Nettoyeur plasma PVA TePla IoN 200

Nettoyeur plasma PVA TePla IoN 200 d'occasion pour le traitement de surface et le nettoyage plasma. Renseignez-vous sur la compatibilité avec vos procédés, l'état de la machine, les accessoires inclus et l'assistance technique.

Le PVA TePla IoN 200 est un système de traitement plasma RF sous vide conçu pour le nettoyage, l'activation et la modification de surfaces. Il convient aussi bien aux travaux de laboratoire qu'aux applications impliquant des substrats de grande taille ou des volumes de traitement importants. La chambre, les électrodes, le système de contrôle des gaz et les fonctions de traitement varient selon le système d'occasion disponible.

Pour une première demande, veuillez envoyer des photos nettes des supports ou pièces à traiter, le modèle de votre système plasma actuel le cas échéant, ainsi qu'une brève description du procédé de nettoyage, d'activation ou de revêtement requis. Les dimensions détaillées et les informations relatives à la formulation pourront être communiquées ultérieurement si nécessaire.

PVA TePla IoN 200 RF vacuum plasma processing system

Informations sur la machine PVA TePla IoN 200

FabricantPVA CHALEUR
ModèleIoN 200
Type d'équipementsystème de traitement plasma RF sous vide
Applications principalesNettoyage, activation et modification des surfaces
Environnement de traitementTraitement au plasma à basse pression
Pièces typiquesSubstrats compatibles, plaquettes, composants électroniques et pièces industrielles
Capacité de traitement supplémentaireApplications liées au PECVD selon la configuration du système installé
ConditionÉquipements de traitement plasma d'occasion
Configuration réelleConfirmé selon le système spécifique disponible
Étendue de la livraisonSur la base du devis et de la liste des équipements confirmée
SoutienExamen initial de la panne, identification des composants et discussion sur la réparation
ExpéditionEmballage pour l'exportation et livraison dans le monde entier

Nettoyage au plasma et modification de surface

L'IoN 200 utilise un gaz à basse pression et la radiofréquence pour créer un plasma destiné au traitement des surfaces exposées. Selon le gaz de procédé sélectionné, la configuration de la chambre et le protocole de traitement, il peut servir à éliminer les contaminants organiques, à augmenter l'énergie de surface ou à préparer une surface pour le collage, le revêtement et d'autres procédés en aval.

Les applications possibles incluent le traitement avant collage, revêtement, fixation de puces, câblage, sous-remplissage ou encapsulation. Le procédé approprié dépend du matériau de la pièce, de sa contamination, de l'objectif du traitement et du résultat souhaité.

Compatibilité entre la pièce et le procédé

L’appellation IoN 200 ne garantit pas à elle seule la compatibilité du système avec tous les substrats ou procédés plasma. Celle-ci dépend des dimensions de la pièce, de son matériau, de la configuration de chargement, de la géométrie des électrodes, des gaz utilisés et de la configuration d’alimentation et de vide.

Seules des informations de base sont nécessaires pour la première discussion :

  • Photos nettes des substrats, plaquettes, composants ou pièces industrielles à traiter

  • Photos des plateaux, dispositifs ou supports utilisés pour charger les produits

  • Votre modèle actuel de système plasma si l'IoN 200 remplacera l'équipement existant

  • Une brève description de la contamination, du problème d'adhérence ou de la modification de surface requise

Les dimensions détaillées de la pièce, les données sur les matériaux, les exigences en matière de gaz de procédé et les paramètres de la recette peuvent être examinés ultérieurement lorsque le système disponible semblera pertinent pour l'application.

Configuration et étendue de livraison disponibles pour l'IoN 200

Les systèmes PVA TePla IoN 200 peuvent varier en termes de conception de la chambre, de disposition des électrodes, de composants d'alimentation RF, de contrôle des gaz de procédé, de pompes à vide, de dispositifs de fixation, de logiciel et d'équipements PECVD optionnels. Avant tout achat, il convient d'examiner l'unité disponible afin de vérifier que sa configuration de chambre et d'utilités est adaptée aux pièces et au procédé prévus. La livraison finale est basée uniquement sur le devis et la liste des équipements confirmée ; les pompes à vide, les accessoires de gaz, les électrodes, les dispositifs de fixation, les ordinateurs, les logiciels et les équipements utilitaires externes ne sont inclus que s'ils sont expressément mentionnés.

Réception, démarrage et essai initial de plasma

L'IoN 200 doit être inspecté et testé par étapes avant l'introduction de pièces de production importantes.

  1. Inspectez l'emballage, l'armoire de l'équipement, la chambre, la porte, le panneau de commande, les raccords de gaz et les composants de vide visibles.

  2. Photographiez toute marque d'impact, tout raccord desserré, toute conduite endommagée ou tout composant déplacé avant de déplacer le système.

  3. Comparez la machine, la pompe, les électrodes, les fixations, les câbles et les accessoires reçus avec la liste de livraison confirmée.

  4. Vérifiez que l'intérieur de la chambre, les électrodes et les composants de chargement restent correctement positionnés après le transport.

  5. Vérifier les exigences de la machine réelle en matière d'alimentation électrique, de mise à la terre, de gaz de procédé, d'échappement et de vide.

  6. Démarrez le système de contrôle et enregistrez toutes les alarmes avant de réinitialiser la machine ou de modifier les paramètres du processus.

  7. Vérifier l'étanchéité de la chambre, la mise sous vide, le contrôle du gaz et le fonctionnement RF sans pièces de production.

  8. Une fois le fonctionnement de base stabilisé, utilisez des échantillons hors production pour un essai initial de traitement au plasma.

Répétez l'essai en veillant à un placement constant des échantillons et comparez les résultats du traitement avant d'envisager une utilisation en production. Interrompez les essais si la chambre ne parvient pas à maintenir un vide stable, si le débit de gaz est anormal, si des alarmes RF se déclenchent ou si le même défaut se reproduit de manière répétée.

Résultats de processus, alarmes et assistance pour les pièces détachées

Un traitement faible ou incohérent peut être dû à une contamination de surface, un gaz de traitement inadapté, une puissance ou une durée de traitement incorrecte, une fuite de vide, un débit de gaz instable, un état des électrodes ou un positionnement inégal de la pièce.

Avant de réinitialiser la machine, il convient de consigner les alarmes de vide, les ralentissements de la vidange, les défauts d'adaptation RF, les erreurs de débit de gaz, les problèmes de verrouillage des portes de la chambre et les dysfonctionnements du contrôleur. Des photos de la chambre, des électrodes, des pièces à traiter, des résultats de traitement et de l'écran d'alarme, ainsi qu'une courte vidéo de démonstration (si disponible), constituent un point de départ pratique pour l'analyse.

Notre équipe peut vous aider pour l'analyse initiale des pannes, l'identification des composants, la recherche de pièces de rechange compatibles et la discussion des modalités de réparation. Nous pouvons également vérifier, le cas échéant, les pompes, vannes, manomètres, régulateurs de débit massique, composants RF, réseaux d'adaptation, alimentations, cartes électroniques, capteurs, câbles et pièces de chambre associés.

Foire aux questions

Le PVA TePla IoN 200 peut-il traiter nos substrats ou nos pièces ?

Cela dépend du matériau de la pièce, de ses dimensions, du mode de chargement, du procédé plasma requis et de la configuration de la chambre. Veuillez envoyer des photos de la pièce et du dispositif de fixation pour une première évaluation.

Quels processus l'IoN 200 peut-il réaliser ?

Ce système est conçu pour les procédés compatibles de nettoyage, d'activation et de modification de surface par plasma. Des applications liées au PECVD sont également envisageables une fois le matériel requis installé.

La pompe à vide est-elle incluse avec la machine ?

Seules la pompe à vide et les accessoires connexes mentionnés dans le devis ou le périmètre de livraison confirmé sont inclus.

Les électrodes et les accessoires de fixation du produit sont-ils inclus ?

Les électrodes et les composants de chargement installés doivent être vérifiés auprès du fabricant de la machine concernée. Les accessoires ou supports de produit supplémentaires ne doivent pas être considérés comme inclus s'ils ne sont pas mentionnés.

Pouvez-vous nous aider concernant les alarmes à vide, à débit de gaz ou à radiofréquence ?

Oui. Veuillez nous envoyer le modèle de la machine, les informations relatives à l'alarme, des photos de la chambre et, si possible, une courte vidéo de fonctionnement. Nous pouvons vous aider pour le diagnostic initial de la panne, la recherche de pièces compatibles et la discussion des réparations.

Contactez-nous à propos du PVA TePla IoN 200

Veuillez nous envoyer des photos des pièces à usiner et des dispositifs de chargement, ainsi que le modèle de votre système plasma actuel (le cas échéant) et une brève description des besoins en matière de nettoyage, d'activation ou de modification de surface. Nous examinerons d'abord l'application de base, puis nous aborderons la configuration de la chambre, le processus, les pièces de rechange ou les détails de réparation nécessaires.

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