Radierung
Entfernt ausgewähltes belichtetes Material und überträgt das lithographische Muster auf den Film oder Wafer.
Muster auf das Material übertragen
Front-End-Wafer-Fertigungsanlagen
Halbleiter-Ätzanlagen und Plasma-Ätzsysteme
Entdecken Sie gebrauchte Ätzanlagen für die Halbleiterindustrie zur Materialabtragung, Musterübertragung, Fotolackentfernung und verwandte Waferprozesse. Senden Sie uns Modell, Typenschild, Foto der Maschine, Wafergröße, Material oder Ihre Kaufanforderungen, um passende Anlagen und Bezugsquellen zu finden.
Trocken- und Plasmaätzen
RIE und ICP-RIE
DREI
Asher und Resist Strip
Wie das Ätzen ein definiertes Muster in das Material überträgt
Die Dünnschichtabscheidung bildet die Materialschicht, die Lithografie definiert die geschützten und belichteten Bereiche, das Ätzen entfernt ausgewähltes Material, und Messtechnik und Inspektion verifizieren die resultierende Struktur. Die genaue Abfolge variiert je nach Schicht, Bauelementarchitektur und Prozessintegration.
Schichtbildung
Materialabtrag
Ergebnisüberprüfung
Dünnschichtabscheidung
Erzeugt die dielektrische, leitende, metallische oder Halbleiterschicht, die strukturiert werden soll.
MusterdefinitionLithografie
Definiert geschützte und belichtete Bereiche in Fotolack oder einer Hartmaske.
Metrologie und Inspektion
Prüft kritische Abmessungen, Tiefe, Profil, Gleichmäßigkeit und sichtbare Prozessfehler.
Verfügbare gebrauchte Halbleiterätzanlagen
Durchsuchen Sie unsere aktuellen, gebrauchten Plasma-Ätzanlagen, RIE-, ICP-RIE-, DRIE-, Trockenätz-, Asher- und Resist-Strip-Anlagen. Maschinenkonfiguration, Kammergröße, Wafergröße, installierte Optionen, bekannter Zustand und Lieferumfang sind für das jeweilige System bestätigt.
Ausrüstungsbeschaffung
Senden Sie eine Modell- oder Plattformanfrage
Benötigen Sie eine Plattform, die derzeit nicht aufgeführt ist?
Bitte senden Sie uns Hersteller, Modell, Kammerbezeichnung, Typenschild, Maschinenfoto oder Prozessanforderungen. Wir prüfen aktuelle Angebote, neu eingetroffene Systeme und anfragebasierte Beschaffungsmöglichkeiten und empfehlen Ihnen anschließend die optimale Lösung.
Aktuelle Angebote
Eingegangen oder in Bearbeitung
Auf Anfrage bereitgestellt
Diese drei Wege umfassen bereits gelistete Ausrüstung, Systeme, die für die Angebotserstellung vorbereitet werden, und zusätzliche Plattformen, die nach einer Anfrage durch Beschaffung geprüft werden.
Warum Käufer gebrauchte Ätzgeräte in Betracht ziehen
Gebrauchte Anlagen können dazu beitragen, eine bestehende Prozessplattform aufrechtzuerhalten, ein ausgefallenes System zu ersetzen, die Kapazität zu erhöhen oder Anlagen und Teile zu beschaffen, die über die normalen Vertriebskanäle für Neuanlagen nicht mehr erhältlich sind.
Eingestellte Plattformen
Setzen Sie weiterhin auf eine etablierte Maschinenfamilie, wenn die Neulieferungen eingestellt wurden, der Prozess aber weiterhin in Produktion ist.
Ersatz und Kapazität
Ersetzen Sie eine defekte Maschine oder erweitern Sie eine ausgereifte Produktionslinie für MEMS oder Spezialanwendungen mit einer vertrauten Plattform.
Geringerer Kapitaleinsatz
Reduzieren Sie den Kapitalaufwand, wenn eine geeignete gebrauchte Plattform die tatsächlichen Prozess- und Lieferanforderungen erfüllen kann.
Kritische Ersatzteile
Identifizieren Sie Kammerbauteile, HF-Komponenten, MFCs, Pumpen, Ventile, Spannfutter, Dichtungen oder Sensoren, die dazu beitragen können, ungeplante Ausfallzeiten zu reduzieren.
Teilen Sie uns mit, was Sie finden, ersetzen oder bewerten möchten.
Sie benötigen keine vollständige Spezifikation, um zu beginnen. Teilen Sie uns einfach Modell, Typenschild, ein Foto der Anlage, das Prozessziel, die aktuelle Maschine oder die Teilenummer mit, und wir helfen Ihnen, den nächsten praktischen Schritt zu definieren.
Geräteidentifizierung
Haben Sie ein Modell, ein Typenschild oder ein Foto des Geräts? Wir können die wahrscheinliche Plattformfamilie identifizieren und bestätigen, welche Konfigurationsdetails überprüft werden sollten.
Prozess- und Linienanforderungen
Kennen Sie die Wafergröße, das Material oder das Zielergebnis, aber nicht das Modell? Wir können den relevanten Gerätebereich eingrenzen und die Linienbedingungen identifizieren, die noch verifiziert werden müssen.
Beschaffung und Ersatz von Ausrüstung
Planen Sie eine Kapazitätserweiterung oder den Austausch eines bestehenden Werkzeugs? Teilen Sie uns Ihre aktuelle Plattform und Ihr Produktionsziel mit, damit wir die verfügbaren, neu eingetroffenen und beschaffbaren Geräteoptionen prüfen können.
Teile- und Plattformunterstützung
Benötigen Sie eine Kammer, ein Modul oder ein wichtiges Ersatzteil? Senden Sie uns das Maschinenmodell, die Teilenummer oder ein Foto des Bauteils, damit wir die Liefermöglichkeiten und die noch zu bestätigenden Details prüfen können.
Ein klarer Ausgangspunkt genügt.
Eine Ätzanforderung besprechen
Unser Beschaffungs- und Supportteam kann die verfügbaren Informationen ordnen, die Anfrage eingrenzen und die Diskussion auf Ausrüstung, Ersatzteilversorgung, Komponenten oder Fehlerbehebung lenken.
Vor der Lieferung und nach der Ankunft
Im Angebot und im Lieferumfang sollten die spezifische Maschine, die vereinbarten Zubehörteile, die Verantwortlichkeiten für Verpackung und Versand, die wichtigsten Ersatzteile sowie der Garantie- und Supportzeitraum klar aufgeführt werden.
Maschine und Auftragsumfang bestätigen
- Maschinen und vereinbarte Gegenstände
Bitte bestätigen Sie den Hersteller, das vollständige Modell, den bekannten Zustand, den aktuellen Standort sowie die im Angebot enthaltenen Geräte oder Zubehörteile.
- Deinstallation, Packing and Shipping
Der Staat, der für Demontage, Exportverpackung, Verladung, Fracht und Lieferung zum vereinbarten Hafen oder Bestimmungsort zuständig ist.
- Kritische Ersatzteile und Support
Prüfen Sie, ob es sich um nützliche Ersatzteile handelt und bestätigen Sie die Garantiebedingungen, die Servicezeiträume, den technischen Support und das Meldeverfahren für die jeweilige Bestellung.
Vor dem Einschalten prüfen
- Verpackungs- und Lieferliste
Dokumentieren Sie den Zustand beim Entladen und sichtbare Schäden und überprüfen Sie anschließend die Maschine, die Kammer, die Seriennummer und die vereinbarten Zubehörteile.
- Versorgungseinrichtungen und Installationsbedingungen
Vor der Inbetriebnahme des Systems die Funktionsfähigkeit von Elektrizität, Gasen, Vakuum, Abgasen, Kühlung, Umgebungsbedingungen und Transportsicherungen prüfen.
- Melden Sie jeden ungewöhnlichen Zustand
Bitte stellen Sie Fotos, Videos, Alarminformationen, die Seriennummer, das Teileetikett und eine genaue Beschreibung bereit, damit der nächste Schritt geprüft werden kann.
Ein erfahrenes Technik- und Serviceteam steht Ihnen auch nach der Lieferung weiterhin zur Verfügung.
Besprechen Sie Support oder Ersatzteile
Wenn bei der Wareneingangskontrolle, der Installationsvorbereitung, der Inbetriebnahmeprüfung, der Alarmprüfung oder der Ersatzteilzuordnung Fragen auftauchen, können wir helfen, die Informationen zu ordnen, die wahrscheinliche Problemursache zu ermitteln und den nächsten praktischen Schritt zu koordinieren, anstatt den Käufer mit der Lösung aller Probleme allein zu lassen.
FAQ zu Ätzanlagen für Halbleiter
Häufig gestellte Fragen zu Trockenätzen, Nassätzen, RIE, ICP-RIE, DRIE, gebrauchten Geräten und Ersatzteilen.
Worin besteht der Unterschied zwischen Trockenätzen und Nassätzen?
Beim Trockenätzen werden Gase, Plasma oder reaktive Spezies eingesetzt, üblicherweise in einer Vakuumkammer. Beim Nassätzen werden flüssige Chemikalien in Batch-, Sprüh- oder Einzelwaferanlagen verwendet. Prozessprofil, Selektivität, Materialien und Anlagenanforderungen unterscheiden sich.
Worin besteht der Unterschied zwischen RIE, ICP-RIE und DRIE?
RIE ist ein gängiges gerichtetes Trockenätzverfahren. ICP-RIE nutzt eine Plasmaquelle hoher Dichte mit präziserer Steuerung der Plasmadichte und der Wafer-Vorspannung. DRIE wird hauptsächlich für tiefe Siliziumstrukturen und Strukturen mit hohem Aspektverhältnis wie MEMS oder TSV-Anwendungen eingesetzt.
Können Sie ein Ätzsystem anhand eines Fotos oder eines Typenschilds identifizieren?
Ein Foto der Maschine, ein Typenschild, ein Kammeretikett, ein Controller-Bildschirm oder ein Teileetikett können ausreichen, um die Plattformfamilie zu identifizieren und festzustellen, welche zusätzlichen Informationen nützlich sind.
Kann ein gebrauchter Ätzapparat unser Wafermaterial bearbeiten?
Möglich, aber die Antwort hängt vom Material, dem Zielprofil, der Wafergröße, der Kammerkonfiguration, der Plasmaquelle, der Gaszufuhr, dem HF-System, der Temperaturregelung und der Prozessgeschichte der jeweiligen Maschine ab.
Können Sie eine Ätzanlage oder -kammer beschaffen, die derzeit nicht gelistet ist?
Sie können den Zielhersteller, das Modell, den Kammernamen, ein Foto oder die Prozessanforderungen angeben. Anschließend können die aktuelle Verfügbarkeit, Bezugsquellen oder mögliche Ersatzlieferungen geprüft werden, ohne dass die Kompatibilität im Voraus angenommen werden muss.
Liefern Sie Ersatzteile für Halbleiterätzanlagen?
Ersatzteilanfragen können nach Hersteller, Modell, Kammer, Teilenummer, Etikett oder Foto eingesehen werden. Die Verfügbarkeit hängt vom jeweiligen Artikel und dem aktuellen Lagerbestand ab.
Senden Sie uns Ihre Anforderungen an die Ätzausrüstung.
Beginnen Sie mit Angaben zu Modell, Typenschild, Maschinenfoto, Kammerbeschriftung, Wafergröße, Material, Zielätzergebnis, Fehlerbeschreibung oder Ersatzteilnummer. Wir können dann die Ausrichtung der Anlage, die aktuelle Verfügbarkeit und die nächsten technischen oder kommerziellen Schritte prüfen.