Khắc
Loại bỏ phần vật liệu đã được phơi sáng và chuyển mẫu in thạch bản lên màng phim hoặc tấm bán dẫn.
Họa tiết được chuyển vào vật liệu
Thiết bị sản xuất wafer đầu cuối
Thiết bị khắc bán dẫn và hệ thống khắc plasma
Tìm hiểu về thiết bị khắc bán dẫn đã qua sử dụng dùng cho việc loại bỏ vật liệu, truyền mẫu, loại bỏ chất cản quang và các quy trình liên quan đến wafer. Gửi model, tên máy, ảnh máy, kích thước wafer, vật liệu hoặc yêu cầu mua hàng để bắt đầu xem xét các thiết bị phù hợp và các lựa chọn tìm nguồn cung ứng.
Khắc khô và khắc plasma
RIE và ICP-RIE
BA
Dải Asher và Resist
Cách thức khắc axit truyền tải một mẫu hình xác định vào vật liệu
Quá trình lắng đọng màng mỏng tạo thành lớp vật liệu, kỹ thuật in thạch bản xác định các vùng được bảo vệ và vùng tiếp xúc, quá trình khắc loại bỏ vật liệu đã chọn, và đo lường cùng kiểm tra xác minh cấu trúc thu được. Trình tự chính xác thay đổi tùy thuộc vào lớp, kiến trúc thiết bị và sự tích hợp quy trình.
Sự hình thành lớp
Loại bỏ vật liệu
Xác minh kết quả
Lắng đọng màng mỏng
Tạo ra lớp điện môi, dẫn điện, kim loại hoặc bán dẫn sẽ được tạo hình.
Định nghĩa mẫuIn thạch bản
Xác định các vùng được bảo vệ và vùng tiếp xúc trong chất cản quang hoặc mặt nạ cứng.
Đo lường và kiểm tra
Kiểm tra kích thước, độ sâu, hình dạng, độ đồng nhất quan trọng và các khuyết tật quy trình có thể nhìn thấy.
Thiết bị khắc bán dẫn đã qua sử dụng hiện có sẵn
Tìm kiếm các thiết bị khắc plasma, RIE, ICP-RIE, DRIE, khắc khô, máy đốt và thiết bị bóc tách chất cản quang hiện đang được sử dụng. Cấu hình máy, buồng, kích thước wafer, các tùy chọn đã lắp đặt, tình trạng đã biết và phạm vi giao hàng được xác nhận cho từng hệ thống cụ thể.
Tìm nguồn cung ứng thiết bị
Gửi yêu cầu về mô hình hoặc nền tảng
Bạn cần một nền tảng hiện không có trong danh sách?
Hãy gửi thông tin về nhà sản xuất, model, tên buồng, bảng tên, ảnh máy hoặc yêu cầu quy trình. Chúng tôi sẽ xem xét danh sách hiện có, hệ thống sắp tới và nguồn cung ứng dựa trên yêu cầu, sau đó đề xuất phương án phù hợp nhất tiếp theo.
Danh sách hiện tại
Đang chờ xử lý hoặc đang được xem xét
Nguồn cung cấp theo yêu cầu
Ba lộ trình này bao gồm thiết bị đã được liệt kê, các hệ thống đang được chuẩn bị để báo giá và các nền tảng bổ sung được kiểm tra thông qua quá trình tìm nguồn cung ứng sau khi yêu cầu báo giá.
Vì sao người mua cân nhắc mua thiết bị khắc axit đã qua sử dụng?
Thiết bị đã qua sử dụng có thể giúp duy trì nền tảng quy trình hiện có, thay thế hệ thống bị hỏng, tăng công suất hoặc tìm nguồn cung cấp thiết bị và phụ tùng không còn có sẵn thông qua các kênh bán thiết bị mới thông thường.
Các nền tảng đã ngừng hoạt động
Tiếp tục sử dụng dòng máy móc hiện có khi nguồn cung mới đã hết nhưng quy trình sản xuất vẫn đang diễn ra.
Thay thế và năng lực
Thay thế máy móc bị hỏng hoặc mở rộng dây chuyền sản xuất MEMS hoặc các sản phẩm chuyên dụng đã hoàn thiện bằng một nền tảng quen thuộc.
Cam kết vốn thấp hơn
Giảm chi phí đầu tư ban đầu khi một nền tảng đã qua sử dụng phù hợp có thể đáp ứng được các yêu cầu thực tế về quy trình và giao hàng.
Phụ tùng thay thế quan trọng
Xác định các bộ phận trong buồng, linh kiện RF, MFC, bơm, van, mâm cặp, gioăng hoặc cảm biến có thể giúp giảm thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch.
Hãy cho chúng tôi biết bạn cần tìm, thay thế hoặc đánh giá điều gì.
Bạn không cần bản đặc tả đầy đủ để bắt đầu. Chỉ cần chia sẻ model, tên máy, ảnh thiết bị, mục tiêu quy trình, máy hiện tại hoặc số hiệu phụ tùng, và chúng tôi sẽ giúp bạn xác định bước tiếp theo cần thiết.
Nhận dạng thiết bị
Bạn có ảnh chụp model, bảng tên hoặc thiết bị không? Chúng tôi có thể xác định dòng sản phẩm phù hợp và xác nhận những chi tiết cấu hình cần kiểm tra.
Yêu cầu về quy trình và dây chuyền
Bạn biết kích thước, vật liệu hoặc kết quả mục tiêu của tấm wafer nhưng không biết model? Chúng tôi có thể thu hẹp phạm vi thiết bị liên quan và xác định các điều kiện dây chuyền cần được kiểm chứng thêm.
Tìm nguồn cung ứng và thay thế thiết bị
Bạn đang muốn mở rộng năng lực sản xuất hoặc thay thế thiết bị hiện có? Hãy chia sẻ nền tảng hiện tại và mục tiêu sản xuất để chúng tôi có thể xem xét các lựa chọn thiết bị hiện có, sắp có và có thể cung cấp.
Hỗ trợ linh kiện và nền tảng
Bạn cần buồng đốt, mô-đun hoặc phụ tùng thay thế quan trọng? Hãy gửi model máy, số hiệu phụ tùng hoặc ảnh linh kiện để chúng tôi kiểm tra các lựa chọn cung cấp và các chi tiết cần xác nhận thêm.
Chỉ cần một điểm xuất phát rõ ràng là đủ.
Thảo luận về yêu cầu khắc axit.
Đội ngũ tìm nguồn cung ứng và hỗ trợ của chúng tôi có thể sắp xếp thông tin hiện có, thu hẹp phạm vi yêu cầu và hướng cuộc thảo luận đến thiết bị, vật tư thay thế, phụ tùng hoặc khắc phục sự cố.
Trước khi giao hàng và sau khi đến nơi
Báo giá và phạm vi giao hàng cần nêu rõ máy móc cụ thể, các phụ tùng hỗ trợ đã thỏa thuận, trách nhiệm đóng gói và vận chuyển, phụ tùng quan trọng, thời gian bảo hành và hỗ trợ.
Xác nhận máy móc và phạm vi đơn đặt hàng
- Máy móc và các hạng mục đã thỏa thuận
Vui lòng xác nhận nhà sản xuất, model đầy đủ, tình trạng hiện tại, vị trí hiện tại và các thiết bị hoặc phụ kiện đi kèm trong báo giá.
- Tháo dỡ, đóng gói và vận chuyển
Nêu rõ đơn vị chịu trách nhiệm tháo dỡ, đóng gói xuất khẩu, bốc xếp, vận chuyển và giao hàng đến cảng hoặc địa điểm đã thỏa thuận.
- Phụ tùng và hỗ trợ quan trọng
Xem xét các phụ tùng thay thế hữu ích và xác nhận chế độ bảo hành, thời gian bảo hành, hỗ trợ kỹ thuật và quy trình báo cáo cho đơn đặt hàng cụ thể.
Kiểm tra trước khi bật nguồn.
- Danh sách đóng gói và giao hàng
Ghi lại tình trạng dỡ hàng và các hư hỏng có thể nhìn thấy, sau đó xác minh máy móc, buồng chứa, số sê-ri và các vật dụng hỗ trợ đã thỏa thuận.
- Điều kiện tiện ích và lắp đặt
Trước khi vận hành hệ thống, hãy kiểm tra điện, khí, chân không, khí thải, hệ thống làm mát, điều kiện môi trường và các khóa vận chuyển.
- Báo cáo bất kỳ tình trạng bất thường nào.
Vui lòng cung cấp ảnh, video, thông tin báo động, số sê-ri, nhãn linh kiện và mô tả rõ ràng để có thể xem xét bước tiếp theo.
Đội ngũ kỹ thuật và dịch vụ giàu kinh nghiệm có thể tiếp tục hỗ trợ sau khi giao hàng.
Thảo luận về hỗ trợ hoặc phụ tùng thay thế
Khi phát sinh thắc mắc trong quá trình kiểm tra hàng hóa, chuẩn bị lắp đặt, kiểm tra khởi động, kiểm tra báo động hoặc đối chiếu phụ tùng, chúng tôi có thể giúp sắp xếp thông tin, xem xét hướng giải quyết vấn đề và phối hợp các bước thực tế tiếp theo thay vì để người mua tự giải quyết mọi việc.
Câu hỏi thường gặp về thiết bị khắc bán dẫn
Các câu hỏi thường gặp về khắc khô, khắc ướt, RIE, ICP-RIE, DRIE, thiết bị đã qua sử dụng và phụ tùng thay thế.
Sự khác biệt giữa khắc khô và khắc ướt là gì?
Khắc khô sử dụng khí, plasma hoặc các chất phản ứng, thường trong buồng chân không. Khắc ướt sử dụng hóa chất dạng lỏng trong thiết bị xử lý theo mẻ, phun hoặc trên từng tấm wafer riêng lẻ. Hồ sơ quy trình, độ chọn lọc, vật liệu và yêu cầu về thiết bị là khác nhau.
Sự khác biệt giữa RIE, ICP-RIE và DRIE là gì?
RIE là một phương pháp khắc khô định hướng phổ biến. ICP-RIE sử dụng nguồn plasma mật độ cao với khả năng kiểm soát mật độ plasma và điện áp phân cực trên wafer độc lập hơn. DRIE chủ yếu được sử dụng cho silicon sâu và các cấu trúc có tỷ lệ chiều cao trên chiều rộng cao như các ứng dụng MEMS hoặc TSV.
Bạn có thể nhận biết hệ thống khắc laser từ ảnh chụp hoặc bảng tên không?
Ảnh chụp máy, bảng tên, nhãn buồng, màn hình điều khiển hoặc nhãn bộ phận có thể đủ để xác định dòng sản phẩm và quyết định thông tin bổ sung nào hữu ích.
Máy khắc mạch đã qua sử dụng có thể xử lý vật liệu wafer của chúng ta không?
Có thể, nhưng câu trả lời phụ thuộc vào vật liệu, cấu hình mục tiêu, kích thước wafer, cấu hình buồng, nguồn plasma, hệ thống cung cấp khí, hệ thống RF, kiểm soát nhiệt độ và lịch sử quy trình của máy cụ thể.
Bạn có thể tìm giúp một máy khắc hoặc buồng khắc nào hiện không có trong danh sách không?
Bạn có thể gửi thông tin về nhà sản xuất mục tiêu, kiểu máy, tên buồng, ảnh hoặc yêu cầu quy trình. Sau đó, thông tin về tính khả dụng hiện tại, các lựa chọn tìm nguồn cung ứng hoặc hướng thay thế khả thi có thể được xem xét mà không cần giả định trước về khả năng tương thích.
Công ty bạn có cung cấp phụ tùng thay thế cho thiết bị khắc mạch bán dẫn không?
Các yêu cầu phụ tùng thay thế có thể được xem xét theo nhà sản xuất, kiểu máy, buồng đốt, số hiệu phụ tùng, nhãn hoặc hình ảnh. Tình trạng sẵn có phụ thuộc vào mặt hàng cụ thể và nguồn cung hiện tại.
Hãy gửi yêu cầu về thiết bị khắc của bạn.
Hãy bắt đầu bằng cách cung cấp thông tin về kiểu máy, bảng tên, ảnh máy, nhãn buồng, kích thước wafer, vật liệu, kết quả khắc mục tiêu, mô tả lỗi hoặc số hiệu phụ tùng. Chúng tôi có thể xem xét hướng phát triển của thiết bị, tình trạng sẵn có hiện tại và bước kỹ thuật hoặc thương mại tiếp theo.