النقش
يزيل المواد المكشوفة المحددة وينقل نمط الطباعة الحجرية إلى الفيلم أو الرقاقة.
تم نقل النمط إلى المادة
معدات تصنيع رقائق السيليكون الأمامية
معدات حفر أشباه الموصلات وأنظمة حفر البلازما
استكشف معدات حفر أشباه الموصلات المستعملة لإزالة المواد، ونقل الأنماط، وإزالة طبقة المقاوم الضوئي، وعمليات الرقاقات ذات الصلة. أرسل لنا نموذجًا، ولوحة بيانات، وصورة للجهاز، وحجم الرقاقة، ونوع المادة، أو متطلبات الشراء لبدء مراجعة المعدات المناسبة وخيارات التوريد.
الحفر الجاف والحفر بالبلازما
RIE و ICP-RIE
ثلاثة
شريط أشر المقاوم
كيف ينقل الحفر نمطًا محددًا إلى المادة
تُشكّل عملية ترسيب الأغشية الرقيقة طبقة المادة، وتُحدّد الطباعة الحجرية المناطق المحمية والمكشوفة، وتُزيل عملية الحفر مواد مُحدّدة، وتتحقق القياسات والفحص من البنية الناتجة. ويختلف التسلسل الدقيق باختلاف الطبقة، وبنية الجهاز، وتكامل العملية.
تكوين الطبقات
إزالة المواد
التحقق من النتيجة
ترسيب الأغشية الرقيقة
يقوم بإنشاء طبقة عازلة أو موصلة أو معدنية أو شبه موصلة سيتم تشكيلها.
تعريف النمطالطباعة الحجرية
يحدد المناطق المحمية والمعرضة للضوء في مادة مقاومة الضوء أو القناع الصلب.
القياس والتفتيش
يفحص الأبعاد الحرجة والعمق والشكل والتجانس وعيوب العملية المرئية.
معدات حفر أشباه الموصلات المستعملة متوفرة
تصفح أجهزة الحفر بالبلازما المستعملة حاليًا، بما في ذلك أجهزة الحفر التفاعلي بالبلازما (RIE)، وأجهزة الحفر التفاعلي بالبلازما المقترنة حثيًا (ICP-RIE)، وأجهزة الحفر التفاعلي بالبلازما المحفزة (DRIE)، وأجهزة الحفر الجاف، وأجهزة إزالة طبقة الحماية، وأجهزة إزالة طبقة المقاومة. يتم التأكد من مواصفات الجهاز، وحجم الحجرة، وحجم الرقاقة، والخيارات المُثبتة، والحالة المعروفة، ونطاق التسليم للنظام المحدد.
مصادر المعدات
إرسال طلب نموذج أو منصة
هل تحتاج إلى منصة غير مدرجة حاليًا؟
أرسل لنا اسم الشركة المصنعة، والطراز، واسم الحجرة، ولوحة البيانات، وصورة الجهاز، أو متطلبات العملية. يمكننا مراجعة قوائم المنتجات المعروضة، والأنظمة الواردة، ومصادر التوريد بناءً على الطلب، ثم نوجهك نحو الخيار الأمثل التالي.
القوائم الحالية
وارد أو قيد المراجعة
مصدرها حسب الطلب
تغطي هذه المسارات الثلاثة المعدات المدرجة بالفعل، والأنظمة التي يتم إعدادها لتقديم عروض الأسعار، والمنصات الإضافية التي يتم فحصها من خلال التوريد بعد الاستفسار.
لماذا يفكر المشترون في شراء معدات النقش المستعملة
يمكن للمعدات المستعملة أن تساعد في صيانة منصة معالجة قائمة، أو استبدال نظام معطل، أو إضافة قدرة إنتاجية، أو الحصول على معدات وقطع غيار لم تعد متوفرة من خلال قنوات المعدات الجديدة العادية.
المنصات المتوقفة
استمر في استخدام عائلة الآلات الراسخة عندما ينتهي التوريد الجديد ولكن العملية لا تزال قيد الإنتاج.
الاستبدال والسعة
استبدل آلة معطلة أو قم بتوسيع خط إنتاج ناضج أو خط إنتاج MEMS أو خط إنتاج متخصص باستخدام منصة مألوفة.
التزام رأس المال المنخفض
قلل من الاستثمار الرأسمالي عندما تستطيع منصة مستعملة مناسبة تلبية متطلبات العملية والتسليم الحقيقية.
قطع غيار أساسية
تحديد أجزاء الحجرة، ومكونات الترددات اللاسلكية، ووحدات التحكم في التدفق الكتلي، والمضخات، والصمامات، والمثبتات، والأختام، أو أجهزة الاستشعار التي قد تساعد في تقليل وقت التوقف غير المخطط له.
أخبرنا بما تحتاج إلى إيجاده أو استبداله أو تقييمه
لا تحتاج إلى مواصفات كاملة للبدء. شاركنا اسم الطراز، أو لوحة البيانات، أو صورة للمعدات، أو الهدف من العملية، أو رقم الآلة أو القطعة الحالية، وسنساعدك في تحديد الخطوة العملية التالية.
تحديد المعدات
هل لديك نموذج أو لوحة اسم أو صورة للمعدات؟ يمكننا تحديد عائلة المنصة المحتملة والتأكد من تفاصيل التكوين التي يجب فحصها.
متطلبات العملية والخط
هل تعرف حجم الرقاقة أو مادتها أو النتيجة المستهدفة ولكنك لا تعرف طرازها؟ يمكننا تضييق نطاق المعدات ذات الصلة وتحديد ظروف خط الإنتاج التي لا تزال بحاجة إلى التحقق.
توريد واستبدال المعدات
هل ترغب في توسيع الطاقة الإنتاجية أو استبدال أداة موجودة؟ شاركنا المنصة الحالية وهدف الإنتاج حتى نتمكن من مراجعة خيارات المعدات المدرجة والواردة والمتاحة.
دعم قطع الغيار والمنصة
هل تحتاج إلى حجرة أو وحدة أو قطعة غيار أساسية؟ أرسل لنا طراز الجهاز أو رقم القطعة أو صورة المكون حتى نتمكن من التحقق من خيارات التوريد والتفاصيل التي لا تزال بحاجة إلى تأكيد.
يكفي وجود نقطة بداية واضحة واحدة.
مناقشة متطلبات الحفر
بإمكان فريق التوريد والدعم لدينا تنظيم المعلومات المتاحة، وتضييق نطاق الطلب، وتوجيه النقاش نحو المعدات أو الاستبدال أو قطع الغيار أو استكشاف الأخطاء وإصلاحها.
قبل التسليم وبعد الوصول
ينبغي أن يوضح عرض الأسعار ونطاق التسليم بوضوح الآلة المحددة، والعناصر الداعمة المتفق عليها، ومسؤوليات التعبئة والشحن، وقطع الغيار الأساسية، وفترة الضمان والدعم.
تأكيد الآلة ونطاق الطلب
- الآلات والبنود المتفق عليها
يرجى التأكد من الشركة المصنعة، والطراز الكامل، والحالة المعروفة، والموقع الحالي، والمعدات أو الملحقات المشمولة في عرض الأسعار.
- فك التركيب والتعبئة والشحن
الجهة المسؤولة عن عمليات فك التركيب، والتعبئة والتغليف للتصدير، والتحميل، والشحن، والتسليم إلى الميناء أو الموقع المتفق عليه.
- قطع الغيار الأساسية والدعم
قم بمراجعة قطع الغيار المفيدة وتأكد من الضمان وفترة الخدمة والدعم الفني وعملية الإبلاغ الخاصة بالطلب المحدد.
افحص قبل التشغيل
- قائمة التعبئة والتسليم
قم بتسجيل حالة التفريغ والأضرار الظاهرة، ثم تحقق من الآلة والحجرة والرقم التسلسلي والعناصر الداعمة المتفق عليها.
- المرافق وشروط التركيب
تأكد من وجود الكهرباء والغازات والفراغ والعادم والتبريد والظروف البيئية وأقفال النقل قبل تشغيل النظام.
- أبلغ عن أي حالة غير طبيعية
يرجى تقديم الصور والفيديو ومعلومات الإنذار والرقم التسلسلي وملصق القطعة ووصف واضح حتى يمكن مراجعة الخطوة التالية.
بإمكان فريق فني وخدمي ذو خبرة مواصلة تقديم المساعدة بعد التسليم.
ناقش الدعم أو قطع الغيار
عندما تظهر أسئلة أثناء فحص الاستلام، أو التحضير للتثبيت، أو مراجعة بدء التشغيل، أو فحص الإنذار، أو مطابقة قطع الغيار، يمكننا المساعدة في فرز المعلومات، ومراجعة اتجاه المشكلة المحتمل، وتنسيق الخطوة العملية التالية بدلاً من ترك المشتري لحل كل شيء بمفرده.
الأسئلة الشائعة حول معدات حفر أشباه الموصلات
أسئلة شائعة حول الحفر الجاف، والحفر الرطب، وتقنية الحفر التفاعلي الأيوني (RIE)، وتقنية الحفر التفاعلي الأيوني بالبلازما المقترنة حثيًا (ICP-RIE)، وتقنية الحفر التفاعلي الأيوني بالبلازما المقترنة حثيًا (DRIE)، والمعدات المستعملة وقطع الغيار.
ما الفرق بين الحفر الجاف والحفر الرطب؟
تستخدم عملية الحفر الجاف الغازات أو البلازما أو المواد التفاعلية، وعادةً ما تتم في غرفة مفرغة من الهواء. أما عملية الحفر الرطب فتستخدم مواد كيميائية سائلة في أجهزة الدفعات أو الرش أو أجهزة الرقاقات المفردة. وتختلف متطلبات العملية من حيث خصائصها وانتقائيتها والمواد المستخدمة والمرافق.
ما الفرق بين RIE و ICP-RIE و DRIE؟
يُعدّ الحفر التفاعلي الأيوني (RIE) أسلوبًا شائعًا للحفر الجاف الموجه. يستخدم الحفر التفاعلي الأيوني بالبلازما المقترنة حثيًا (ICP-RIE) مصدر بلازما عالي الكثافة مع تحكم أكثر استقلالية في كثافة البلازما وانحياز الرقاقة. يرتبط الحفر التفاعلي الأيوني العميق (DRIE) بشكل أساسي بالسيليكون العميق والهياكل ذات النسبة العالية بين الطول والعرض، مثل تطبيقات الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS) أو الوصلات الرأسية عبر السيليكون (TSV).
هل يمكنك تحديد نظام النقش من صورة أو لوحة اسم؟
قد تكون صورة الآلة أو لوحة الاسم أو ملصق الحجرة أو شاشة التحكم أو ملصق الجزء كافية لتحديد عائلة المنصة وتحديد المعلومات الإضافية المفيدة.
هل يمكن لجهاز حفر مستعمل معالجة مادة الرقاقة الخاصة بنا؟
ربما، لكن الإجابة تعتمد على المادة، والشكل المستهدف، وحجم الرقاقة، وتكوين الحجرة، ومصدر البلازما، وتوصيل الغاز، ونظام الترددات الراديوية، والتحكم في درجة الحرارة، وتاريخ عملية الجهاز المحدد.
هل يمكنك توفير جهاز حفر أو غرفة حفر غير مدرجة حاليًا؟
يمكنك إرسال اسم الشركة المصنعة المستهدفة، والطراز، واسم الحجرة، والصورة، أو متطلبات العملية. بعد ذلك، يمكن مراجعة التوافر الحالي، وخيارات التوريد، أو توجيهات الاستبدال الممكنة دون افتراض التوافق مسبقًا.
هل تقومون بتوفير قطع غيار لمعدات حفر أشباه الموصلات؟
يمكن مراجعة طلبات قطع الغيار حسب الشركة المصنعة، أو الطراز، أو الحجرة، أو رقم القطعة، أو الملصق، أو الصورة. ويعتمد التوفر على القطعة المحددة والكمية المتوفرة حاليًا.
أرسل متطلباتك لمعدات الحفر
ابدأ بتحديد الطراز، ولوحة الاسم، وصورة الجهاز، وملصق الحجرة، وحجم الرقاقة، والمادة، ونتيجة حفر الهدف، ووصف العطل، أو رقم قطعة الغيار. يمكننا مراجعة توجه المعدات، وتوافرها الحالي، والخطوة التقنية أو التجارية التالية.