SAMCO PD-3800L là hệ thống lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma có buồng nạp, được thiết kế để lắng đọng hàng loạt màng mỏng gốc silicon. Nhiều tấm wafer được đặt trên một khay đỡ lớn và được xử lý cùng nhau trong buồng phản ứng.
Các ứng dụng đã được công bố bao gồm lắng đọng oxit silic, nitrua silic, oxynitrua silic và silic vô định hình. Hệ thống này được thiết kế cho các ứng dụng yêu cầu năng suất theo lô, độ đồng nhất của màng, kiểm soát ứng suất và quy trình xử lý lặp lại.
Thông số kỹ thuật chính của SAMCO PD-3800L
| Nhà sản xuất | SAMCO |
|---|---|
| Người mẫu | PD-3800L |
| Loại thiết bị | Hệ thống PECVD theo lô có buồng nạp |
| Công nghệ lắng đọng | lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma |
| Diện tích xử lý tối đa | Diện tích khay đựng có đường kính khoảng 360 mm. |
| Đã xuất bản Tải wafer | Có thể chứa tối đa 9 tấm wafer kích thước 3 inch, 6 tấm wafer kích thước 4 inch hoặc 3 tấm wafer kích thước 6 inch, tùy thuộc vào khay đựng. |
| Tài liệu phim đã xuất bản | SiO2, SiN, SiON và silicon vô định hình |
| Ví dụ về quy trình đã được công bố | SiH4-SiNx, SiH4-SiO2, tiền chất lỏng SiNx và TEOS-SiO2 |
| Nạp wafer | Buồng khóa tải với quy trình xử lý theo lô dựa trên khay |
| Giao diện điều khiển | Điều khiển thông số bằng màn hình cảm ứng và lưu trữ công thức trên nền tảng đã xuất bản. |
| Tình trạng | Đã sử dụng thiết bị bán dẫn |
| Tính khả dụng | Tùy thuộc vào lượng hàng hiện có, cấu hình máy bay và xác nhận kiểm tra. |
Các tính năng chính của thiết bị
Xử lý hàng loạt nhiều tấm wafer trên một khay chứa lớn.
Buồng khóa tải giúp cải thiện tính ổn định của quy trình.
Đã công bố các tài liệu hỗ trợ cho màng oxit silic, nitrua, oxynitrua và silic vô định hình.
Được thiết kế để đảm bảo độ đồng nhất của màng phim và kiểm soát ứng suất trên toàn bộ diện tích vật liệu mang.
Lưu trữ công thức và điều khiển quy trình bằng màn hình cảm ứng
Tính năng chuyển giao wafer tự động tùy chọn đã được cung cấp cho nền tảng này.
Ứng dụng điển hình
Máy PD-3800L có thể được sử dụng để lắng đọng các lớp màng cách điện, điện môi và thụ động hóa trong quy trình chế tạo silicon và chất bán dẫn phức hợp. Khay lớn của máy đặc biệt hữu ích khi cần xử lý nhiều tấm wafer nhỏ hơn trong cùng một lần lắng đọng.
Số lượng wafer thực tế phụ thuộc vào khay chứa wafer được lắp đặt. Vật liệu màng, tốc độ lắng đọng, độ đồng đều độ dày và hiệu suất chịu ứng suất phụ thuộc vào điều kiện buồng, cấu hình điện cực, cung cấp khí, các thành phần RF, kiểm soát nhiệt độ và công thức đạt tiêu chuẩn.
Cấu hình và kiểm tra thiết bị đã qua sử dụng
Trước khi báo giá, khách hàng cần xác nhận đường kính khay chứa wafer và bố trí wafer, hoạt động của buồng khóa tải, điều kiện buồng, máy phát RF, mạng phối hợp, hệ thống gia nhiệt chất nền, hộp khí, phạm vi MFC, hệ thống cung cấp tiền chất lỏng và bơm chân không.
Thiết bị chuyển tải tự động là một tùy chọn và không nên được coi là đã bao gồm. Phạm vi giao hàng cuối cùng cần xác định hệ thống chính, máy bơm, thiết bị khí, khay, máy tính điều khiển và tất cả các tủ bên ngoài.
Yêu cầu thông tin về SAMCO PD-3800L
Vui lòng liên hệ với nhóm của chúng tôi để kiểm tra tình trạng sẵn có của máy SAMCO PD-3800L đã qua sử dụng. Vui lòng cung cấp kích thước wafer, số lượng wafer mỗi lô, màng mục tiêu, hóa chất xử lý, quốc gia đích và lịch trình lắp đặt.
Vui lòng liên hệ với chúng tôi để xem ảnh thiết bị, cấu hình khay vận chuyển, lịch sử buồng chứa, tình trạng kiểm tra và báo giá.
Câu hỏi thường gặp
Máy PD-3800L có thể nạp những loại phim nào?
Các ứng dụng đã được công bố bao gồm SiO2, SiN, SiON và silicon vô định hình. Cấu hình khí và tiền chất được lắp đặt phải hỗ trợ màng phim được yêu cầu.
PD-3800L có phải là hệ thống một wafer không?
Không. Nó được thiết kế để xử lý hàng loạt nhiều tấm wafer theo kiểu khay trong một buồng phản ứng duy nhất.
Khay đựng có thể chứa được bao nhiêu tấm wafer?
SAMCO liệt kê các cấu hình bao gồm 9 tấm wafer 3 inch, 6 tấm wafer 4 inch hoặc 3 tấm wafer 6 inch. Dung lượng chính xác phụ thuộc vào khay chứa wafer được cung cấp kèm theo máy.
Liệu tất cả các máy PD-3800L đều có tính năng chuyển wafer tự động?
Không. Chức năng tự động chuyển băng cassette sang khay được cung cấp như một tùy chọn. Cần phải kiểm tra xem thiết bị hiện có có chức năng này hay không.
