Офорт
Удаляет выбранный экспонированный материал и переносит литографический рисунок на пленку или подложку.
Рисунок перенесен на материал
Оборудование для производства полупроводниковых пластин на начальном этапе
Оборудование для травления полупроводников и системы плазменного травления
Изучите предложения по подержанному оборудованию для травления полупроводников, используемому для удаления материала, переноса рисунка, удаления фоторезиста и других подобных процессов на пластинах. Отправьте модель, заводскую табличку, фотографию оборудования, размер пластины, материал или требования к закупке, чтобы начать поиск подходящего оборудования и вариантов поставок.
Сухое и плазменное травление
RIE и ICP-RIE
ТРИ
Шлифовальная и противоскользящая полоса
Как травление переносит заданный рисунок на материал
Нанесение тонкой пленки формирует слой материала, литография определяет защищенные и открытые области, травление удаляет выбранный материал, а метрология и контроль качества подтверждают полученную структуру. Точная последовательность действий варьируется в зависимости от слоя, архитектуры устройства и интеграции технологического процесса.
Формирование слоев
Удаление материала
Проверка результатов
Осаждение тонких пленок
Создает диэлектрический, проводящий, металлический или полупроводниковый слой, на который будет наноситься рисунок.
Определение шаблонаЛитография
Определяет защищенные и открытые области в фоторезисте или твердой маске.
Метрология и контроль качества
Проверяет критические размеры, глубину, профиль, однородность и видимые дефекты процесса.
Доступно бывшее в употреблении оборудование для травления полупроводников.
Ознакомьтесь с ассортиментом используемого в настоящее время оборудования для плазменного травления, реактивного ионного травления (RIE), индуктивно связанного реактивного ионного травления (ICP-RIE), сухого реактивного ионного травления (DRIE), ашеринга и удаления резиста. Конфигурация оборудования, камера, размер пластины, установленные опции, известное состояние и комплектация поставки уточняются для конкретной системы.
Поиск поставщиков оборудования
Отправить запрос на модель или платформу
Нужна платформа, которой пока нет в списке?
Отправьте информацию о производителе, модели, названии камеры, заводской табличке, фотографии оборудования или технологическом процессе. Мы сможем просмотреть актуальные предложения, поступающие системы и запросы на поставку, а затем предложить вам наиболее практичный вариант.
Актуальные объявления
Входящие или находящиеся на рассмотрении
Получено по запросу.
Эти три направления охватывают уже указанное оборудование, системы, готовящиеся к коммерческому предложению, а также дополнительные платформы, проверяемые в процессе поиска поставщиков после получения запроса.
Почему покупатели рассматривают покупку подержанного травильного оборудования
Бывшее в употреблении оборудование может помочь в поддержании существующей технологической платформы, замене вышедшей из строя системы, увеличении производственных мощностей или приобретении оборудования и комплектующих, которые больше не доступны через обычные каналы поставки нового оборудования.
Платформы, прекратившие свою работу
Продолжайте использовать уже зарекомендовавшее себя семейство машин, даже если поставки новых машин закончились, но производственный процесс по-прежнему находится в эксплуатации.
Замена и мощность
Замените вышедшее из строя оборудование или расширьте производственную линию, использующую проверенные технологические процессы, MEMS-технологии или специализированные решения, с помощью уже зарекомендовавшей себя платформы.
Снижение объема капитальных вложений
Сократите капиталовложения, если подходящая подержанная платформа может удовлетворить реальные требования к процессам и доставке.
Критические запасные части
Выявите компоненты камеры, радиочастотные компоненты, микроэлектрохимические элементы, насосы, клапаны, патроны, уплотнения или датчики, которые могут помочь сократить незапланированные простои.
Расскажите нам, что вам нужно найти, заменить или оценить.
Для начала вам не потребуется полная спецификация. Предоставьте модель, заводскую табличку, фотографию оборудования, целевые параметры процесса, текущий номер машины или детали, и мы поможем определить следующие практические шаги.
Идентификация оборудования
У вас есть модель, заводская табличка или фотография оборудования? Мы можем определить вероятное семейство платформ и подтвердить, какие параметры конфигурации следует проверить.
Технологические и линейные требования
Знаете размер пластины, материал или целевой результат, но не знаете модель? Мы можем сузить круг подходящего оборудования и определить условия линии, которые еще нуждаются в проверке.
Поиск и замена оборудования
Расширяете производственные мощности или заменяете существующее оборудование? Сообщите о текущей платформе и производственных целях, чтобы мы могли рассмотреть имеющиеся в наличии, поступающие и доступные варианты оборудования.
Поддержка комплектующих и платформы
Нужна камера, модуль или важная запасная часть? Отправьте модель машины, номер детали или фотографию компонента, чтобы мы могли проверить варианты поставки и уточнить детали.
Достаточно одной четкой отправной точки.
Обсудите требования к травлению.
Наша команда по закупкам и поддержке может систематизировать имеющуюся информацию, сузить круг запроса и перевести обсуждение в сторону оборудования, замены, запчастей или устранения неполадок.
До доставки и после прибытия
В коммерческом предложении и объеме поставки должны быть четко указаны конкретная машина, согласованные сопутствующие элементы, обязанности по упаковке и отгрузке, критически важные запасные части, гарантийный и сервисный периоды.
Подтвердите оборудование и объем заказа.
- Оборудование и согласованные позиции
Уточните производителя, полную модель, известное состояние, текущее местоположение, а также оборудование или аксессуары, включенные в коммерческое предложение.
- Демонтаж, упаковка и отправка
Укажите, кто занимается демонтажем, экспортной упаковкой, погрузкой, фрахтом и доставкой в согласованный порт или на площадку.
- Важные запасные части и поддержка
Проверьте наличие необходимых запасных частей и уточните условия гарантии, срок обслуживания, техническую поддержку и порядок оформления заказа.
Проверьте перед включением питания.
- Упаковочный и транспортный лист
Зафиксируйте состояние при разгрузке и видимые повреждения, затем проверьте машину, камеру, серийный номер и согласованные вспомогательные элементы.
- Коммунальные услуги и условия установки
Перед включением системы убедитесь в наличии электричества, газов, вакуума, выхлопных газов, системы охлаждения, а также в исправности транспортных замков.
- Сообщайте о любых отклонениях от нормы.
Предоставьте фотографии, видеозапись, информацию о тревоге, серийный номер, маркировку детали и четкое описание, чтобы можно было рассмотреть дальнейшие шаги.
Опытная команда технических специалистов и сервисных работников может продолжить оказывать помощь и после доставки.
Обсудите вопросы технической поддержки или запасных частей.
Когда в процессе приемки, подготовки к установке, проверки при запуске, проверки сигнализации или подбора запасных частей возникают вопросы, мы можем помочь разобраться в информации, оценить вероятное направление проблемы и скоординировать дальнейшие практические действия, вместо того чтобы оставлять покупателя решать все проблемы самостоятельно.
Часто задаваемые вопросы об оборудовании для травления полупроводников
Часто задаваемые вопросы о сухом травлении, влажном травлении, RIE, ICP-RIE, DRIE, бывшем в употреблении оборудовании и запасных частях.
В чём разница между сухим и влажным травлением?
Сухое травление использует газы, плазму или реактивные частицы, обычно в вакуумной камере. Влажное травление использует жидкие химические вещества в пакетном, распылительном или однопластинчатом оборудовании. Профиль процесса, селективность, материалы и требования к оборудованию различаются.
В чём разница между RIE, ICP-RIE и DRIE?
RIE — это распространённый метод направленного сухого травления. ICP-RIE использует источник плазмы высокой плотности с более независимым контролем плотности плазмы и смещения подложки. DRIE в основном применяется для глубоких кремниевых структур и структур с высоким соотношением сторон, таких как MEMS или TSV.
Можно ли определить систему травления по фотографии или табличке?
Для идентификации семейства платформ и определения того, какая дополнительная информация является полезной, может быть достаточно фотографии станка, заводской таблички, этикетки камеры, экрана контроллера или маркировки детали.
Может ли бывший в употреблении травильный аппарат обработать наш материал для кремниевых пластин?
Возможно, но ответ зависит от материала, профиля мишени, размера пластины, конфигурации камеры, источника плазмы, подачи газа, радиочастотной системы, контроля температуры и истории технологического процесса конкретного оборудования.
Можете ли вы найти травильную камеру или камеру, которых в настоящее время нет в каталоге?
Вы можете указать целевого производителя, модель, название камеры, фотографию или требования к технологическому процессу. После этого можно будет оценить текущую доступность, варианты поставок или возможные варианты замены, не предполагая заранее совместимость.
Вы поставляете запасные части для оборудования для травления полупроводников?
Запросы на запасные части можно просматривать по производителю, модели, типу камеры, номеру детали, этикетке или фотографии. Наличие зависит от конкретного изделия и текущих запасов.
Отправьте ваши требования к травильному оборудованию.
Начните с модели, заводской таблички, фотографии оборудования, маркировки камеры, размера пластины, материала, результата травления мишени, описания неисправности или номера запасной части. Мы можем оценить направление развития оборудования, текущую доступность и следующий технический или коммерческий шаг.