Gravure
Enlève la matière exposée sélectionnée et transfère le motif lithographique sur le film ou la plaquette.
Motif transféré dans le matériau
Équipement de fabrication de plaquettes de silicium en amont
Équipements de gravure pour semi-conducteurs et systèmes de gravure plasma
Découvrez notre gamme d'équipements d'occasion pour la gravure de semi-conducteurs : enlèvement de matière, transfert de motifs, élimination de résine photosensible et autres procédés de traitement de plaquettes. Pour commencer à étudier les équipements adaptés et les options d'approvisionnement, veuillez nous indiquer le modèle, la plaquette signalétique, une photo de la machine, la taille de la plaquette, le matériau ou vos besoins d'achat.
Gravure à sec et au plasma
RIE et ICP-RIE
TROIS
Bande Asher et Resist
Comment la gravure permet de transférer un motif défini dans le matériau
Le dépôt de couches minces forme la couche de matériau, la lithographie définit les zones protégées et exposées, la gravure enlève le matériau sélectionné, et la métrologie et l'inspection vérifient la structure résultante. La séquence exacte varie selon la couche, l'architecture du dispositif et l'intégration du procédé.
Formation de couches
Enlèvement de matériaux
Vérification des résultats
Dépôt de couches minces
Crée la couche diélectrique, conductrice, métallique ou semi-conductrice qui sera structurée.
Définition du modèleLithographie
Définit les régions protégées et exposées dans une résine photosensible ou un masque dur.
Métrologie et inspection
Contrôle les dimensions critiques, la profondeur, le profil, l'uniformité et les défauts de processus visibles.
Équipements de gravure de semi-conducteurs d'occasion disponibles
Consultez notre catalogue d'équipements d'occasion pour la gravure plasma, la gravure RIE, ICP-RIE, DRIE, la gravure sèche, le décapage et le décapage de résine. La configuration de la machine, la chambre, la taille des plaquettes, les options installées, l'état connu et les détails de la livraison sont confirmés pour chaque système.
Approvisionnement en équipements
Envoyer une demande de modèle ou de plateforme
Vous avez besoin d'une plateforme qui n'est pas actuellement répertoriée ?
Veuillez nous communiquer le fabricant, le modèle, le nom de la chambre, la plaque signalétique, une photo de la machine ou vos exigences de processus. Nous examinerons les annonces en cours, les systèmes en cours de livraison et les demandes d'approvisionnement afin de vous orienter vers la solution la plus adaptée.
Annonces actuelles
En cours d'examen ou à venir
Fourni par demande
Ces trois voies couvrent les équipements déjà répertoriés, les systèmes en cours de préparation pour le devis et les plateformes supplémentaires vérifiées par le biais de la recherche de fournisseurs après demande de renseignements.
Pourquoi les acheteurs envisagent-ils l'achat d'équipements de gravure d'occasion ?
Le matériel d'occasion peut permettre de maintenir une plateforme de processus existante, de remplacer un système défaillant, d'augmenter la capacité ou de se procurer des équipements et des pièces qui ne sont plus disponibles par les circuits d'approvisionnement habituels en matériel neuf.
Plateformes abandonnées
Continuez à utiliser une gamme de machines éprouvée lorsque les nouveaux approvisionnements sont terminés mais que le processus reste en production.
Remplacement et capacité
Remplacez une machine défaillante ou étendez une ligne de production mature, MEMS ou spécialisée avec une plateforme familière.
Engagement de capital réduit
Réduisez les investissements en capital lorsqu'une plateforme d'occasion adaptée peut répondre aux exigences réelles en matière de processus et de livraison.
Pièces de rechange critiques
Identifiez les pièces de la chambre, les composants RF, les MFC, les pompes, les vannes, les mandrins, les joints ou les capteurs qui peuvent contribuer à réduire les temps d'arrêt imprévus.
Dites-nous ce que vous devez trouver, remplacer ou évaluer
Vous n'avez pas besoin d'une spécification complète pour commencer. Partagez-nous un modèle, une plaque signalétique, une photo de l'équipement, l'objectif du processus, la machine actuelle ou le numéro de pièce, et nous vous aiderons à définir la prochaine étape pratique.
Identification des équipements
Vous disposez d'une photo du modèle, de la plaque signalétique ou de l'équipement ? Nous pouvons identifier la famille de plateformes probable et confirmer les détails de configuration à vérifier.
Exigences relatives aux processus et aux lignes
Vous connaissez la taille de la plaquette, le matériau ou le résultat cible, mais pas le modèle ? Nous pouvons restreindre la gamme d’équipements concernés et identifier les conditions de ligne qui nécessitent encore une vérification.
Approvisionnement et remplacement d'équipements
Vous souhaitez augmenter votre capacité de production ou remplacer un outil existant ? Veuillez nous indiquer votre plateforme actuelle et vos objectifs de production afin que nous puissions examiner les équipements disponibles, en cours de livraison ou pouvant être approvisionnés.
Assistance pour les pièces et la plateforme
Vous avez besoin d'une chambre, d'un module ou d'une pièce de rechange essentielle ? Envoyez-nous le modèle de la machine, la référence de la pièce ou une photo du composant afin que nous puissions vérifier les options d'approvisionnement et les détails qui nécessitent encore une confirmation.
Un seul point de départ clair suffit.
Discuter des exigences en matière de gravure
Notre équipe d'approvisionnement et d'assistance peut organiser les informations disponibles, cibler la demande et orienter la discussion vers l'équipement, le remplacement, les pièces détachées ou le dépannage.
Avant la livraison et après l'arrivée
Le devis et le périmètre de livraison doivent clairement indiquer la machine concernée, les éléments de support convenus, les responsabilités en matière d'emballage et d'expédition, les pièces de rechange critiques, ainsi que la période de garantie et d'assistance.
Confirmer la machine et le périmètre de la commande
- Machine et articles convenus
Veuillez confirmer le fabricant, le modèle complet, l'état connu, l'emplacement actuel et l'équipement ou les accessoires inclus dans le devis.
- Désinstallation, emballage et expédition
L’État qui prend en charge la désinstallation, l’emballage pour l’exportation, le chargement, le transport et la livraison au port ou au site convenu.
- Pièces de rechange critiques et assistance
Examinez les pièces de rechange utiles et confirmez la garantie, la période de service, le support technique et le processus de signalement pour la commande spécifique.
Inspection avant mise sous tension
- Liste d'emballage et de livraison
Consignez les conditions de déchargement et les dommages visibles, puis vérifiez la machine, la chambre, le numéro de série et les éléments de support convenus.
- Conditions d'utilisation et d'installation
Vérifiez l'alimentation électrique, les gaz, le vide, l'échappement, le refroidissement, les conditions environnementales et les verrous de transport avant de mettre le système sous tension.
- Signalez toute anomalie.
Fournissez des photos, une vidéo, les informations sur l'alarme, le numéro de série, l'étiquette de la pièce et une description claire afin que la prochaine étape puisse être examinée.
Une équipe technique et de service expérimentée peut continuer à vous aider après la livraison.
Discutez de l'assistance ou des pièces de rechange
Lorsque des questions surgissent lors du contrôle à la réception, de la préparation à l'installation, de la vérification de la mise en service, du contrôle des alarmes ou de la compatibilité des pièces de rechange, nous pouvons vous aider à trier les informations, à examiner la direction probable du problème et à coordonner la prochaine étape pratique au lieu de laisser l'acheteur tout résoudre seul.
FAQ sur les équipements de gravure de semi-conducteurs
Questions fréquentes sur la gravure sèche, la gravure humide, la gravure RIE, la gravure ICP-RIE, la gravure DRIE, les équipements d'occasion et les pièces détachées.
Quelle est la différence entre la gravure sèche et la gravure humide ?
La gravure sèche utilise des gaz, du plasma ou des réactifs, généralement sous vide. La gravure humide, quant à elle, utilise des procédés chimiques liquides, par lots, par pulvérisation ou sur plaquette unique. Le profil du procédé, la sélectivité, les matériaux et les exigences des installations diffèrent.
Quelle est la différence entre RIE, ICP-RIE et DRIE ?
La gravure RIE est une technique courante de gravure sèche directionnelle. La gravure RIE à plasma à couplage inductif (ICP-RIE) utilise une source de plasma haute densité permettant un contrôle plus précis de la densité du plasma et de la polarisation de la plaquette. La gravure RIE directionnelle (DRIE) est principalement utilisée pour les couches profondes de silicium et les structures à fort rapport d'aspect, telles que les MEMS ou les interconnexions traversantes (TSV).
Pouvez-vous identifier un système de gravure à partir d'une photo ou d'une plaque signalétique ?
Une photo de la machine, une plaque signalétique, une étiquette de chambre, un écran de contrôleur ou une étiquette de pièce peuvent suffire à identifier la famille de plateformes et à déterminer quelles informations supplémentaires sont utiles.
Un graveur d'occasion peut-il traiter notre matériau de plaquette ?
C’est possible, mais la réponse dépend du matériau, du profil cible, de la taille de la plaquette, de la configuration de la chambre, de la source de plasma, de l’alimentation en gaz, du système RF, du contrôle de la température et de l’historique de traitement de la machine spécifique.
Pouvez-vous trouver un graveur ou une chambre de gravure qui ne figure pas actuellement sur la liste ?
Vous pouvez nous communiquer le fabricant, le modèle, le nom de la chambre, une photo ou les exigences du processus. La disponibilité actuelle, les options d'approvisionnement et les solutions de remplacement possibles pourront alors être examinées sans présupposer de compatibilité.
Fournissez-vous des pièces de rechange pour les équipements de gravure de semi-conducteurs ?
Les demandes de pièces détachées peuvent être consultées par fabricant, modèle, chambre, référence, étiquette ou photo. La disponibilité dépend de la pièce et des stocks disponibles.
Envoyez-nous vos besoins en équipement de gravure
Commencez par nous fournir le modèle, la plaque signalétique, une photo de la machine, l'étiquette de la chambre, la taille de la plaquette, le matériau, le résultat de gravure souhaité, la description du défaut ou la référence de la pièce détachée. Nous pourrons ainsi examiner l'évolution de l'équipement, sa disponibilité actuelle et les prochaines étapes techniques ou commerciales.