يُعدّ جهاز SAMCO PD-3800L نظامًا لترسيب البخار الكيميائي المُعزز بالبلازما، وهو مُصمم لترسيب الأغشية الرقيقة المصنوعة من السيليكون على دفعات. يتم وضع عدة رقائق على صينية حاملة كبيرة ومعالجتها معًا في حجرة التفاعل.
تشمل التطبيقات المنشورة ترسيب أكسيد السيليكون، ونيتريد السيليكون، وأوكسي نيتريد السيليكون، والسيليكون غير المتبلور. صُمم هذا النظام للتطبيقات التي تتطلب إنتاجية عالية على دفعات، وتجانسًا في طبقة التغليف، والتحكم في الإجهاد، ومعالجة قابلة للتكرار.
المواصفات الرئيسية لـ SAMCO PD-3800L
| الشركة المصنعة | سامكو |
|---|---|
| نموذج | PD-3800L |
| نوع المعدات | نظام PECVD الدفعي ذو قفل التحميل |
| تقنية الترسيب | الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما |
| أقصى مساحة للمعالجة | مساحة صينية حاملة بقطر 360 مم تقريبًا |
| تحميل الرقاقة المنشورة | يمكن استيعاب رقائق السيليكون حتى مقاس 9 × 3 بوصة، أو 6 × 4 بوصة، أو 3 × 6 بوصة، وذلك حسب صينية الحمل. |
| مواد الفيلم المنشورة | SiO2، SiN، SiON والسيليكون غير المتبلور |
| أمثلة على العمليات المنشورة | SiH4-SiNx، SiH4-SiO2، SiNx السائل الأولي وTEOS-SiO2 |
| تحميل الرقاقة | غرفة تحميل محكمة الإغلاق مع معالجة دفعية تعتمد على الصواني |
| واجهة التحكم | التحكم في المعلمات عبر شاشة اللمس وتخزين الوصفات في المنصة المنشورة |
| حالة | مستخدم معدات أشباه الموصلات |
| التوافر | رهناً بتوفر المخزون الحالي، وتكوين شركة النقل، وتأكيد الفحص. |
ميزات المعدات الرئيسية
معالجة دفعية لرقائق متعددة على صينية حامل كبيرة
غرفة قفل التحميل لتحسين استقرار العملية
دعم منشور لأغشية أكسيد السيليكون، والنيتريد، والأوكسينيتريد، والسيليكون غير المتبلور
مصمم لتحقيق تجانس الفيلم والتحكم في الإجهاد عبر منطقة الحامل
تخزين الوصفات والتحكم في العملية عبر شاشة اللمس
تم توفير خيار النقل التلقائي للرقاقات للمنصة
التطبيقات النموذجية
يمكن استخدام جهاز PD-3800L لترسيب طبقات عازلة، وطبقات عازلة كهربائية، وطبقات تخميل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات السيليكونية والمركبة. وتُعدّ صينيته الكبيرة مفيدة بشكل خاص عند الحاجة إلى معالجة عدة رقائق صغيرة في عملية ترسيب واحدة.
يعتمد عدد الرقاقات الفعلي على صينية الحامل المثبتة. أما مادة الفيلم ومعدل الترسيب وتجانس السماكة وأداء الإجهاد فتعتمد على حالة الحجرة وتكوين الأقطاب الكهربائية وتوصيل الغاز ومكونات الترددات الراديوية والتحكم في درجة الحرارة والوصفة المعتمدة.
تهيئة وفحص المعدات المستعملة
قبل تقديم عرض الأسعار، يجب على العملاء تأكيد قطر صينية الحامل وتصميم الرقاقة، وعملية قفل التحميل، وحالة الحجرة، ومولد الترددات اللاسلكية، وشبكة المطابقة، وتسخين الركيزة، وصندوق الغاز، ونطاقات MFC، ونظام توصيل المادة الأولية السائلة ومضخات التفريغ.
كانت معدات النقل الآلي متاحة كخيار إضافي، ولا ينبغي افتراض أنها مشمولة. يجب أن يحدد نطاق التسليم النهائي النظام الرئيسي، والمضخات، ومعدات الغاز، والصينية، وجهاز التحكم الحاسوبي، وجميع الخزائن الخارجية.
طلب معلومات عن جهاز SAMCO PD-3800L
تواصل مع فريقنا للاستفسار عن مدى توفر جهاز SAMCO PD-3800L المستعمل. يرجى تزويدنا بحجم الرقاقة، وعدد الرقاقات في كل دفعة، ونوع الفيلم المستهدف، والتركيب الكيميائي، والبلد المقصود، وجدول التركيب.
اتصل بنا للحصول على صور المعدات، وتكوين صينية النقل، وتاريخ الحجرة، وحالة الفحص، وعرض الأسعار.
الأسئلة الشائعة
ما هي أنواع الأفلام التي يمكن لجهاز PD-3800L إيداعها؟
تشمل التطبيقات المنشورة ثاني أكسيد السيليكون (SiO2)، ونيتريد السيليكون (SiN)، وأكسيد السيليكون والنيتروجين (SiON)، والسيليكون غير المتبلور. يجب أن يدعم تكوين الغاز والمواد الأولية المستخدمة الفيلم المطلوب.
هل نظام PD-3800L عبارة عن نظام رقاقة واحدة؟
لا. إنه مصمم لمعالجة دفعات متعددة من الرقائق في حجرة تفاعل واحدة باستخدام الصواني.
كم عدد الرقاقات التي يمكن وضعها على صينية الحامل؟
تُدرج شركة سامكو تكوينات تتضمن رقاقات بحجم 9 × 3 بوصة، أو 6 × 4 بوصة، أو 3 × 6 بوصة. وتعتمد السعة الدقيقة على الحامل المُرفق مع الجهاز المُستخدم.
هل تتضمن جميع أجهزة PD-3800L خاصية النقل التلقائي للرقاقات؟
لا. تم توفير خاصية النقل التلقائي من الكاسيت إلى الدرج كخيار إضافي. يجب التحقق من وجودها في الأجهزة المتاحة.
