Система SAMCO PD-3800L представляет собой систему плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы с загрузочным шлюзом, предназначенную для пакетного осаждения тонких пленок на основе кремния. Несколько пластин размещаются на большом поддоне и обрабатываются вместе в реакционной камере.
Опубликованные примеры применения включают осаждение оксида кремния, нитрида кремния, оксинитрида кремния и аморфного кремния. Система предназначена для применений, требующих высокой производительности при пакетной обработке, однородности пленки, контроля напряжений и повторяемости процесса.
Основные технические характеристики SAMCO PD-3800L
| Производитель | САМКО |
|---|---|
| Модель | ПД-3800Л |
| Тип оборудования | Система пакетного PECVD с загрузочным шлюзом |
| Технология осаждения | Плазменно-усиленное химическое осаждение из паровой фазы |
| Максимальная площадь обработки | Примерно 360 мм в диаметре лотка для переноски. |
| Опубликованная загрузка пластины | В зависимости от подставки, можно разместить до 9 пластин размером 9 × 3 дюйма, 6 × 4 дюйма или 3 × 6 дюймов. |
| Опубликованные киноматериалы | SiO2, SiN, SiON и аморфный кремний |
| Опубликованные примеры процессов | SiH4-SiNx, SiH4-SiO2, жидкий прекурсор SiNx и TEOS-SiO2 |
| Загрузка пластины | Шлюзовая камера с пакетной обработкой на лотках. |
| Интерфейс управления | Сенсорное управление параметрами и сохранение рецептов на опубликованной платформе. |
| Состояние | Использовал полупроводниковое оборудование |
| Доступность | При условии наличия товара на складе, соответствия конфигурации перевозчика и подтверждения результатов проверки. |
Основные характеристики оборудования
Пакетная обработка нескольких пластин на большом подносе
Шлюзовая камера для повышения стабильности процесса.
Опубликованы данные о поддержке пленок оксида кремния, нитрида кремния, оксинитрида кремния и аморфного кремния.
Разработан для обеспечения однородности пленки и контроля напряжений в несущей области.
Хранение рецептов и управление процессом с помощью сенсорного экрана.
Для платформы предлагалась дополнительная опция автоматической передачи пластин.
Типичные области применения
Прибор PD-3800L может использоваться для нанесения изоляционных, диэлектрических и пассивирующих пленок в процессах обработки кремния и полупроводниковых материалов. Его большой лоток особенно удобен, когда необходимо обработать несколько пластин меньшего размера за один цикл осаждения.
Фактическое количество пластин зависит от установленного подложечного лотка. Материал пленки, скорость осаждения, равномерность толщины и устойчивость к напряжению зависят от условий в камере, конфигурации электродов, подачи газа, ВЧ-компонентов, контроля температуры и используемой рецептуры.
Конфигурация и осмотр подержанного оборудования
Перед предоставлением коммерческого предложения заказчику следует подтвердить диаметр подложки-носителя и расположение пластин, работу шлюзовой камеры, состояние камеры, ВЧ-генератор, согласующую сеть, нагрев подложки, газовый бокс, диапазоны MFC, систему подачи жидкого прекурсора и вакуумные насосы.
Автоматическое перекачивающее оборудование предлагалось в качестве опции и не должно рассматриваться как обязательное. В окончательный комплект поставки следует включить основную систему, насосы, газовое оборудование, лоток, управляющий компьютер и все внешние шкафы.
Запросить информацию о SAMCO PD-3800L
Свяжитесь с нашей командой, чтобы уточнить наличие бывших в употреблении SAMCO PD-3800L. Пожалуйста, укажите размер пластин, количество пластин в партии, тип целевой пленки, химический состав процесса, страну назначения и график установки.
Свяжитесь с нами для получения фотографий оборудования, информации о конфигурации лотков-носителей, истории эксплуатации камеры, статуса проверки и коммерческого предложения.
Часто задаваемые вопросы
Какие пленки может наносить прибор PD-3800L?
В число опубликованных областей применения входят SiO2, SiN, SiON и аморфный кремний. Конфигурация используемого газа и прекурсоров должна обеспечивать получение требуемой пленки.
Является ли PD-3800L системой, использующей одну кремниевую пластину?
Нет. Он предназначен для пакетной обработки нескольких пластин в одной реакционной камере с использованием лотков.
Сколько вафель поместится на подставке?
Компания SAMCO предлагает конфигурации, включающие пластины размером 9 × 3 дюйма, 6 × 4 дюйма или 3 × 6 дюймов. Точная вместимость зависит от носителя, поставляемого с используемым оборудованием.
Включает ли каждый PD-3800L автоматическую передачу пластин?
Нет. Автоматическая переадресация кассеты в лоток предлагалась в качестве опции. Необходимо проверить наличие этой функции на имеющемся оборудовании.
