SAMCO PD-3800L to system chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomagany plazmą z funkcją load-lock, przeznaczony do okresowego osadzania cienkich warstw krzemowych. Wiele płytek umieszcza się na dużej tacy nośnej i przetwarza razem w komorze reakcyjnej.
Opublikowane zastosowania obejmują osadzanie tlenku krzemu, azotku krzemu, tlenoazotku krzemu i amorficznego krzemu. System jest przeznaczony do zastosowań wymagających wydajności wsadowej, jednorodności powłoki, kontroli naprężeń i powtarzalności procesu.
Główne dane techniczne SAMCO PD-3800L
| Producent | SAMCO |
|---|---|
| Model | PD-3800L |
| Typ sprzętu | System PECVD wsadowy Load-Lock |
| Technologia osadzania | Osadzanie chemiczne z fazy gazowej wspomagane plazmą |
| Maksymalny obszar przetwarzania | Powierzchnia tacy nośnej o średnicy około 360 mm |
| Opublikowane ładowanie wafli | Do 9 × 3-calowych, 6 × 4-calowych lub 3 × 6-calowych płytek, w zależności od tacki nośnej |
| Opublikowane materiały filmowe | SiO2, SiN, SiON i krzem amorficzny |
| Opublikowane przykłady procesów | SiH4-SiNx, SiH4-SiO2, ciekły prekursor SiNx i TEOS-SiO2 |
| Ładowanie wafli | Komora załadunkowa z przetwarzaniem wsadowym na tacach |
| Interfejs sterowania | Sterowanie parametrami za pomocą ekranu dotykowego i przechowywanie receptur na opublikowanej platformie |
| Stan | Używany sprzęt półprzewodnikowy |
| Dostępność | W zależności od aktualnego stanu magazynowego, konfiguracji nośnika i potwierdzenia inspekcji |
Kluczowe cechy wyposażenia
Przetwarzanie wsadowe wielu płytek na dużej tacy nośnej
Komora załadunkowa zapewniająca lepszą stabilność procesu
Opublikowane wsparcie dla warstw tlenku krzemu, azotku, tlenoazotku i krzemu amorficznego
Zaprojektowane w celu zapewnienia jednorodności folii i kontroli naprężeń na całej powierzchni nośnej
Przechowywanie receptur i sterowanie procesem za pomocą ekranu dotykowego
Opcjonalnie platforma oferuje automatyczny transfer płytek
Typowe zastosowania
Urządzenie PD-3800L może być używane do osadzania warstw izolacyjnych, dielektrycznych i pasywacyjnych w procesach obróbki krzemu i półprzewodników złożonych. Jego duża taca jest szczególnie przydatna, gdy w tym samym procesie osadzania zachodzi potrzeba obróbki kilku mniejszych płytek.
Rzeczywista liczba płytek zależy od zainstalowanej tacy nośnej. Materiał powłoki, szybkość osadzania, jednorodność grubości i odporność na naprężenia zależą od stanu komory, konfiguracji elektrod, dostarczania gazu, komponentów RF, kontroli temperatury i odpowiedniej receptury.
Konfiguracja i kontrola używanego sprzętu
Przed sporządzeniem wyceny klienci powinni potwierdzić średnicę tacy nośnej i układ płytki, działanie blokady ładunkowej, stan komory, generator RF, pasującą sieć, ogrzewanie podłoża, skrzynkę gazową, zakresy MFC, system dostarczania prekursora ciekłego oraz pompy próżniowe.
Automatyczny system przesyłowy był dostępny opcjonalnie i nie należy zakładać jego uwzględnienia. Ostateczny zakres dostawy powinien obejmować system główny, pompy, urządzenia gazowe, zasobnik, komputer sterujący oraz wszystkie szafki zewnętrzne.
Poproś o informacje dotyczące SAMCO PD-3800L
Skontaktuj się z naszym zespołem, aby sprawdzić aktualną dostępność używanego urządzenia SAMCO PD-3800L. Prosimy o podanie rozmiaru wafla, liczby wafli w partii, docelowej folii, chemii procesu, kraju docelowego oraz harmonogramu instalacji.
Skontaktuj się z nami, aby uzyskać zdjęcia sprzętu, konfigurację tacy nośnej, historię komory, status kontroli i wycenę.
Często zadawane pytania
Jakie filmy może deponować urządzenie PD-3800L?
Opublikowane zastosowania obejmują SiO2, SiN, SiON i krzem amorficzny. Zainstalowana konfiguracja gazu i prekursora musi obsługiwać żądaną powłokę.
Czy PD-3800L jest systemem jednowarstwowym?
Nie. Jest ona przeznaczona do przetwarzania wsadowego wielu płytek w jednej komorze reakcyjnej.
Ile płytek zmieści się na tacce nośnej?
SAMCO podaje konfiguracje obejmujące płytki o wymiarach 9 × 3 cale, 6 × 4 cale lub 3 × 6 cali. Dokładna pojemność zależy od nośnika dostarczonego z używaną maszyną.
Czy każda drukarka PD-3800L jest wyposażona w automatyczny transfer płytek?
Nie. Automatyczne przenoszenie kasety na tackę było oferowane opcjonalnie. Jego obecność należy zweryfikować na dostępnym sprzęcie.
