Система Canon Anelva FC7100 представляет собой кластерную систему физического осаждения из паровой фазы с диаметром пор 300 мм, разработанную для нанесения покрытий из высокодиэлектрических металлических затворов и других перспективных полупроводниковых материалов методом магнетронного распыления. Платформа предназначена для контролируемого осаждения тонких металлических и реактивных пленок.
Компания Canon Anelva позиционирует FC7100 как производственную платформу для магнетронного распыления, обеспечивающую однородность пленки на атомном уровне, точный контроль толщины и стабильное реактивное распыление. Указанная бывшая в употреблении установка, как сообщается, была введена в эксплуатацию в 2011 году, но точная комбинация модулей и текущее состояние требуют подтверждения.
Основные характеристики фотоаппарата Canon Anelva FC7100
| Производитель | Канон Анельва |
|---|---|
| Модель | FC7100 |
| Тип оборудования | Кластерная система PVD-распыления |
| Поддерживаемые размеры пластин | 300 мм / 12-дюймовые пластины |
| Первичный процесс | Физическое осаждение из паровой фазы и реактивное распыление |
| Основное опубликованное приложение | Формирование пленки из высокодиэлектрического металлического затвора |
| Максимальное количество установленных модулей | До пяти модулей в опубликованной платформе |
| Настраиваемые типы модулей | В зависимости от конфигурации выполняются следующие процессы: распыление, травление, окисление и нагрев. |
| Архитектура системы | Кластерная платформа |
| Указанный год службы | 2011 год, согласно информации на странице с описанием доступного оборудования. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, соответствия конфигурации модуля и подтверждения результатов проверки. |
Основные характеристики оборудования
Предназначен для полупроводниковых пластин диаметром 300 мм.
Конфигурация кластера, поддерживающая несколько технологических модулей.
В опубликованной архитектуре платформы может быть установлено до пяти модулей.
Однородность пленки на атомном уровне и точный контроль толщины.
Стабильное реактивное распыление в режимах с металлическими и отравленными мишенями.
Дополнительные модули травления, оксидирования и нагрева
Типичные области применения
Микросхема FC7100 в основном используется для нанесения высококачественного металлического затвора на логические устройства. Компания Canon Anelva также указывает на её применение в периферийных схемах и производстве КМОП-датчиков изображения.
Точные параметры пленок и последовательность технологических процессов зависят от установленных катодов, материалов мишени, компоновки камеры, системы реактивного газа и вспомогательных модулей. Возможности платформы не следует рассматривать как подтверждение наличия каждого модуля в используемой системе.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Перед предоставлением коммерческого предложения заказчику следует подтвердить серийный номер мэйнфрейма, количество и тип технологических камер, конфигурацию катода, материалы мишени, источники питания ВЧ или постоянного тока, линии подачи реактивного газа, вакуумные насосы, робот для обработки пластин, загрузочные порты и программное обеспечение управления.
Системы с металлическими затворами и высоким значением диэлектрической проницаемости могут иметь специфическую для процесса историю использования камеры. Поэтому перед планированием нового процесса осаждения следует проанализировать предыдущие материалы, загрязнение камеры, оставшиеся мишени и доступные технологические комплекты.
Запросить информацию о Canon Anelva FC7100
Свяжитесь с нашей командой, чтобы узнать о наличии бывших в употреблении фотоаппаратов Canon Anelva FC7100. Пожалуйста, укажите тип используемой пленки, размер пластины, необходимую последовательность модулей, материалы мишени, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами, чтобы получить фотографии текущего оборудования, список камер, конфигурацию катодов, информацию о ходе проверки и коммерческое предложение.
Часто задаваемые вопросы
Какие размеры кремниевых пластин обрабатывает FC7100?
Опубликованная платформа FC7100 предназначена для полупроводниковых пластин диаметром 300 мм, или 12 дюймов.
Каково основное применение FC7100?
Основное опубликованное применение этого метода — осаждение методом магнетронного распыления высокодиэлектрических металлических затворов, хотя конфигурация установленной камеры определяет фактически доступные процессы.
Сколько технологических модулей может поддерживать платформа?
В описании Canon Anelva указано, что поддерживается установка до пяти модулей. Необходимо подтвердить количество модулей, установленных на используемом устройстве.
Входит ли в комплект каждой модели FC7100 модуль для оксидирования и травления?
Нет. Травление, окисление и нагрев — это настраиваемые типы модулей. Их наличие следует проверить по списку камер и фотографиям оборудования.
