Etsen
Verwijdert geselecteerd belicht materiaal en brengt het lithografische patroon over op de film of wafer.
Het patroon is overgebracht in het materiaal.
Front-End Wafer Fab-apparatuur
Apparatuur voor het etsen van halfgeleiders en plasma-etssystemen
Ontdek gebruikte halfgeleider-etsapparatuur voor materiaalverwijdering, patroonoverdracht, fotolakverwijdering en aanverwante waferprocessen. Stuur ons een model, typeplaatje, machinefoto, waferformaat, materiaal of aankoopvereiste om geschikte apparatuur en inkoopmogelijkheden te bekijken.
Droog- en plasma-etsen
RIE en ICP-RIE
DRIE
Asher en Weerstandsstrip
Hoe etsen een gedefinieerd patroon in het materiaal overbrengt.
Dunnefilmdepositie vormt de materiaallaag, lithografie definieert de beschermde en blootgestelde gebieden, etsen verwijdert geselecteerd materiaal en metrologie en inspectie verifiëren de resulterende structuur. De exacte volgorde varieert per laag, apparaatarchitectuur en procesintegratie.
Laagvorming
Materiaalverwijdering
Resultaatverificatie
Dunnefilmafzetting
Hiermee wordt de diëlektrische, geleidende, metalen of halfgeleiderlaag gecreëerd die van een patroon zal worden voorzien.
PatroondefinitieLithografie
Hiermee worden beschermde en blootgestelde gebieden in fotolak of een hard masker gedefinieerd.
Metrologie en inspectie
Controleert kritische afmetingen, diepte, profiel, uniformiteit en zichtbare fabricagefouten.
Beschikbare gebruikte halfgeleideretsapparatuur
Bekijk de actuele, gebruikte plasma-etsmachines, RIE-, ICP-RIE-, DRIE-, droogets-, as- en resist-stripapparatuur. De machineconfiguratie, kamer, wafergrootte, geïnstalleerde opties, bekende staat en leveringsomvang worden voor het specifieke systeem bevestigd.
Apparatuurinkoop
Een model- of platformaanvraag indienen
Zoekt u een platform dat momenteel niet in de lijst staat?
Stuur ons de fabrikant, het model, de naam van de kamer, het typeplaatje, een foto van de machine of de procesvereisten. We kunnen de actuele aanbiedingen, binnenkomende systemen en aanvragen bekijken en u vervolgens doorverwijzen naar de meest geschikte optie.
Actuele aanbiedingen
In behandeling of in beoordeling
Bron: Aanvraag
Deze drie trajecten omvatten apparatuur die al op de lijst staat, systemen waarvoor een offerte wordt voorbereid en aanvullende platforms die na een aanvraag via de leveranciersmarkt worden onderzocht.
Waarom kopers kiezen voor gebruikte etsapparatuur
Gebruikte apparatuur kan helpen bij het onderhouden van een bestaand procesplatform, het vervangen van een defect systeem, het vergroten van de capaciteit of het verkrijgen van apparatuur en onderdelen die niet langer via de normale kanalen voor nieuwe apparatuur verkrijgbaar zijn.
Stopgezette platforms
Blijf een bestaande machinefamilie gebruiken wanneer de aanvoer van nieuwe machines is gestopt, maar het proces nog steeds in productie is.
Vervanging en capaciteit
Vervang een defecte machine of breid een beproefde productielijn voor MEMS of specialistische producten uit met een vertrouwd platform.
Lagere kapitaalverplichting
Verlaag de kapitaalinvestering wanneer een geschikt bestaand platform kan voldoen aan de daadwerkelijke proces- en leveringsvereisten.
Kritische reserveonderdelen
Identificeer kameronderdelen, RF-componenten, MFC's, pompen, kleppen, spankoppen, afdichtingen of sensoren die kunnen helpen om ongeplande stilstand te verminderen.
Vertel ons wat u moet vinden, vervangen of beoordelen.
U hoeft geen complete specificatie te verstrekken om te beginnen. Deel het model, het typeplaatje, een foto van de apparatuur, het beoogde proces, het huidige machine- of onderdeelnummer, en wij helpen u de volgende praktische stap te bepalen.
Apparatuuridentificatie
Heeft u een foto van het model, het typeplaatje of de apparatuur? Dan kunnen we de waarschijnlijke platformfamilie identificeren en bevestigen welke configuratiegegevens gecontroleerd moeten worden.
Proces- en lijnvereisten
Kent u de wafergrootte, het materiaal of het gewenste resultaat, maar niet het model? Wij kunnen het relevante apparatuurbereik verkleinen en de lijncondities identificeren die nog geverifieerd moeten worden.
Inkoop en vervanging van apparatuur
Capaciteit uitbreiden of een bestaande machine vervangen? Deel uw huidige platform en productiedoelstelling, zodat we de beschikbare, toekomstige en verkrijgbare apparatuuropties kunnen bekijken.
Onderdelen en platformondersteuning
Heeft u een kamer, module of een cruciaal reserveonderdeel nodig? Stuur ons het machinemodel, het onderdeelnummer of een foto van het onderdeel, zodat we de leveringsmogelijkheden en de nog te bevestigen details kunnen controleren.
Eén duidelijk uitgangspunt is voldoende.
Bespreek een etsvereiste.
Ons inkoop- en ondersteuningsteam kan de beschikbare informatie ordenen, de aanvraag verfijnen en het gesprek richten op apparatuur, vervanging, onderdelen of probleemoplossing.
Voor de levering en na aankomst
De offerte en leveringsomvang moeten duidelijk de specifieke machine, de overeengekomen ondersteunende artikelen, de verantwoordelijkheden voor verpakking en verzending, kritieke reserveonderdelen, garantie en ondersteuningsperiode vermelden.
Bevestig de machine en de orderomvang
- Machine en overeengekomen artikelen
Bevestig de fabrikant, het volledige model, de bekende staat, de huidige locatie en de apparatuur of accessoires die in de offerte zijn inbegrepen.
- Demontage, verpakking en verzending
De staat die verantwoordelijk is voor de demontage, exportverpakking, laden, transport en levering naar de overeengekomen haven of locatie.
- Essentiële reserveonderdelen en ondersteuning
Bekijk de bruikbare reserveonderdelen en bevestig de garantie, de serviceperiode, de technische ondersteuning en de meldingsprocedure voor de specifieke bestelling.
Controleer vóór het inschakelen.
- Verpakking en leveringslijst
Noteer de loscondities en zichtbare schade, en controleer vervolgens de machine, de laadruimte, het serienummer en de overeengekomen ondersteunende items.
- Nutsvoorzieningen en installatievoorwaarden
Controleer de elektriciteit, gassen, vacuüm, uitlaatgassen, koeling, omgevingsomstandigheden en transportbeveiliging voordat u het systeem inschakelt.
- Meld elke abnormale situatie.
Lever foto's, video's, alarminformatie, serienummer, onderdeelnummer en een duidelijke beschrijving aan, zodat de volgende stap kan worden beoordeeld.
Een ervaren technisch en serviceteam kan u ook na de levering blijven helpen.
Ondersteuning of reserveonderdelen bespreken
Wanneer er vragen ontstaan tijdens de ontvangstcontrole, de voorbereiding van de installatie, de opstartcontrole, de alarmcontrole of het zoeken naar reserveonderdelen, kunnen wij helpen de informatie te ordenen, de mogelijke oorzaak van het probleem te achterhalen en de volgende praktische stappen te coördineren, in plaats van de koper alles alleen te laten oplossen.
Veelgestelde vragen over halfgeleideretsapparatuur
Veelgestelde vragen over droogetsen, natetsen, RIE, ICP-RIE, DRIE, gebruikte apparatuur en reserveonderdelen.
Wat is het verschil tussen droog etsen en nat etsen?
Droog etsen maakt gebruik van gassen, plasma of reactieve stoffen, meestal in een vacuümkamer. Nat etsen maakt gebruik van vloeibare chemicaliën in batch-, spuit- of single-wafer-apparatuur. Het procesprofiel, de selectiviteit, de materialen en de eisen aan de apparatuur verschillen.
Wat is het verschil tussen RIE, ICP-RIE en DRIE?
RIE is een veelgebruikte, gerichte droogetstechniek. ICP-RIE maakt gebruik van een plasmabron met hoge dichtheid, waardoor de plasmadichtheid en de waferspanning onafhankelijker kunnen worden geregeld. DRIE wordt voornamelijk toegepast bij diepe siliciumlagen en structuren met een hoge aspectverhouding, zoals MEMS- of TSV-toepassingen.
Kun je een etssysteem herkennen aan de hand van een foto of naamplaatje?
Een foto van de machine, het typeplaatje, het label op de kamer, het scherm van de controller of het label op een onderdeel kan voldoende zijn om de platformfamilie te identificeren en te bepalen welke aanvullende informatie nuttig is.
Kan een gebruikte etsmachine ons wafermateriaal verwerken?
Mogelijk, maar het antwoord hangt af van het materiaal, het doelprofiel, de wafergrootte, de kamerconfiguratie, de plasmabron, de gastoevoer, het RF-systeem, de temperatuurregeling en de procesgeschiedenis van de specifieke machine.
Kunt u een etser of etskamer vinden die momenteel niet in de lijst staat?
U kunt de gewenste fabrikant, het model, de naam van de kamer, een foto of de procesvereisten doorgeven. De huidige beschikbaarheid, inkoopmogelijkheden of mogelijke vervangingsopties kunnen vervolgens worden bekeken, zonder dat vooraf compatibiliteit hoeft te worden aangenomen.
Levert u reserveonderdelen voor halfgeleideretsapparatuur?
Reserveonderdelen kunnen worden aangevraagd op basis van fabrikant, model, kamer, onderdeelnummer, label of foto. De beschikbaarheid is afhankelijk van het specifieke artikel en de actuele voorraad.
Stuur ons uw specificaties voor etsapparatuur.
Begin met het model, het typeplaatje, een foto van de machine, het label van de kamer, de wafergrootte, het materiaal, het beoogde etsresultaat, een foutomschrijving of het onderdeelnummer. We kunnen dan de ontwikkelingsrichting van de apparatuur, de huidige beschikbaarheid en de volgende technische of commerciële stap bespreken.