Akwaforta
Usuwa wybrany naświetlony materiał i przenosi wzór litograficzny na folię lub płytkę.
Wzór przeniesiony na materiał
Sprzęt do produkcji płytek półprzewodnikowych
Sprzęt do trawienia półprzewodników i systemy trawienia plazmowego
Zapoznaj się z używanym sprzętem do trawienia półprzewodników, który umożliwia usuwanie materiału, przenoszenie wzorów, usuwanie fotorezystu i pokrewne procesy obróbki płytek półprzewodnikowych. Prześlij model, tabliczkę znamionową, zdjęcie maszyny, rozmiar płytki, materiał lub wymagania dotyczące zakupu, aby rozpocząć przegląd odpowiedniego sprzętu i opcji zaopatrzenia.
Trawienie na sucho i plazmowo
RIE i ICP-RIE
TRZY
Pasek Asher i Resist
Jak trawienie przenosi zdefiniowany wzór na materiał
Osadzanie cienkich warstw tworzy warstwę materiału, litografia definiuje obszary chronione i odsłonięte, trawienie usuwa wybrany materiał, a metrologia i kontrola weryfikują uzyskaną strukturę. Dokładna kolejność różni się w zależności od warstwy, architektury urządzenia i integracji procesu.
Tworzenie warstw
Usuwanie materiału
Weryfikacja wyników
Osadzanie cienkich warstw
Tworzy warstwę dielektryczną, przewodzącą, metalową lub półprzewodnikową, która będzie wzorowana.
Definicja wzorcaLitografia
Definiuje obszary chronione i odsłonięte za pomocą fotorezystu lub twardej maski.
Metrologia i inspekcja
Sprawdzanie krytycznych wymiarów, głębokości, profilu, jednolitości i widocznych wad procesu.
Dostępny używany sprzęt do trawienia półprzewodników
Przeglądaj aktualnie używane urządzenia do trawienia plazmowego, RIE, ICP-RIE, DRIE, trawienia na sucho, polerowania i obróbki pasków ochronnych. Konfiguracja maszyny, komora, rozmiar płytki, zainstalowane opcje, znany stan i zakres dostawy są potwierdzone dla konkretnego systemu.
Zaopatrzenie w sprzęt
Wyślij prośbę o model lub platformę
Potrzebujesz platformy, której obecnie nie ma na liście?
Prześlij dane producenta, model, nazwę komory, tabliczkę znamionową, zdjęcie maszyny lub wymagania procesowe. Możemy przejrzeć aktywne oferty, systemy przychodzące i źródła oparte na żądaniach, a następnie wskazać Ci najbardziej praktyczną opcję.
Aktualne oferty
Przychodzące lub w trakcie przeglądu
Źródło: żądanie
Te trzy ścieżki obejmują sprzęt już wymieniony, systemy przygotowywane do wyceny oraz dodatkowe platformy sprawdzane poprzez sourcing na podstawie zapytania.
Dlaczego kupujący rozważają używany sprzęt do trawienia
Używany sprzęt może pomóc w utrzymaniu istniejącej platformy procesowej, wymianie uszkodzonego systemu, zwiększeniu wydajności lub pozyskaniu sprzętu i części, które nie są już dostępne w ramach normalnych kanałów sprzedaży nowego sprzętu.
Wycofane platformy
Kontynuuj korzystanie z istniejącej rodziny maszyn, gdy nowe dostawy się skończą, ale proces pozostanie w produkcji.
Wymiana i pojemność
Wymień uszkodzoną maszynę lub rozbuduj linię produkcyjną o dojrzały węzeł, MEMS lub specjalistyczną, korzystając ze znanej platformy.
Niższe zaangażowanie kapitałowe
Zredukuj nakłady inwestycyjne, jeśli odpowiednia platforma może spełnić rzeczywiste wymagania dotyczące procesu i dostawy.
Krytyczne części zamienne
Zidentyfikuj części komory, komponenty RF, MFC, pompy, zawory, uchwyty, uszczelnienia lub czujniki, które mogą pomóc w ograniczeniu nieplanowanych przestojów.
Powiedz nam, co musisz znaleźć, wymienić lub ocenić
Nie potrzebujesz pełnej specyfikacji, aby zacząć. Podaj model, tabliczkę znamionową, zdjęcie urządzenia, cel procesu, numer aktualnej maszyny lub części, a my pomożemy Ci określić kolejny praktyczny krok.
Identyfikacja sprzętu
Masz model, tabliczkę znamionową lub zdjęcie sprzętu? Możemy zidentyfikować prawdopodobną rodzinę platform i potwierdzić, które szczegóły konfiguracji należy sprawdzić.
Wymagania dotyczące procesu i linii
Znasz rozmiar płytki, materiał lub wynik docelowy, ale nie znasz modelu? Możemy zawęzić zakres odpowiedniego sprzętu i zidentyfikować warunki linii, które nadal wymagają weryfikacji.
Zaopatrzenie i wymiana sprzętu
Zwiększasz wydajność lub wymieniasz istniejące narzędzie? Podziel się aktualną platformą i celem produkcyjnym, abyśmy mogli przeanalizować dostępne opcje sprzętu – zarówno te dostępne w ofercie, jak i te dostępne u dostawców.
Części i wsparcie platformy
Potrzebujesz komory, modułu lub ważnej części zamiennej? Prześlij nam model maszyny, numer części lub zdjęcie podzespołu, abyśmy mogli sprawdzić opcje dostawy i szczegóły, które wciąż wymagają potwierdzenia.
Wystarczy jeden wyraźny punkt wyjścia.
Omów wymagania dotyczące trawienia
Nasz zespół ds. zaopatrzenia i wsparcia może uporządkować dostępne informacje, zawęzić zakres zapytania i skierować dyskusję na temat sprzętu, wymiany, części lub rozwiązywania problemów.
Przed dostawą i po przybyciu
Oferta cenowa i zakres dostawy powinny jasno określać konkretną maszynę, uzgodnione elementy pomocnicze, obowiązki dotyczące pakowania i wysyłki, niezbędne części zamienne, gwarancję i okres wsparcia.
Potwierdź maszynę i zakres zamówienia
- Maszyna i uzgodnione pozycje
Potwierdź producenta, kompletny model, znany stan, aktualną lokalizację oraz sprzęt lub akcesoria ujęte w ofercie.
- Deinstalacja, pakowanie i wysyłka
Określ, kto zajmuje się deinstalacją, pakowaniem eksportowym, załadunkiem, frachtem i dostawą do uzgodnionego portu lub miejsca.
- Krytyczne części zamienne i wsparcie
Przejrzyj przydatne części zamienne i potwierdź gwarancję, okres serwisowania, wsparcie techniczne i proces raportowania dla konkretnego zamówienia.
Sprawdź przed włączeniem zasilania
- Lista opakowań i dostaw
Zanotuj stan rozładunku i widoczne uszkodzenia, a następnie sprawdź maszynę, komorę, numer seryjny i uzgodnione elementy uzupełniające.
- Media i warunki instalacji
Przed podłączeniem systemu do zasilania należy sprawdzić jego parametry elektryczne, gazowe, próżnię, układ wydechowy, chłodzenie, warunki środowiskowe i zabezpieczenia transportowe.
- Zgłoś każdy nieprawidłowy stan
Dostarcz zdjęcia, nagranie wideo, informacje o alarmie, numer seryjny, etykietę części i jasny opis, aby można było omówić kolejny krok.
Doświadczony zespół techniczny i serwisowy może nadal świadczyć usługi po dostawie.
Omów wsparcie lub części zamienne
Gdy podczas kontroli przy odbiorze, przygotowywania instalacji, przeglądu rozruchu, sprawdzania alarmów lub dopasowywania części zamiennych pojawią się pytania, możemy pomóc w uporządkowaniu informacji, przeanalizowaniu prawdopodobnego kierunku problemu i skoordynowaniu następnego praktycznego kroku zamiast pozostawiać kupującego z samym sobą w celu rozwiązania wszystkich problemów.
Najczęściej zadawane pytania dotyczące sprzętu do trawienia półprzewodników
Często zadawane pytania dotyczące trawienia na sucho, trawienia na mokro, RIE, ICP-RIE, DRIE, używanego sprzętu i części zamiennych.
Jaka jest różnica pomiędzy trawieniem na sucho i na mokro?
Trawienie na sucho wykorzystuje gazy, plazmę lub substancje reaktywne, zazwyczaj w komorze próżniowej. Trawienie na mokro wykorzystuje chemię płynną w urządzeniach wsadowych, natryskowych lub do obróbki pojedynczych płytek. Profil procesu, selektywność, materiały i wymagania dotyczące instalacji są różne.
Jaka jest różnica pomiędzy RIE, ICP-RIE i DRIE?
RIE to powszechnie stosowana metoda kierunkowego trawienia na sucho. ICP-RIE wykorzystuje źródło plazmy o wysokiej gęstości, z bardziej niezależną kontrolą gęstości plazmy i polaryzacji płytki. DRIE jest kojarzone głównie z głębokimi strukturami krzemowymi i strukturami o dużym współczynniku kształtu, takimi jak MEMS lub TSV.
Czy potrafisz rozpoznać system trawienia na podstawie zdjęcia lub tabliczki znamionowej?
Zdjęcie maszyny, tabliczka znamionowa, etykieta komory, ekran kontrolera lub etykieta części mogą wystarczyć do zidentyfikowania rodziny platform i ustalenia, jakie dodatkowe informacje są przydatne.
Czy używana trawiarka może obrabiać nasz materiał waflowy?
Być może, ale odpowiedź zależy od materiału, profilu docelowego, rozmiaru płytki, konfiguracji komory, źródła plazmy, dostarczania gazu, systemu RF, kontroli temperatury i historii procesu konkretnej maszyny.
Czy możesz znaleźć trawiarkę lub komorę, której obecnie nie ma na liście?
Możesz przesłać dane docelowego producenta, model, nazwę komory, zdjęcie lub wymagania procesowe. Aktualna dostępność, opcje zaopatrzenia lub możliwe kierunki wymiany mogą zostać sprawdzone bez zakładania z góry zgodności.
Czy dostarczają Państwo części zamienne do urządzeń do trawienia półprzewodników?
Zapytania o części zamienne można przeglądać według producenta, modelu, komory, numeru części, etykiety lub zdjęcia. Dostępność zależy od konkretnego produktu i aktualnej podaży.
Wyślij swoje zapotrzebowanie na sprzęt do trawienia
Zacznij od modelu, tabliczki znamionowej, zdjęcia maszyny, etykiety komory, rozmiaru płytki, materiału, docelowego wyniku trawienia, opisu usterki lub numeru części zamiennej. Możemy przeanalizować kierunek rozwoju sprzętu, aktualną dostępność oraz kolejny krok techniczny lub komercyjny.