SAMCO PD-3800L은 실리콘 기반 박막의 일괄 증착을 위해 설계된 로드록 방식의 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 시스템입니다. 여러 개의 웨이퍼를 대형 캐리어 트레이에 놓고 반응 챔버에서 동시에 처리합니다.
공개된 응용 분야에는 산화규소, 질화규소, 산질화규소 및 비정질 실리콘 증착이 포함됩니다. 이 시스템은 배치 생산성, 박막 균일성, 응력 제어 및 반복 가능한 공정이 요구되는 응용 분야에 적합합니다.
SAMCO PD-3800L 주요 사양
| 제조업체 | 삼코 |
|---|---|
| 모델 | PD-3800L |
| 장비 유형 | 로드락 배치 PECVD 시스템 |
| 증착 기술 | 플라즈마 강화 화학 기상 증착 |
| 최대 처리 영역 | 캐리어 트레이 영역의 직경은 약 360mm입니다. |
| 게시된 웨이퍼 로딩 | 캐리어 트레이에 따라 최대 9×3인치, 6×4인치 또는 3×6인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. |
| 공개된 영화 자료 | SiO2, SiN, SiON 및 비정질 실리콘 |
| 공개된 프로세스 예시 | SiH4-SiNx, SiH4-SiO2, 액체 전구체 SiNx 및 TEOS-SiO2 |
| 웨이퍼 로딩 | 트레이 기반 배치 처리 기능을 갖춘 로드록 챔버 |
| 제어 인터페이스 | 공개된 플랫폼에서 터치스크린을 이용한 파라미터 제어 및 레시피 저장 기능 제공 |
| 상태 | 사용된 반도체 장비 |
| 유효성 | 현재 재고 상황, 운송업체 구성 및 검사 확인 후 변동될 수 있습니다. |
주요 장비 특징
대형 캐리어 트레이에서 여러 웨이퍼를 일괄 처리
공정 안정성 향상을 위한 로드록 챔버
실리콘 산화물, 질화물, 산질화물 및 비정질 실리콘 박막에 대한 연구 결과가 발표되었습니다.
캐리어 영역 전체에 걸쳐 필름의 균일성과 응력 제어를 위해 설계되었습니다.
레시피 저장 및 터치스크린 방식의 공정 제어
해당 플랫폼에는 선택 사양으로 자동 웨이퍼 이송 기능이 제공되었습니다.
일반적인 적용 사례
PD-3800L은 실리콘 및 화합물 반도체 공정에서 절연막, 유전체막 및 패시베이션막 증착에 사용할 수 있습니다. 특히 여러 개의 작은 웨이퍼를 한 번의 증착 공정에서 처리해야 할 때 대형 트레이가 유용합니다.
실제 웨이퍼 개수는 설치된 캐리어 트레이에 따라 달라집니다. 박막 재질, 증착 속도, 두께 균일성 및 응력 성능은 챔버 조건, 전극 구성, 가스 공급, RF 부품, 온도 제어 및 검증된 레시피에 따라 달라집니다.
중고 장비 구성 및 검사
견적을 받기 전에 고객은 캐리어 트레이 직경 및 웨이퍼 배치, 로드록 작동, 챔버 상태, RF 발생기, 매칭 네트워크, 기판 가열, 가스 박스, MFC 범위, 액체 전구체 공급 시스템 및 진공 펌프를 확인해야 합니다.
자동 이송 장비는 옵션 사양으로 제공되었으며, 기본 사양에 포함되는 것으로 간주해서는 안 됩니다. 최종 납품 범위에는 주 시스템, 펌프, 가스 장비, 트레이, 제어 컴퓨터 및 모든 외부 캐비닛이 명시되어야 합니다.
SAMCO PD-3800L 정보 요청
중고 SAMCO PD-3800L의 현재 재고 여부를 확인하려면 저희 팀에 문의하십시오. 웨이퍼 크기, 배치당 웨이퍼 수량, 목표 필름, 공정 화학, 목적지 국가 및 설치 일정을 알려주시기 바랍니다.
장비 사진, 캐리어 트레이 구성, 챔버 이력, 검사 현황 및 견적에 대해서는 당사로 문의하십시오.
자주 묻는 질문
PD-3800L은 어떤 종류의 박막을 증착할 수 있습니까?
발표된 응용 분야에는 SiO2, SiN, SiON 및 비정질 실리콘이 포함됩니다. 설치된 가스 및 전구체 구성은 요구되는 박막 형성에 적합해야 합니다.
PD-3800L은 단일 웨이퍼 시스템인가요?
아니요. 이 장비는 하나의 반응 챔버에서 여러 웨이퍼를 트레이 방식으로 일괄 처리하도록 설계되었습니다.
운반 트레이에 웨이퍼를 몇 개까지 넣을 수 있나요?
SAMCO는 9 × 3인치, 6 × 4인치 또는 3 × 6인치 웨이퍼를 포함한 다양한 구성을 제공합니다. 정확한 용량은 사용된 장비에 제공되는 캐리어에 따라 달라집니다.
모든 PD-3800L 모델에 자동 웨이퍼 이송 기능이 포함되어 있습니까?
아니요. 자동 카세트-트레이 이송 기능은 옵션 사양으로 제공되었습니다. 해당 기능이 보유 장비에 있는지 확인해야 합니다.
