Canon Anelva FC7100 to klastrowy system fizycznego osadzania z fazy gazowej o średnicy 300 mm, opracowany do zastosowań w rozpylaniu metalicznym o wysokiej stałej dielektrycznej (high-k) i innych zaawansowanych zastosowaniach półprzewodnikowych. Platforma została zaprojektowana do kontrolowanego osadzania cienkich warstw metalicznych i reaktywnych.
Firma Canon Anelva identyfikuje FC7100 jako platformę do rozpylania produkcyjną, oferującą jednorodność warstwy na poziomie atomowym, precyzyjną kontrolę grubości i stabilne rozpylanie reaktywne. Wymieniona używana maszyna została zgłoszona jako oddana do użytku w 2011 roku, ale jej dokładna kombinacja modułów i obecny stan wymagają potwierdzenia.
Główne dane techniczne Canon Anelva FC7100
| Producent | Kanonik Anelva |
|---|---|
| Model | FC7100 |
| Typ sprzętu | System rozpylania PVD typu klastrowego |
| Obsługiwany rozmiar wafla | Wafle 300 mm / 12-calowe |
| Proces podstawowy | Fizyczne osadzanie z fazy gazowej i reaktywne rozpylanie |
| Główna opublikowana aplikacja | Tworzenie filmu z bramką metalową o wysokiej stałej dielektrycznej |
| Maksymalna liczba zainstalowanych modułów | Do pięciu modułów w opublikowanej platformie |
| Konfigurowalne typy modułów | Rozpylanie, trawienie, utlenianie i podgrzewanie, w zależności od konfiguracji |
| Architektura systemu | Platforma klastrowa |
| Rok wymienionej służby | 2011, według dostępnej strony sprzętu |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, konfiguracji modułu i potwierdzenia inspekcji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Zaprojektowany dla płytek półprzewodnikowych o średnicy 300 mm
Konfiguracja klastra obsługująca wiele modułów procesowych
Do pięciu zainstalowanych modułów w opublikowanej architekturze platformy
Jednorodność filmu na poziomie atomowym i precyzyjna kontrola grubości
Stabilne reaktywne rozpylanie w trybach metalu i zatrutego celu
Opcjonalne moduły trawienia, utleniania i ogrzewania
Typowe zastosowania
Proces FC7100 jest głównie związany z osadzaniem metalowej bramki o wysokiej stałej dielektrycznej (high-k) w układach logicznych. Firma Canon Anelva wymienia również zastosowania w układach peryferyjnych i produkcji matryc CMOS.
Dokładne warstwy i sekwencja procesu zależą od zainstalowanych katod, materiałów docelowych, układu komory, systemu gazów reaktywnych i modułów pomocniczych. Możliwości platformy nie powinny być traktowane jako potwierdzenie, że w używanym systemie są obecne wszystkie moduły.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Przed sporządzeniem wyceny klienci powinni potwierdzić numer seryjny komputera centralnego, liczbę i typ komór procesowych, konfigurację katod, materiały docelowe, zasilacze RF lub DC, przewody gazów reaktywnych, pompy próżniowe, robota do obsługi płytek półprzewodnikowych, porty obciążenia i oprogramowanie sterujące.
Systemy z bramką metalową o wysokiej stałej dielektrycznej (high-k) mogą mieć specyficzne dla danego procesu historie komór. Dlatego przed zaplanowaniem nowego zastosowania osadzania należy przeanalizować poprzednie materiały, zanieczyszczenie komory, pozostałe tarcze i dostępne zestawy procesowe.
Poproś o informacje dotyczące Canon Anelva FC7100
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanej naświetlarki Canon Anelva FC7100. Prosimy o podanie docelowego stosu folii, rozmiaru płytki, wymaganej sekwencji modułów, materiałów docelowych, kraju docelowego oraz harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać aktualne zdjęcia sprzętu, listę komór, konfigurację katod, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie rozmiary płytek przetwarza FC7100?
Opublikowana platforma FC7100 jest przeznaczona do płytek półprzewodnikowych o średnicy 300 mm, czyli 12 cali.
Jakie jest główne zastosowanie FC7100?
Jego głównym opublikowanym zastosowaniem jest napylanie jonowe z bramką metalową o wysokiej stałej dielektrycznej, aczkolwiek konfiguracja zainstalowanej komory determinuje faktycznie dostępne procesy.
Ile modułów procesowych jest w stanie obsłużyć platforma?
Canon Anelva zapewnia obsługę do pięciu zainstalowanych modułów. Należy potwierdzić liczbę modułów na używanym komputerze.
Czy każdy FC7100 zawiera moduły utleniania i trawienia?
Nie. Trawienie, utlenianie i nagrzewanie to konfigurowalne typy modułów. Ich obecność należy zweryfikować na podstawie listy komór i zdjęć maszyny.
