يُعدّ جهاز Canon Anelva FC7100 نظام ترسيب فيزيائي للبخار من النوع العنقودي بقطر 300 مم، وقد طُوّر خصيصًا لتطبيقات الترسيب بالرش لأشباه الموصلات المتقدمة، بما في ذلك تطبيقات البوابات المعدنية ذات ثابت العزل الكهربائي العالي. صُمّمت هذه المنصة لترسيب طبقات رقيقة من المعادن والأغشية التفاعلية بشكل مُتحكّم به.
تُصنّف شركة كانون أنيلفا جهاز FC7100 كمنصة إنتاجية للترسيب بالرش، توفر تجانسًا عاليًا للطبقة الرقيقة على المستوى الذري، وتحكمًا دقيقًا في سُمكها، وترسيبًا تفاعليًا مستقرًا. وقد ذُكر أن الجهاز المستعمل المذكور دخل الخدمة في عام 2011، إلا أن مواصفاته الدقيقة وحالته الراهنة بحاجة إلى تأكيد.
المواصفات الرئيسية لكاميرا كانون أنيلفا FC7100
| الشركة المصنعة | كانون أنيلفا |
|---|---|
| نموذج | FC7100 |
| نوع المعدات | نظام الترسيب بالرش الفيزيائي للبخار من النوع العنقودي |
| حجم الرقاقة المدعوم | رقائق السيليكون بقطر 300 مم / 12 بوصة |
| العملية الأساسية | الترسيب الفيزيائي للبخار والرش التفاعلي |
| التطبيق المنشور الأساسي | تشكيل طبقة بوابة معدنية عالية السماحية |
| الحد الأقصى للوحدات المثبتة | ما يصل إلى خمس وحدات في المنصة المنشورة |
| أنواع الوحدات القابلة للتكوين | الترسيب بالرش، والحفر، والأكسدة، والتسخين، حسب التكوين |
| بنية النظام | منصة التجميع |
| سنة الخدمة المدرجة | 2011، وفقًا لصفحة المعدات المتاحة |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، وتكوين الوحدة، وتأكيد الفحص |
ميزات المعدات الرئيسية
مصمم لرقائق أشباه الموصلات بقطر 300 مم
تكوين المجموعة يدعم وحدات معالجة متعددة
ما يصل إلى خمس وحدات مثبتة في بنية النظام الأساسي المنشورة
توحيد الفيلم على المستوى الذري والتحكم الدقيق في السماكة
التذرية التفاعلية المستقرة في أوضاع المعدن والهدف المسموم
وحدات اختيارية للحفر والأكسدة والتسخين
التطبيقات النموذجية
يُستخدم جهاز FC7100 بشكل أساسي في ترسيب البوابات المعدنية ذات العازل العالي (high-k) للأجهزة المنطقية. كما تُدرج شركة Canon Anelva تطبيقاته في الدوائر الطرفية وتصنيع مستشعرات الصور بتقنية CMOS.
تعتمد الأفلام الدقيقة وتسلسل العملية على الكاثودات المُثبّتة، والمواد المستهدفة، وترتيب الحجرة، ونظام الغاز التفاعلي، والوحدات الداعمة. ولا ينبغي اعتبار قدرة المنصة دليلاً على وجود جميع الوحدات في النظام المستخدم.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد الرقم التسلسلي للحاسوب الرئيسي، وعدد ونوع غرف المعالجة، وتكوين الكاثود، والمواد المستهدفة، ومصادر الطاقة RF أو DC، وخطوط الغاز التفاعلي، ومضخات التفريغ، وروبوت معالجة الرقائق، ومنافذ التحميل، وبرامج التحكم.
قد تحتوي أنظمة البوابات المعدنية ذات العازل العالي على سجلات خاصة بكل عملية. لذا، ينبغي مراجعة المواد السابقة، وتلوث الحجرة، والأهداف المتبقية، ومجموعات المعالجة المتاحة قبل التخطيط لتطبيق ترسيب جديد.
طلب معلومات عن كاميرا كانون أنيلفا FC7100
تواصل مع فريقنا للتحقق من مدى توفر جهاز Canon Anelva FC7100 المستعمل حاليًا. يرجى تزويدنا بمعلومات عن مجموعة الأفلام المستهدفة، وحجم الرقاقة، وتسلسل الوحدات المطلوبة، والمواد المستهدفة، والبلد المقصود، وجدول التركيب.
اتصل بنا للحصول على صور المعدات الحالية، وقائمة الغرف، وتكوين الكاثود، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هو حجم الرقاقة التي تعالجها آلة FC7100؟
تم تصميم منصة FC7100 المنشورة لرقائق أشباه الموصلات التي يبلغ قطرها 300 مم أو 12 بوصة.
ما هو التطبيق الأساسي لـ FC7100؟
يتمثل تطبيقها المنشور الرئيسي في ترسيب البوابات المعدنية ذات العازل العالي، على الرغم من أن تكوين الحجرة المثبتة يحدد العمليات الفعلية المتاحة.
كم عدد وحدات المعالجة التي يمكن للمنصة دعمها؟
تدعم طابعة Canon Anelva ما يصل إلى خمس وحدات مثبتة. يجب التأكد من عدد الوحدات الموجودة على الجهاز المستخدم.
هل تتضمن كل وحدة FC7100 وحدات الأكسدة والحفر؟
لا. عمليات الحفر والأكسدة والتسخين هي أنواع وحدات قابلة للتكوين. يجب التحقق من وجودها من قائمة الحجرات وصور الجهاز.
