Pengukir
Menanggalkan bahan terdedah yang dipilih dan memindahkan corak litografi ke dalam filem atau wafer.
Corak dipindahkan ke dalam bahan
Peralatan Fabrik Wafer Bahagian Hadapan
Peralatan Ukiran Semikonduktor dan Sistem Ukiran Plasma
Terokai peralatan ukiran semikonduktor terpakai untuk penyingkiran bahan, pemindahan corak, penyingkiran fotoresis dan proses wafer yang berkaitan. Hantar model, papan nama, foto mesin, saiz wafer, bahan atau keperluan pembelian untuk mula menyemak peralatan yang sesuai dan pilihan sumber.
Etsa Kering dan Plasma
RIE dan ICP-RIE
TIGA
Jalur Asher dan Resist
Bagaimana Pengukiran Memindahkan Corak yang Ditakrifkan ke dalam Bahan
Pemendapan filem nipis membentuk lapisan bahan, litografi mentakrifkan kawasan yang dilindungi dan terdedah, pengetsaan membuang bahan yang dipilih, dan metrologi serta pemeriksaan mengesahkan struktur yang terhasil. Urutan yang tepat berbeza mengikut lapisan, seni bina peranti dan penyepaduan proses.
Pembentukan Lapisan
Penyingkiran Bahan
Pengesahan Keputusan
Pemendapan Filem Nipis
Mencipta lapisan dielektrik, konduktor, logam atau semikonduktor yang akan dicorak.
Definisi CorakLitografi
Menentukan kawasan yang dilindungi dan terdedah dalam fotoresis atau topeng keras.
Metrologi & Pemeriksaan
Memeriksa dimensi kritikal, kedalaman, profil, keseragaman dan kecacatan proses yang boleh dilihat.
Peralatan Ukiran Semikonduktor Terpakai yang Tersedia
Layari peralatan pengukir plasma, RIE, ICP-RIE, DRIE, pengukir kering, asher dan jalur resist terpakai semasa. Konfigurasi mesin, ruang, saiz wafer, pilihan yang dipasang, keadaan yang diketahui dan skop penghantaran disahkan untuk sistem tertentu.
Sumber Peralatan
Hantar Permintaan Model atau Platform
Perlukan platform yang tidak disenaraikan buat masa ini?
Hantarkan pengeluar, model, nama ruang, plat nama, foto mesin atau keperluan proses. Kami boleh menyemak penyenaraian aktif, sistem masuk dan penyumberan berasaskan permintaan, kemudian menunjukkan anda pilihan seterusnya yang paling praktikal.
Penyenaraian Semasa
Akan Datang atau Dalam Semakan
Diperoleh melalui Permintaan
Tiga laluan ini merangkumi peralatan yang telah disenaraikan, sistem yang disediakan untuk sebut harga dan platform tambahan yang disemak melalui penyumberan selepas pertanyaan.
Mengapa Pembeli Mempertimbangkan Peralatan Ukiran Terpakai
Peralatan terpakai boleh membantu menyelenggara platform proses sedia ada, menggantikan sistem yang gagal, menambah kapasiti atau mendapatkan peralatan dan bahagian yang tidak lagi tersedia melalui saluran peralatan baharu biasa.
Platform yang Dihentikan
Teruskan menggunakan keluarga mesin yang sedia ada apabila bekalan baharu telah tamat tetapi prosesnya kekal dalam pengeluaran.
Penggantian dan Kapasiti
Gantikan mesin yang rosak atau kembangkan nod matang, MEMS atau barisan pengeluaran khusus dengan platform yang biasa.
Komitmen Modal yang Lebih Rendah
Kurangkan pelaburan modal apabila platform terpakai yang sesuai dapat memenuhi keperluan proses dan penyampaian sebenar.
Alat Ganti Kritikal
Kenal pasti bahagian ruang, komponen RF, MFC, pam, injap, chuck, pengedap atau sensor yang boleh membantu mengurangkan masa henti yang tidak dirancang.
Beritahu Kami Apa yang Anda Perlu Cari, Ganti atau Nilaikan
Anda tidak memerlukan spesifikasi lengkap untuk bermula. Kongsikan model, papan nama, foto peralatan, sasaran proses, mesin semasa atau nombor bahagian, dan kami akan membantu menentukan langkah praktikal seterusnya.
Pengenalpastian Peralatan
Ada gambar model, papan nama atau peralatan? Kami boleh mengenal pasti keluarga platform yang mungkin dan mengesahkan butiran konfigurasi yang perlu disemak.
Keperluan Proses dan Baris
Mengetahui saiz wafer, bahan atau hasil sasaran tetapi tidak mengetahui modelnya? Kita boleh menyempitkan julat peralatan yang berkaitan dan mengenal pasti keadaan garisan yang masih memerlukan pengesahan.
Sumber dan Penggantian Peralatan
Memperluas kapasiti atau menggantikan alat sedia ada? Kongsikan platform semasa dan objektif pengeluaran supaya kami dapat menyemak pilihan peralatan yang disenaraikan, akan datang dan boleh disumberkan.
Bahagian dan Sokongan Platform
Perlukan ruang, modul atau alat ganti kritikal? Hantarkan model mesin, nombor bahagian atau foto komponen supaya kami boleh menyemak pilihan bekalan dan butiran yang masih memerlukan pengesahan.
Satu titik permulaan yang jelas sudah memadai.
Bincangkan Keperluan Pengukir
Pasukan penyumberan dan sokongan kami boleh mengatur maklumat yang tersedia, mempersempit permintaan dan menggerakkan perbincangan ke arah peralatan, penggantian, alat ganti atau penyelesaian masalah.
Sebelum Penghantaran dan Selepas Ketibaan
Skop sebut harga dan penghantaran hendaklah menyatakan dengan jelas mesin khusus, barang sokongan yang dipersetujui, tanggungjawab pembungkusan dan penghantaran, alat ganti kritikal, jaminan dan tempoh sokongan.
Sahkan Mesin dan Skop Pesanan
- Mesin dan Item yang Dipersetujui
Sahkan pengilang, model lengkap, keadaan yang diketahui, lokasi semasa dan peralatan atau aksesori yang disertakan dalam sebut harga.
- Penyahpasangan, Pembungkusan dan Penghantaran
Negeri yang mengendalikan penyahpasangan, pembungkusan eksport, pemuatan, pengangkutan dan penghantaran ke pelabuhan atau tapak yang dipersetujui.
- Alat Ganti dan Sokongan Kritikal
Semak alat ganti yang berguna dan sahkan jaminan, tempoh servis, sokongan teknikal dan proses pelaporan untuk pesanan tertentu.
Periksa Sebelum Menghidupkan Kuasa
- Senarai Pembungkusan dan Penghantaran
Rekodkan keadaan pemunggahan dan kerosakan yang boleh dilihat, kemudian sahkan mesin, ruang, nombor siri dan item sokongan yang dipersetujui.
- Utiliti dan Syarat Pemasangan
Sahkan elektrik, gas, vakum, ekzos, penyejukan, keadaan persekitaran dan kunci pengangkutan sebelum menghidupkan sistem.
- Laporkan Sebarang Keadaan Luar Biasa
Berikan foto, video, maklumat penggera, nombor siri, label alat ganti dan penerangan yang jelas supaya langkah seterusnya dapat disemak.
Pasukan teknikal dan perkhidmatan yang berpengalaman boleh terus membantu selepas bersalin.
Bincangkan Sokongan atau Alat Ganti
Apabila timbul soalan semasa pemeriksaan resit, penyediaan pemasangan, semakan permulaan, pemeriksaan penggera atau pemadanan alat ganti, kami boleh membantu menyusun maklumat, menyemak kemungkinan hala tuju isu dan menyelaras langkah praktikal seterusnya dan bukannya membiarkan pembeli menyelesaikan semuanya sendirian.
Soalan Lazim Peralatan Ukiran Semikonduktor
Soalan lazim tentang etsa kering, etsa basah, RIE, ICP-RIE, DRIE, peralatan terpakai dan alat ganti.
Apakah perbezaan antara ukiran kering dan ukiran basah?
Pengukiran kering menggunakan gas, plasma atau spesies reaktif, biasanya dalam ruang vakum. Pengukiran basah menggunakan kimia cecair dalam peralatan kelompok, semburan atau wafer tunggal. Profil proses, selektiviti, bahan dan keperluan kemudahan adalah berbeza.
Apakah perbezaan antara RIE, ICP-RIE dan DRIE?
RIE ialah pendekatan etsa kering berarah yang biasa. ICP-RIE menggunakan sumber plasma berketumpatan tinggi dengan kawalan ketumpatan plasma dan bias wafer yang lebih bebas. DRIE terutamanya dikaitkan dengan silikon dalam dan struktur nisbah aspek tinggi seperti aplikasi MEMS atau TSV.
Bolehkah anda mengenal pasti sistem ukiran daripada foto atau papan nama?
Foto mesin, papan nama, label ruang, skrin pengawal atau label bahagian mungkin cukup untuk mengenal pasti keluarga platform dan menentukan maklumat tambahan yang berguna.
Bolehkah mesin pengukir terpakai memproses bahan wafer kita?
Mungkin, tetapi jawapannya bergantung pada bahan, profil sasaran, saiz wafer, konfigurasi ruang, sumber plasma, penghantaran gas, sistem RF, kawalan suhu dan sejarah proses mesin tertentu.
Bolehkah anda mendapatkan pengukir atau ruang yang tidak disenaraikan pada masa ini?
Anda boleh menghantar pengeluar sasaran, model, nama ruang, foto atau keperluan proses. Ketersediaan semasa, pilihan sumber atau arahan penggantian yang mungkin kemudiannya boleh disemak tanpa menganggap keserasian terlebih dahulu.
Adakah anda membekalkan alat ganti untuk peralatan ukiran semikonduktor?
Permintaan alat ganti boleh disemak oleh pengilang, model, ruang, nombor alat ganti, label atau foto. Ketersediaan bergantung pada item tertentu dan bekalan semasa.
Hantar Keperluan Peralatan Ukiran Anda
Mulakan dengan model, papan nama, foto mesin, label ruang, saiz wafer, bahan, hasil etsa sasaran, penerangan kerosakan atau nombor alat ganti. Kita boleh menyemak hala tuju peralatan, ketersediaan semasa dan langkah teknikal atau komersial seterusnya.