する詳細情報は、必要に応じて後日確認させていただきます。

DISCO DAD323 automatic semiconductor wafer dicing saw

DISCO DAD323 マシン情報

メーカー ディスコ
モデル DAD323
機器の種類 自動単軸ダイシングソー
最大ワークピースサイズ 直径6インチ(約150×150mm)までの正方形ワークピースには、該当するユーザー指定の構成が必要です。
X軸切削範囲 160mm
Y軸切断範囲 162 mm
標準スピンドル 2.0 kW(40,000 rpm時)
標準スピンドル速度 3,000~40,000分⁻¹
オプションのスピンドル 1.8 kWの高速スピンドル、最大回転速度60,000 min⁻¹
アライメント 自動アライメント機能はメーカーの標準モデル仕様に含まれています。
機械寸法 約490×870×1,600mm
機械重量 約400kg
生産状況 メーカーによる製造中止。後継機種としてDAD324が挙げられています。
状態 中古精密ダイシング装置
納品範囲 見積もりと確認済みの機器リストに基づき
配送 輸出梱包および世界各国への配送

ウェハーとワークピースの適合性

DAD323モデルの加工能力は、利用可能な機械がすべてのウェハーや電子部品を切断できることを自動的に保証するものではありません。互換性は、材料、ワークピースの寸法、厚さ、切断幅、必要な切断幅、ブレードの種類、スピンドル構成、および保持方法にも依存します。

最初の話し合いに必要な情報は基本的なものだけです。

  • DAD323が既存の機器を置き換える場合、現在お使いのダイシングソーのモデルは変更される可能性があります。
  • ウェハー、基板、または電子部品の鮮明な写真
  • 可能であれば、切断する道路のクローズアップ写真、または現在の切断結果の写真
  • 必要な切断工程または既存の問題点についての簡単な説明

詳細図面、道路寸法、材料データ、刃の仕様、切断パラメータなどは、利用可能な機械がプロジェクトに適していると判断された時点で後日検討することができます。

刃、スピンドル、切断セットアップ

標準仕様のDAD323は2.0kWの高トルクスピンドルを採用していますが、オプションとして1.8kWの高速スピンドルも用意されていました。中古機に搭載されているスピンドルは、刃を選定したり既存の切断工程を移行したりする前に確認する必要があります。

切削品質は、刃の材質、刃の厚さ、スピンドルの状態、ワークピースの保持方法、切削水の供給、アライメント、および加工設定にも左右されます。既存の刃や治具は、スピンドル、フランジ、テーブル、ワークピースのセットアップを確認せずに、使用可能な機械に適合すると想定すべきではありません。

DAD323の構成と納品範囲は利用可能です

DISCO DAD323は、スピンドルタイプ、Y軸スケールオプション、ワークテーブル、ウェーハまたは部品治具、アライメント設定、切断水装置、トランス、ソフトウェア、外部ユーティリティアクセサリなど、個々の機種によって仕様が異なる場合があります。ご購入前に、実際のスピンドル、テーブル、ワークピース搬送構成が、使用予定の材料および切断プロセスに適しているかどうかを確認するため、入手可能な機種を必ずご確認ください。最終的な納品範囲は、見積書および確認済みの機器リストのみに基づきます。ブレード、フランジ、治具、ウェーハフレーム、チラー、水処理装置、トランス、コンピュータ、外部ユーティリティシステムは、明記されている場合にのみ含まれます。

受入、起動、および初期切断試験

DAD323は、貴重な生産ワークピースを導入する前に、段階的に検査およびテストを行う必要があります。

  1. 梱包、機械キャビネット、スピンドル部分、作業台、制御盤、顕微鏡、および目視可能なユーティリティ接続部を点検してください。
  2. 機械を移動する前に、衝撃痕、緩んだ部品、損傷したケーブル、または位置がずれた部品などを写真に撮ってください。
  3. 受け取った機械、ブレードフランジ、治具、ポンプ、付属品を、確認済みの納品リストと比較してください。
  4. 輸送後、スピンドル、作業台、顕微鏡、および動作軸がしっかりと固定されていることを確認してください。
  5. 電源、接地、圧縮空気、真空、切断水、冷却、排水に関する要件を確認してください。
  6. 機械をリセットしたり、パラメータを変更したりする前に、コントローラを起動し、すべてのアラームメッセージを記録してください。
  7. 生産ワークピースを使用せずに、スピンドルの回転、テーブルの移動、アライメント、水の流れ、および関連する安全機能を確認します。
  8. 基本的な動作が安定したら、適切な刃と非生産サンプルを使用して、最初の切断試験を行ってください。

速度や深さを上げる前に、切断箇所を検査してください。切断の一貫性を確認するために、数回切断を繰り返してください。スピンドルの振動、異常な騒音、不安定なアライメント、水流の問題、または繰り返し発生するアラームが発生した場合は、テストを中止してください。

切断品質、機械アラーム、部品サポート

刃こぼれ、刃跡、過剰な切削幅、不完全な切削、または不安定な切削深さは、刃の選択、主軸の振れ、ワークピースの保持、位置合わせ、送り速度、切削深さ、または切削水の状態に関連している可能性があります。

位置誤差には、作業台、顕微鏡の校正、シータアライメント、エンコーダーのフィードバック、または製品データの誤りなどが関係している可能性があります。加工パラメータを繰り返し変更する前に、切断結果と機械の状態を併せて確認する必要があります。

機械をリセットする前に、アラームメッセージと問題が発生した段階を記録してください。ブレード、フランジ、ワークピース、切削面、チャックテーブル、アラーム画面の写真、および可能であれば短い操作ビデオは、問題解決のための実用的な出発点となります。

弊社チームは、初期故障解析、ブレードおよびコンポーネントの特定、交換部品の選定、修理に関するご相談を承ります。関連するスピンドル、モーター、ドライバー、基板、センサー、カメラ、ケーブル、バルブ、ポンプ、給水システム部品、モーションコンポーネントなども、入手可能な場合は点検いたします。DAD323は既に製造中止となっているため、ご購入または修理前に、特定の交換部品の入手可能性をご確認ください。

よくある質問

DISCO DAD323は、当社のウェハーや電子部品を切断できますか?

これは、材質、ワークピースのサイズ、厚さ、切削方向、刃、スピンドル、保持構成によって異なります。まずは、ワークピースと現在の切削結果の写真を送付して、初期レビューを受けてください。

すべてのDAD323には60,000 min⁻¹のスピンドルが搭載されているのですか?

いいえ。高速1.8kWスピンドルはオプション構成でした。標準モデルの仕様では、速度範囲3,000~40,000 min⁻¹の2.0kWスピンドルを使用しています。

DAD323は6インチ角のワークピースを加工できますか?

メーカーは、150×150mmの正方形ワークピースをユーザー指定の構成として記載しています。したがって、使用可能な機械のテーブル、治具、および搬送設定を確認する必要があります。

刃、フランジ、ワークピース固定具は含まれていますか?

見積書または納品確認書に記載されているブレード、フランジ、固定具、および関連付属品のみが含まれます。

スピンドルアラームや切削不良に関するサポートは可能ですか?

はい。機械の機種名、アラーム情報、刃とフランジの写真、切断箇所のクローズアップ画像、可能であれば動作動画をお送りください。初期故障診断、部品選定、修理に関するご相談を承ります。

DISCO DAD323についてのお問い合わせはこちら

現在お使いのダイシングソーの機種、ウェハーまたは加工対象物の写真、および必要な切断工程または機器の問題点に関する簡単な説明をお送りください。まず基本的な用途を確認し、その後、必要なブレード、スピンドル、治具、交換部品、または修理の詳細についてご案内いたします。

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