Canon Anelva FC7100 là hệ thống lắng đọng hơi vật lý dạng cụm 300 mm được phát triển cho các ứng dụng lắng đọng bán dẫn cổng kim loại có hằng số điện môi cao và các ứng dụng lắng đọng phún xạ bán dẫn tiên tiến khác. Nền tảng này được thiết kế để lắng đọng có kiểm soát các màng kim loại mỏng và màng phản ứng.
Canon Anelva xác định FC7100 là một nền tảng lắng đọng phún xạ sản xuất, cung cấp độ đồng nhất màng ở cấp độ nguyên tử, kiểm soát độ dày chính xác và lắng đọng phún xạ phản ứng ổn định. Máy đã qua sử dụng được liệt kê được báo cáo là bắt đầu hoạt động vào năm 2011, nhưng sự kết hợp mô-đun chính xác và tình trạng hiện tại của nó cần được xác nhận.
Thông số kỹ thuật chính của máy in Canon Anelva FC7100
| Nhà sản xuất | Giáo sĩ Anelva |
|---|---|
| Người mẫu | FC7100 |
| Loại thiết bị | Hệ thống lắng đọng PVD kiểu cụm |
| Kích thước wafer được hỗ trợ | Tấm wafer 300 mm / 12 inch |
| Quá trình chính | lắng đọng hơi vật lý và phun phản ứng |
| Ứng dụng chính đã được công bố | Sự hình thành màng cổng kim loại có hằng số điện môi cao |
| Số mô-đun tối đa được cài đặt | Tối đa năm mô-đun trên nền tảng đã xuất bản |
| Các loại mô-đun có thể cấu hình | Phun phủ, khắc, oxy hóa và gia nhiệt, tùy thuộc vào cấu hình. |
| Kiến trúc hệ thống | Nền tảng cụm |
| Năm dịch vụ được liệt kê | Năm 2011, theo trang thông tin về trang thiết bị hiện có. |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào lượng hàng tồn kho hiện tại, cấu hình mô-đun và xác nhận kiểm tra. |
Các tính năng chính của thiết bị
Được thiết kế cho tấm bán dẫn 300 mm.
Cấu hình cụm hỗ trợ nhiều mô-đun quy trình
Tối đa năm mô-đun được cài đặt trong kiến trúc nền tảng đã công bố.
Độ đồng nhất của màng phim ở cấp độ nguyên tử và khả năng kiểm soát độ dày chính xác.
Quá trình phún xạ phản ứng ổn định trong chế độ kim loại và mục tiêu bị nhiễm bẩn.
Các mô-đun khắc, oxy hóa và gia nhiệt tùy chọn
Ứng dụng điển hình
FC7100 chủ yếu được sử dụng trong quá trình lắng đọng lớp cổng kim loại có hằng số điện môi cao cho các thiết bị logic. Canon Anelva cũng liệt kê các ứng dụng trong mạch ngoại vi và sản xuất cảm biến hình ảnh CMOS.
Các loại phim và trình tự quy trình cụ thể phụ thuộc vào các catốt được lắp đặt, vật liệu đích, bố trí buồng, hệ thống khí phản ứng và các mô-đun hỗ trợ. Khả năng của nền tảng không nên được coi là sự xác nhận rằng mọi mô-đun đều có mặt trên hệ thống được sử dụng.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Trước khi báo giá, khách hàng cần xác nhận số sê-ri của máy chủ, số lượng và loại buồng xử lý, cấu hình catốt, vật liệu đích, nguồn điện RF hoặc DC, đường dẫn khí phản ứng, bơm chân không, robot xử lý wafer, cổng nạp và phần mềm điều khiển.
Các hệ thống cổng kim loại có hằng số điện môi cao (high-k) có thể có lịch sử buồng lắng đọng đặc thù theo từng quy trình. Do đó, cần xem xét lại các vật liệu đã sử dụng, sự nhiễm bẩn trong buồng lắng đọng, các mục tiêu còn lại và bộ dụng cụ xử lý hiện có trước khi lập kế hoạch cho một ứng dụng lắng đọng mới.
Yêu cầu thông tin về máy in Canon Anelva FC7100
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy Canon Anelva FC7100 đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp thông tin về loại phim mục tiêu, kích thước wafer, trình tự mô-đun yêu cầu, vật liệu mục tiêu, quốc gia đích và lịch trình lắp đặt.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để nhận ảnh thiết bị hiện tại, danh sách buồng đốt, cấu hình cực âm, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy FC7100 có thể xử lý tấm wafer kích thước bao nhiêu?
Nền tảng FC7100 được công bố được thiết kế cho các tấm bán dẫn có kích thước 300 mm, hay 12 inch.
Ứng dụng chính của FC7100 là gì?
Ứng dụng chính được công bố của nó là lắng đọng phún xạ cổng kim loại có hằng số điện môi cao, mặc dù cấu hình buồng được lắp đặt sẽ quyết định các quy trình thực tế có sẵn.
Nền tảng này có thể hỗ trợ bao nhiêu mô-đun quy trình?
Canon Anelva hỗ trợ tối đa năm mô-đun được cài đặt. Cần xác nhận số lượng mô-đun hiện có trên máy đang sử dụng.
Liệu mọi thiết bị FC7100 đều bao gồm các mô-đun oxy hóa và khắc?
Không. Khắc, oxy hóa và gia nhiệt là các loại mô-đun có thể cấu hình. Sự hiện diện của chúng cần được xác minh từ danh sách buồng và hình ảnh máy.
